儀器特點(diǎn): 計(jì)算機(jī)全數(shù)字化控制,操作簡捷直觀。 步進(jìn)馬達(dá)自動(dòng)進(jìn)行針尖--樣品逼近,實(shí)驗(yàn)圓滿成功。 深度陡度測量,三維顯示。 納米材料粗糙度測量、顆粒徑度測量及分布統(tǒng)計(jì)。 X、Y二維樣品移動(dòng)平臺,快速搜索樣品區(qū)域. 標(biāo)準(zhǔn)RS232串行接口,無需任何計(jì)算機(jī)卡 樣品觀測范圍從0.001um-20000um。 掃描速度達(dá)40000點(diǎn)/秒 可選配納米刻蝕功能模塊。 技術(shù)指標(biāo) :
AFM探頭 樣品尺寸:直徑小等于30mm;厚度小等于15mm。 XY最大掃描范圍:標(biāo)準(zhǔn)6X6微米 0.25nm 0.03nm(云母定標(biāo)) XY二維樣品移動(dòng)范圍:5mm;精度0.5微米 掃描器、針尖座智能識別 44-283X連續(xù)變倍彩色CCD顯微觀察系統(tǒng)(選配) AFM電化學(xué)針尖塊,液電池,液體輕敲式成像功能(選配) 全金屬屏蔽防震隔音箱/精密隔震平臺(選購) 電子學(xué)控制器: XTZ控制 18-Bit D/A 數(shù)據(jù)采樣 14-BitA/D、16 Bit A/D多路同步采樣 Z向反饋 DSP數(shù)字反饋 反饋采樣速率 64.0KHz 高壓放大器 集成高壓運(yùn)算放大器,最大電壓范圍+/-150V 頻率范圍 --- 幅度范圍 --- 掃描速率 21Hz 掃描角度 0-360度 掃描偏移 任意 圖像采樣點(diǎn) 256X256或512X512 步進(jìn)馬達(dá)控制 手動(dòng)和自動(dòng)進(jìn)退 計(jì)算機(jī)接口 標(biāo)準(zhǔn)RS232串行/USB
Dimension Icon 系列作為布魯克公司(Bruker AXS) 原子力顯微鏡的旗艦產(chǎn)品,凝聚了多項(xiàng)的專利技術(shù),是二十多年技術(shù)創(chuàng)新、客戶反饋和行業(yè)應(yīng)用的結(jié)晶。 Dimension Icon 的出現(xiàn)為科學(xué)和工業(yè)界在納米尺度的研究帶來了革命性的之作。Dimension Icon 可以實(shí)現(xiàn)所有主要的掃描探針成像技術(shù),其測試樣品尺寸可達(dá):直徑210mm,厚度15mm。溫度補(bǔ)償位置傳感器使Z-軸和X-Y軸的噪音分別保持在亞-埃級和埃級水平,并呈現(xiàn)出前所未有的高分辨率。對于大樣品、90微米掃描范圍的系統(tǒng)來說,這種噪音水平超越了所有的開環(huán)掃描高分辨率的原子力顯微鏡。的XYZ閉環(huán)掃描頭在不損失圖像質(zhì)量的前提下大大提高了掃描速度。探針和樣品臺的開放式設(shè)計(jì)使 Icon 可勝任各種標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)。
XY驅(qū)動(dòng)分辨率:24位控制,0.06Am;
Z驅(qū)動(dòng)分辨率:24位控制,0.006Am;
微弱的相干激光器:658nm波長,功率小于1mw。
升縮臺的結(jié)構(gòu)(專利技術(shù))
有專利的伸縮放大臺階且低噪音的,三軸獨(dú)立,原子臺階及分子分辨率,直到100µm掃描,
掃描分辨率X-Y:0.06nm,Z:0.006nm, 不像壓電陶瓷管那樣易碎而且伸縮有弓效果。
智能化AFM
a. 低噪聲低功耗相干激光器
b.低噪音控制器(低電壓驅(qū)動(dòng)壓電掃描器)
c.24位DAC控制(精密控制
d.最大100µm掃描(Z方向9µM )
e.高分辨率的大范圍掃描器
低噪音激光器和控制器+24位控制+伸縮臺階(專利技術(shù))=完整的低噪音回路=一體式掃描器。大范圍掃描,高分辨率,且無需更換掃描器。
自動(dòng)設(shè)置和自動(dòng)開關(guān)
1.自動(dòng)調(diào)諧集成鎖相(AC和單通KFM模式)
2.自動(dòng)設(shè)置電子系統(tǒng)(無需使用者連接電纜或模塊)
3.頂部和側(cè)面視圖(探針-樣品趨近簡單- >不會撞針)
4.直觀的軟件和預(yù)先配置的AFM模式
配置齊全AFM
易于使用(頂部和側(cè)面的視圖,直觀的軟件,觸摸屏控制)
高達(dá)100µm范圍掃描(Z方向9µM)
高分辨率
集成鎖相(高靈敏度)
24位控制
多模式
接觸/摩擦&振蕩模式/相位
Conductive AFM(導(dǎo)電AFM)
PFM (壓電響應(yīng))
MFM/EFM(磁力/靜電力)
力調(diào)制
適用于不同環(huán)境的真實(shí)設(shè)計(jì)
EZ溫度 : 溫度控制,可達(dá)200°
對于壓電器件可以進(jìn)行更穩(wěn)定的加熱分離(不漂移)
與大氣控制、液體模式和所有電模式(KFM,CAFM, ResiScope…) 相兼容
大氣控制(氣體和濕度)
光電探測器和激光器在箱體外部(濕度控制不會造成電子件損害)
光電探測器和激光器可以正常對齊(不在一個(gè)盒子里解決- >沒有盒子)
容易和快速設(shè)置
與電氣測量模式是最佳的兼容(KFM, ResiScope…)
EZ液體:液體測量
壓電保護(hù)
激光容易對準(zhǔn)(可以利用頂部視頻在空氣中對準(zhǔn)激光)
非常穩(wěn)定的“振蕩模式”的決方案
易于使用且更成功的原子力顯微鏡測量!
熱測量
局部加熱(探針)
或熱測量
最佳的電氣模塊
HD-KFM :
在市場上有最好的分辨率和靈敏度(更好的算法,根據(jù)不同樣品有兩種模式,更好的鎖相靈敏度…)
易用使用(自動(dòng)調(diào)用智能算法,無需經(jīng)驗(yàn))
ResiScope :
10個(gè)數(shù)量級-從100Ω~1TΩ之間(競爭者最多只覆蓋了7個(gè)數(shù)量級)
較低的電流流經(jīng)探針/樣品(不會局部氧化,不會因?yàn)楦唠娏鲹p害探針/樣品)
同時(shí)兼容AC模式成像和EFM/MFM 模式或者HD-KFM 模式,且不會任何變動(dòng)或丟失樣品的位置!
Soft-ResiScope :
跟ResiScope一樣,仍然有10個(gè)數(shù)量級,允許軟性樣品成像成像和電阻/電流測量。
CSI原子力顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域
物理實(shí)驗(yàn)室:材料,高分子聚合物,電氣特性,磁場,壓電領(lǐng)域…
化學(xué)實(shí)驗(yàn)室:分子電子或組織。太陽能電池,電池,聚合物,電化學(xué)
半導(dǎo)體:研究和研發(fā)
多用途用戶如:化學(xué)實(shí)驗(yàn)室+生物實(shí)驗(yàn)室
型號:RL125838UPH102i相差顯微鏡 | 型號:RL125839全新相襯顯微鏡 | 型號:RL125859XSP-BM17雙目相襯顯微鏡 |
光學(xué)系統(tǒng) | UCIS無限遠(yuǎn)色差獨(dú)立校正光學(xué)系統(tǒng) |
觀察筒 | 鉸鏈?zhǔn)诫p目,30°傾斜,360°可旋轉(zhuǎn),瞳孔距調(diào)節(jié)范圍:52-75mm(48-75mm可選),視度可調(diào) |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡,WF10X/18mm |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)消色差物鏡4X,無限遠(yuǎn)消色差相襯物鏡10X、40X(S)、100X(S/Oil) |
轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)傾式4孔轉(zhuǎn)換器 |
載物臺 | 142*135mm雙層復(fù)合式機(jī)械移動(dòng)平臺,移動(dòng)范圍:76*52mm |
聚光鏡 | NA1.25阿貝聚光鏡,手輪升降式,配相襯、暗場插槽,配中心調(diào)節(jié)裝置 |
相襯附件 | 無限遠(yuǎn)消色差相襯插板10X、40X、100X |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 低位粗動(dòng)同軸調(diào)焦手輪;微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn),格值0.001mm;微調(diào)格值越小,調(diào)焦越清晰。粗動(dòng)松緊可調(diào),14mm/轉(zhuǎn);工作臺上限位裝置,行程20mm |
照明裝置 | 100V-240V開關(guān)電源,6V20W鹵素?zé),亮度連續(xù)可調(diào) |
100V-240V開關(guān)電源,單顆高亮度3WLED,亮度連續(xù)可調(diào) |
電腦型相差顯微鏡 BPH-200E | |||||||||||||||||||||||||
一、儀器介紹相差顯微鏡又稱相襯顯微鏡,BPH-200系列相差顯微鏡主要針對透明樣本因光暈難以被觀測到細(xì)微結(jié)構(gòu)的問題而開發(fā)設(shè)計(jì)。相差顯微鏡產(chǎn)品以其出色的對比度和齊全的附件,成為生物學(xué)實(shí)驗(yàn)室儀器的選擇。該顯微鏡設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)原理,從而大大減輕了疲勞,適合長時(shí)間工作。相差顯微鏡被廣泛應(yīng)用于生物學(xué)、細(xì)胞學(xué)、組織學(xué)、藥物化學(xué)等研究工作。相差顯微鏡適用于醫(yī)療衛(wèi)生機(jī)構(gòu)、環(huán)境保護(hù)單位、實(shí)驗(yàn)室、研究所及高等院校等單位。也可用于工作場所空氣中粉塵測定-石棉纖維濃度,可配纖維觀測用目鏡測微尺,物鏡測微尺。二、系統(tǒng)組成相差顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))通過光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的結(jié)合在一起,不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像,并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。三、技術(shù)參數(shù)1.目鏡
2.物鏡
3.光學(xué)放大倍數(shù):40X-1600X4.系統(tǒng)參考放大倍數(shù):40X-2600X5.聚光鏡:1.25相襯聚光鏡、可變光欄6.載物臺:大小160mm*135mm移動(dòng)范圍:75mm*50mm移動(dòng)精度:0.1mm7.調(diào)焦機(jī)構(gòu)低位,粗微調(diào)同軸8.濾色片:黃、綠、藍(lán)、磨砂玻璃9.照明:6V/20W鹵素?zé)簦饬炼瓤烧{(diào)10.防霉:特有的防霉系統(tǒng) 四、系統(tǒng)組成電腦型(BPH-200E):1、顯微鏡2、適配鏡3、攝像器(300萬)4、圖像采集處理軟件5、數(shù)據(jù)線6、計(jì)算機(jī)(選配)數(shù)碼相機(jī)型(BPH-200D):1、顯微鏡2、數(shù)碼適配鏡3、數(shù)碼相機(jī) |
XSP-BM17雙目相襯顯微鏡 相襯顯微鏡是用來觀察未經(jīng)染色生物標(biāo)本,相襯顯微鏡又叫相差顯微鏡,是用光學(xué)相襯原理使未經(jīng)染色的低襯度標(biāo)本為之清晰可見。詳細(xì)介紹XSP-BM17雙目相襯顯微鏡相襯顯微鏡是用來觀察未經(jīng)染色生物標(biāo)本,相襯顯微鏡又叫相差顯微鏡,是用光學(xué)相襯原理使未經(jīng)染色的低襯度標(biāo)本為之清晰可見。
一、顯微鏡技術(shù)參數(shù):
序號 | 名稱 | 技術(shù)參數(shù) |
1 | 平場目鏡 | WF10X/ф18、WF16X/ф11 |
2 | 消色差物鏡 | 4X/0.10、10X/0.25、40X/0.65(彈簧)、100X/1.25(油、彈簧) |
3 | 相襯平場物鏡 | 4X/0.10、10X/0.25、40X/0.65(彈簧)、100X/1.25(油、彈簧) |
4 | 總放大倍數(shù) | 40X-1600X |
5 | 雙目觀察頭 | 鉸鏈?zhǔn)?5°傾斜 (輔助鏡系數(shù)1.25X) 可360°旋轉(zhuǎn) |
6 | 轉(zhuǎn)換器 | 四孔(外向式滾珠外定位) |
7 | 粗微調(diào)調(diào)焦范圍 | 15mm微動(dòng)格值:2um粗微動(dòng)同軸調(diào)焦 |
8 | 載物臺 | 雙層機(jī)械式 尺寸140X140mm移動(dòng)范圍70X50mm游標(biāo)格值0.1mm |
9 | 機(jī)械筒長 | 160mm |
10 | 光瞳距離 | 55-75mm |
11 | 聚光鏡 | 可變光欄帶濾色片(上下升降) |
12 | 照明 | 亮度可調(diào) 鹵鎢燈泡6V20W |
13 | 儀器重量 | 凈重5.5公斤 毛重7.0公斤 |
14 | 儀器尺寸 | 儀器尺寸18X25X39(cm) 包裝尺寸28X33.5X59(cm) |
欄目頁面:http://www.runlian365.com/chanpin/9119.html相襯顯微鏡來源網(wǎng)址:http://www.runlian365.com/chanpin/did-125859-pid-9119.htmlXSP-BM17雙目相襯顯微鏡溫馨提示:潤聯(lián)為您提供產(chǎn)品的詳細(xì)產(chǎn)品價(jià)格、產(chǎn)品圖片等產(chǎn)品介紹信息,您可以直接聯(lián)系廠家獲取產(chǎn)品的具體資料,聯(lián)系時(shí)請說明是在潤聯(lián)看到的,并告知型號
更多產(chǎn)品 www.labandmore.com
探針品牌
www.nanoworld.com
產(chǎn)品描述
全世界使用最廣泛的、口碑最好的SPM、AFM探針,可適用于所有的市售SPM和AFM設(shè)備。 本包裝為單組10個(gè)的高品質(zhì)濕法刻蝕的硅探針,可用于輕敲模式™ ,動(dòng)態(tài)模式和其他非接觸模式檢測。 所有的探針均為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的硅SPM和AFM探針,可用于高靈敏度和高分辨率成像適用于各種樣品類型的輕敲模式、動(dòng)態(tài)模式或空氣中的非接觸模式檢測。
Pointprobe®系列的所有SPM和AFM探針都是由高摻雜的硅片制成 。這種探針材料可以消散靜電,并具有化學(xué)惰性,還可提供高靈敏 度的高機(jī)械Q因子。
該探針提供了以下特性:- 針尖曲率半徑 < 8 nm- 高摻雜消散靜電荷- 懸臂背面鍍鋁- 高機(jī)械品質(zhì)因數(shù)確保高靈敏度
探針鍍層
懸臂背面鍍鋁
探針參數(shù)
針尖:
shape:Rotated(symmetric) height:10 - 15 µm radius:8nm
懸臂梁:
shape:rectangular
length:125 µm (115 - 135 µm)*
width:28 µm (30 - 42 µm)*
thickness:4 µm (3.5 - 4.5 µm)*
force constant:40 N/m (20 - 80 N/m)*
resonance frequency:300 kHz (200 - 400 kHz)*
原子力顯微鏡
晶體掃描儀(Crystal Scanner TM)是美國PNI公司開發(fā)的一種新穎的掃描儀。使用該掃描儀,無需知道更多掃描探針顯微學(xué)(SPM)知識的人士便可獲得納米范圍的形貌像。晶體掃描儀的核心是一種新型的無需復(fù)雜光路調(diào)整(Alignment)過程的力傳感器。它能夠進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)的成像和分析。 使用裝有晶體掃描儀的Nano-R TM原子力顯微鏡(AFM),工程師和科學(xué)工作者無需等候獲得掃描的納米結(jié)構(gòu)圖像,而是直接測量物體的形貌像。公司和研究機(jī)構(gòu)也不用雇傭AFM專家,這樣可為納米技術(shù)的研究、發(fā)展和工藝控制節(jié)省大量的成本。 晶體掃描儀在納米牛頓力測量領(lǐng)域內(nèi)注入了新的設(shè)計(jì)理念。將該掃描儀與Nano-R TM型AFM的測試臺和軟件相結(jié)合,便可以得到一個(gè)新的用戶友好接口的納米成像儀器。尤其是,當(dāng)配合點(diǎn)和掃描(Point & Scan TM)技術(shù),將大大簡化儀器的操作過程。
原子力顯微鏡
點(diǎn)和掃描技術(shù) 點(diǎn)和掃描技術(shù)大大減少了傳統(tǒng)系統(tǒng)軟件的復(fù)雜性,只要按照屏幕上的操作提示便可完成測試。幾步操作后,實(shí)驗(yàn)人員便可以在計(jì)算機(jī)屏幕上看到圖像。 點(diǎn)和掃描技術(shù)使用標(biāo)準(zhǔn)的納米成像操作步驟。步驟如下:
選擇樣品類型;
將樣品放置于顯微鏡下;
如有必要,更換晶體傳感器(只需幾分鐘);
選擇要掃描的樣品區(qū)域;
成像操作。
上述的納米成像過程同樣可以分析DVD和半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)以及對納米管、納米粒子和納米晶體進(jìn)行高分辨的納米成像。 點(diǎn)和掃描技術(shù)包括3個(gè)方面的創(chuàng)新性:晶體傳感器,測試臺的自動(dòng)化和軟件。
晶體傳感器
晶體掃描儀里的力傳感器是一種非常小的晶體振蕩器,在其晶體的末端裝有針尖,如圖1和2所示。當(dāng)探針靠近樣品表面時(shí),其振蕩的振幅將衰減。衰減的幅度取決于探針和樣品之間的作用力。掃描時(shí),使用軟件可以優(yōu)化振蕩頻率和力的大小。使用時(shí),晶體傳感器無需任何力的調(diào)整。
圖1晶體掃描儀中的石英交叉晶體 圖2晶體傳感器安裝在零插入力模塊上
的測試臺自動(dòng)化大大簡化了裝有晶體傳感器的Nano-R TM型AFM的操作過程。結(jié)合馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的光學(xué)系統(tǒng)、樣品定位和探針-樣品控制,無需任何手動(dòng)調(diào)整。因此,便可以實(shí)現(xiàn)“放置樣品-設(shè)定掃描區(qū)域-開始掃描”的簡單操作過程。
晶體掃描軟件
晶體掃描軟件(CSS)大大簡化了晶體掃描儀的操作。安裝CSS后,實(shí)驗(yàn)人員便可以從窗口菜單上選擇需要成像的樣品類型。有關(guān)樣品類型的信息可存儲在計(jì)算機(jī)內(nèi),需要時(shí)可調(diào)用。例如,CSS可以使用設(shè)置的掃描參數(shù)。CSS與測試臺自動(dòng)化的相結(jié)合是一個(gè)強(qiáng)有力的工具。舉例來說,當(dāng)運(yùn)行CSS時(shí),樣品臺會自動(dòng)移動(dòng)到樣品適于成像的位置。CSS也可以將樣品進(jìn)一步設(shè)置成適于視頻光學(xué)記錄的位置。 實(shí)驗(yàn)人員必須更換樣品和探針。為了簡化操作過程,幾個(gè)視頻系統(tǒng)集成于CSS中。這些配置有利于示意如何更換探針以及放置樣品到成像的位置。軟件接口如圖3所示。 圖3軟件接口
CSS軟件的算法可用來判斷探針的成像質(zhì)量和優(yōu)化掃描參數(shù)。對某些特殊的樣品,這些算法的運(yùn)用可設(shè)計(jì)成樣品信息文件。
的掃描儀設(shè)計(jì) 使用移動(dòng)探針的彎曲壓電掃描儀設(shè)計(jì)可確保精確測量。這樣,在x-y-z軸和圖像間可測量最小的色度亮度干擾,以表明沒有背底彎曲。 外置的x、y、z軸校準(zhǔn)傳感器可監(jiān)視彎曲掃描儀的動(dòng)作。這種傳感器在x、y、z軸線性化和校準(zhǔn)掃描儀顯得非常必要。這些傳感器對于點(diǎn)和位置測量也很有必要,對于圖像中某個(gè)特殊形貌的放大應(yīng)用也顯得非常必要。晶體掃描儀的技術(shù)參數(shù)如表1。 表1? 晶體掃描儀的技術(shù)參數(shù)
范圍 | 線性度 | 干擾 | 噪聲 | |||
X-Y | 65 微米 | X-Y-Z | < 1% | XY | < 1% | Vertical < 0.1 nm |
Z | 8 微米 | ZX | < 2% | |||
ZY | < 2% |
與光杠桿傳感器的切換 常規(guī)的AFM使用光杠桿(Light Lever)來測量探針與樣品之間的作用力。盡管光杠桿機(jī)構(gòu)較為復(fù)雜且需要調(diào)光路,但也有一些優(yōu)點(diǎn)。其主要優(yōu)點(diǎn)是:可以進(jìn)行材料敏感模式的測量,如側(cè)向力或摩擦力像和相位移成像;另外,還可進(jìn)行磁力和靜電力成像。 Nano-R TM型AFM測試臺可與光杠桿傳感器兼容。只需幾分鐘便可切換光杠桿傳感器和晶體傳感器。切換安裝后,光杠桿式AFM便可以進(jìn)行接觸或振蕩模式的形貌像測量。
應(yīng)用 使用晶體掃描儀的Nano-R TM型AFM可測量各種樣品如工業(yè)樣品和需要高分辨成像的納米結(jié)構(gòu)的形貌像。工業(yè)樣品包括DVD、顯微鏡頭、紙張、光柵和圖形化的芯片。高分辨成像的納米結(jié)構(gòu)包括晶粒、納米粒子、納米晶體和納米管。圖4示出了一些使用晶體掃描儀的AFM形貌像。
原子力顯微鏡
晶體掃描儀(Crystal Scanner TM)是美國PNI公司開發(fā)的一種新穎的掃描儀。使用該掃描儀,無需知道更多掃描探針顯微學(xué)(SPM)知識的人士便可獲得納米范圍的形貌像。晶體掃描儀的核心是一種新型的無需復(fù)雜光路調(diào)整(Alignment)過程的力傳感器。它能夠進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)的成像和分析。 使用裝有晶體掃描儀的Nano-R TM原子力顯微鏡(AFM),工程師和科學(xué)工作者無需等候獲得掃描的納米結(jié)構(gòu)圖像,而是直接測量物體的形貌像。公司和研究機(jī)構(gòu)也不用雇傭AFM專家,這樣可為納米技術(shù)的研究、發(fā)展和工藝控制節(jié)省大量的成本。 晶體掃描儀在納米牛頓力測量領(lǐng)域內(nèi)注入了新的設(shè)計(jì)理念。將該掃描儀與Nano-R TM型AFM的測試臺和軟件相結(jié)合,便可以得到一個(gè)新的用戶友好接口的納米成像儀器。尤其是,當(dāng)配合點(diǎn)和掃描(Point & Scan TM)技術(shù),將大大簡化儀器的操作過程。
原子力顯微鏡
點(diǎn)和掃描技術(shù) 點(diǎn)和掃描技術(shù)大大減少了傳統(tǒng)系統(tǒng)軟件的復(fù)雜性,只要按照屏幕上的操作提示便可完成測試。幾步操作后,實(shí)驗(yàn)人員便可以在計(jì)算機(jī)屏幕上看到圖像。 點(diǎn)和掃描技術(shù)使用標(biāo)準(zhǔn)的納米成像操作步驟。步驟如下:
選擇樣品類型;
將樣品放置于顯微鏡下;
如有必要,更換晶體傳感器(只需幾分鐘);
選擇要掃描的樣品區(qū)域;
成像操作。
上述的納米成像過程同樣可以分析DVD和半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)以及對納米管、納米粒子和納米晶體進(jìn)行高分辨的納米成像。 點(diǎn)和掃描技術(shù)包括3個(gè)方面的創(chuàng)新性:晶體傳感器,測試臺的自動(dòng)化和軟件。
晶體傳感器
晶體掃描儀里的力傳感器是一種非常小的晶體振蕩器,在其晶體的末端裝有針尖,如圖1和2所示。當(dāng)探針靠近樣品表面時(shí),其振蕩的振幅將衰減。衰減的幅度取決于探針和樣品之間的作用力。掃描時(shí),使用軟件可以優(yōu)化振蕩頻率和力的大小。使用時(shí),晶體傳感器無需任何力的調(diào)整。
圖1晶體掃描儀中的石英交叉晶體 圖2晶體傳感器安裝在零插入力模塊上
的測試臺自動(dòng)化大大簡化了裝有晶體傳感器的Nano-R TM型AFM的操作過程。結(jié)合馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的光學(xué)系統(tǒng)、樣品定位和探針-樣品控制,無需任何手動(dòng)調(diào)整。因此,便可以實(shí)現(xiàn)“放置樣品-設(shè)定掃描區(qū)域-開始掃描”的簡單操作過程。
晶體掃描軟件
晶體掃描軟件(CSS)大大簡化了晶體掃描儀的操作。安裝CSS后,實(shí)驗(yàn)人員便可以從窗口菜單上選擇需要成像的樣品類型。有關(guān)樣品類型的信息可存儲在計(jì)算機(jī)內(nèi),需要時(shí)可調(diào)用。例如,CSS可以使用設(shè)置的掃描參數(shù)。CSS與測試臺自動(dòng)化的相結(jié)合是一個(gè)強(qiáng)有力的工具。舉例來說,當(dāng)運(yùn)行CSS時(shí),樣品臺會自動(dòng)移動(dòng)到樣品適于成像的位置。CSS也可以將樣品進(jìn)一步設(shè)置成適于視頻光學(xué)記錄的位置。 實(shí)驗(yàn)人員必須更換樣品和探針。為了簡化操作過程,幾個(gè)視頻系統(tǒng)集成于CSS中。這些配置有利于示意如何更換探針以及放置樣品到成像的位置。軟件接口如圖3所示。 圖3軟件接口
CSS軟件的算法可用來判斷探針的成像質(zhì)量和優(yōu)化掃描參數(shù)。對某些特殊的樣品,這些算法的運(yùn)用可設(shè)計(jì)成樣品信息文件。
的掃描儀設(shè)計(jì) 使用移動(dòng)探針的彎曲壓電掃描儀設(shè)計(jì)可確保精確測量。這樣,在x-y-z軸和圖像間可測量最小的色度亮度干擾,以表明沒有背底彎曲。 外置的x、y、z軸校準(zhǔn)傳感器可監(jiān)視彎曲掃描儀的動(dòng)作。這種傳感器在x、y、z軸線性化和校準(zhǔn)掃描儀顯得非常必要。這些傳感器對于點(diǎn)和位置測量也很有必要,對于圖像中某個(gè)特殊形貌的放大應(yīng)用也顯得非常必要。晶體掃描儀的技術(shù)參數(shù)如表1。 表1? 晶體掃描儀的技術(shù)參數(shù)
范圍 | 線性度 | 干擾 | 噪聲 | |||
X-Y | 65 微米 | X-Y-Z | < 1% | XY | < 1% | Vertical < 0.1 nm |
Z | 8 微米 | ZX | < 2% | |||
ZY | < 2% |
與光杠桿傳感器的切換 常規(guī)的AFM使用光杠桿(Light Lever)來測量探針與樣品之間的作用力。盡管光杠桿機(jī)構(gòu)較為復(fù)雜且需要調(diào)光路,但也有一些優(yōu)點(diǎn)。其主要優(yōu)點(diǎn)是:可以進(jìn)行材料敏感模式的測量,如側(cè)向力或摩擦力像和相位移成像;另外,還可進(jìn)行磁力和靜電力成像。 Nano-R TM型AFM測試臺可與光杠桿傳感器兼容。只需幾分鐘便可切換光杠桿傳感器和晶體傳感器。切換安裝后,光杠桿式AFM便可以進(jìn)行接觸或振蕩模式的形貌像測量。
應(yīng)用 使用晶體掃描儀的Nano-R TM型AFM可測量各種樣品如工業(yè)樣品和需要高分辨成像的納米結(jié)構(gòu)的形貌像。工業(yè)樣品包括DVD、顯微鏡頭、紙張、光柵和圖形化的芯片。高分辨成像的納米結(jié)構(gòu)包括晶粒、納米粒子、納米晶體和納米管。圖4示出了一些使用晶體掃描儀的AFM形貌像。