FT150(FT150/FT150h/FT150L)日本日立X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立(主營EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L),FT110A系列產(chǎn)品,搭載了性能X射線管,實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合,實(shí)現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。1. 高速測量:通過X射線檢測機(jī)的改良,對于極具代表性的Au/Pd/Ni/Cu(金/鈀/鎳/銅)多鍍層測量,相比以前機(jī)型,效率提高了2倍以上。2. 對應(yīng)超小型的芯片零部件的厚度測量(FT150h:FT150h通過最新開發(fā)的聚光導(dǎo)管,可以測量超小型芯片零部件(電容、電阻等)的電極部的鍍層厚度測量。3. 兼顧安全性和簡便性:采用防止X射線泄露的密集型框架和大開口且可以方便開啟和關(guān)閉的樣品門,兼顧安全性和簡便性!窮T150L」可以對應(yīng)最大600×600mm的大型線路板。
X射線熒光鍍層厚度儀「FT150系列」(FT150/FT150h/FT150L)是采用聚光X射線的聚光導(dǎo)管,可對微小部的鍍層厚度進(jìn)行高速測量的高性能儀器。通過X射線檢測儀器的改良,在線路板和連接器等使用的Au/Pd/Ni/Cu(金/鈀/鎳/銅)多鍍層檢測中,其測量速度與本公司以往機(jī)型(FT9500X,以下相同)相比,提高了2倍以上。在「FT150h」里通過新開發(fā)的聚光導(dǎo)管也可以測量超小型芯片零部件的端子鍍層厚度。而且跟以往機(jī)型相同,為操作員的安全和安心考慮,采用X射線泄露的可能性極小的密集型框架。新設(shè)計(jì)的樣品室門采用大開口,同時(shí)保證了開啟和關(guān)閉的便捷性。并且通過大型觀察窗口,可以方便地取放和定位樣品。另外,操作軟件通過圖標(biāo)和便捷畫面在提高了操作性的同時(shí),可通過數(shù)據(jù)自動(dòng)保存功能減輕操作員的業(yè)務(wù)。通過這些改進(jìn),「FT150系列」實(shí)現(xiàn)了高精度?迅速的鍍層厚度測量,為測量工作的效率化和成本削減做出了貢獻(xiàn)。