產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品副名稱:可滿足所有度層厚度測(cè)量需求的雙檢測(cè)器型鍍層厚度測(cè)量儀 產(chǎn)品型號(hào):SFT9400、SFT9450、SFT9455 產(chǎn)品特點(diǎn): ★搭載有高功率X射線管及雙檢測(cè)器(半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管) 可對(duì)應(yīng)組合復(fù)雜的應(yīng)用程序,特別是可識(shí)別Ni和Cu之類能量較為接近的元素。 能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次濾波器的情況下進(jìn)行測(cè)量 對(duì)于含Br的電路板,可以不受Br的干擾對(duì)Au的鍍層厚度進(jìn)行高精度的測(cè)量 可測(cè)量0.01μm以下的超薄的Au鍍層厚度 ★搭載塊體FP發(fā)軟件和薄膜FP法軟件 對(duì)應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等,適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域 ★適用超微小面積的測(cè)量 標(biāo)準(zhǔn)配備的15μmΦ的準(zhǔn)直器,可對(duì)超微小面積進(jìn)行測(cè)量。 ★搭載了可3段切換的變焦距光學(xué)系統(tǒng) ★擁有防沖撞功能 ★搭載高精度樣品平臺(tái),更可測(cè)量大型線路板(SFT9455) ★搭載激光對(duì)焦系統(tǒng) ★搭載測(cè)試報(bào)告自動(dòng)生成軟件 產(chǎn)品特征: 為了對(duì)應(yīng)電子工業(yè)當(dāng)中越來越復(fù)雜的鍍金工藝而設(shè)計(jì),是在以往的SFT9300的基礎(chǔ)上升級(jí)的產(chǎn)品。他繼承了SFT9300的75W高功率X射線管,還配備雙檢測(cè)器(半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管)。是SFT9000系列里級(jí)的機(jī)型,能滿足“薄膜鍍層”、“合金鍍層”、“超微小面積測(cè)量”等鍍層厚度測(cè)量需求的高性能鍍層厚度測(cè)量儀。此外,SFT9400系列還在測(cè)量鍍層厚度的基礎(chǔ)上,新增了可對(duì)不同被測(cè)物體積材料進(jìn)行定性分析和成分分析的功能。 產(chǎn)品介紹: SFT9400系列產(chǎn)品規(guī)格 型號(hào):SFT9400/SFT9450/SFT9455 儀器的特長:微小面積對(duì)應(yīng)及高性能型 可測(cè)量元素:原子序號(hào)22(Ti)~83(Bi) X射線源:小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶) 管電壓:50kV管電流:1.5mABe窗 濾波器:一次濾波器:Mo-自動(dòng)切換 二次濾波器:無 照射方式:上方垂直照射方式 檢測(cè)器:半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管(不需液氮的檢測(cè)器) 儀器校正:自動(dòng)校正+手動(dòng)校正 準(zhǔn)直器(標(biāo)準(zhǔn)配置):○型(4種) 安全性能:樣品室門鎖,樣品防沖撞功能 樣品圖像對(duì)焦:有(激光對(duì)焦) 樣品觀察:CCD攝像頭+倍率光學(xué)器+鹵素?zé)粽彰? 焦點(diǎn)切換功能:3段切換9400:10/40/70mm 9450:10/25/40mm X-rayStation 臺(tái)式電腦 。∣S;MS-WindowsXP®) 打印 噴墨打印機(jī) 應(yīng)用 單層、雙層、多成分合金薄膜、成分比同時(shí)測(cè)量、化學(xué)鎳 軟件 塊體FP法軟件、薄膜FP法軟件 測(cè)量功能:自動(dòng)測(cè)量、中心搜索、圖像識(shí)別處理 修正功能:基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 統(tǒng)計(jì)處理功能:MS-EXCEL® 報(bào)告制作功能:MS-WORD®
產(chǎn)品簡介
適用于手機(jī)零件等微小的電子部件等樣品,專門配備了微型準(zhǔn)直器(最小15μm)和75W(50kV,1mA)高功率X射線管,滿足測(cè)量微小區(qū)域及高精度的需求。測(cè)量樣品的微小部時(shí)與以往的機(jī)種相比,得出相同度的前提下大大縮短了測(cè)量時(shí)間。(SFT9300、SFT9350、SFT9355) 產(chǎn)品介紹: SFT9300系列產(chǎn)品規(guī)格 型號(hào):SFT9300/SFT9350/SFT9355 儀器的特長:微小面積對(duì)應(yīng)型 可測(cè)量元素:原子序號(hào)22(Ti)~83(Bi) X射線源:小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶) 管電壓:50kV管電流:1.5mABe窗 濾波器:一次濾波器:Mo-自動(dòng)切換 二次濾波器:Co-自動(dòng)切換 照射方式:上方垂直照射方式 檢測(cè)器:比例計(jì)數(shù)管 儀器校正:自動(dòng)校正 準(zhǔn)直器(標(biāo)準(zhǔn)配置):○型(三種) □型(三種) 安全性能:樣品室門鎖,樣品防沖撞功能 樣品圖像對(duì)焦:有(激光對(duì)焦) 樣品觀察:CCD攝像頭+倍率光學(xué)器+鹵素?zé)粽彰? 焦點(diǎn)切換功能:3段切換9300:10/40/70mm 9350:10/25/40mm 應(yīng)用 單層、雙層、多成分合金薄膜、成分比同時(shí)測(cè)量、化學(xué)鎳 軟件 塊體FP法軟件、薄膜FP法軟件 測(cè)量功能:自動(dòng)測(cè)量、中心搜索、圖像識(shí)別處理 修正功能:基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 統(tǒng)計(jì)處理功能:MS-EXCEL® 報(bào)告制作功能:MS-WORD®
產(chǎn)品簡介
是改進(jìn)SEIKOSFT3000而上市的一種新產(chǎn)品,添加了SFT3000系列沒有的激光對(duì)焦,自動(dòng)樣品臺(tái)等功能,使使用者操作更簡便更快捷的儀器。與他社儀器相比具有2048通道的MCA采樣分析電路,大大減小了分析誤差并配備了5種圓形,方形準(zhǔn)直器,不受樣品形狀的影響能夠更地進(jìn)行測(cè)量。 產(chǎn)品介紹: 型號(hào):SFT9200/SFT9250/SFT9255 儀器的特長:廣泛應(yīng)用型 可測(cè)量元素:原子序號(hào)22(Ti)~83(Bi) X射線源:小型空氣冷卻型高功率X射線管球(W靶) 管電壓:45kV管電流:1mABe窗 濾波器:一次濾波器:A1-自動(dòng)切換 二次濾波器:Co-自動(dòng)切換 照射方式:上方垂直照射方式 檢測(cè)器:比例計(jì)數(shù)管 儀器校正:自動(dòng)校正 準(zhǔn)直器(標(biāo)準(zhǔn)配置):○型(三種) □型(三種) 安全性能:樣品室門鎖,樣品防沖撞功能 樣品圖像對(duì)焦:有(激光對(duì)焦) 樣品觀察:CCD攝像頭固定倍率、鹵素?zé)粽彰? 焦點(diǎn)切換功能:3段切換9200:10/40/70mm 9250:10/25/40mm 應(yīng)用 單層、雙層、多成分合金薄膜、成分比同時(shí)測(cè)量、無電解鎳(最多可測(cè)5層) 軟件 薄膜FP法軟件 測(cè)量功能:自動(dòng)測(cè)量、中心搜索、圖像處理 修正功能:基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 統(tǒng)計(jì)處理功能:MS-EXCEL® 報(bào)告制作功能:MS-WORD®
技術(shù)參數(shù):
--元素范圍: Ti22 – U92 同時(shí)分析層數(shù)和元素定量:5層(4層+基體);最多同時(shí)15種元素定量
--X射線激發(fā): 100瓦(50kV-2.0mA)微焦點(diǎn)鎢靶X射線管(可選鉬靶X射線管)
--X射線檢測(cè): 高分辨封氣 (Xe)正比計(jì)數(shù)器,靈敏度高,可最多裝備3種二次濾光片
--準(zhǔn)直器: 單準(zhǔn)直器或多準(zhǔn)直器系統(tǒng),準(zhǔn)直器系統(tǒng)最多可安裝4種規(guī)格的準(zhǔn)直器,備有各種規(guī)格準(zhǔn)直器(0.015mm-0.5mm)圓形或矩形供客戶選用
--數(shù)字脈沖處理器: 4096通道數(shù)字多道分析器,包含自動(dòng)波譜校正和Pulse Pile Rejection功能
--樣品臺(tái): 程控XYZ軸:300 x 200 x 230mm
手動(dòng)XY軸:250 x 250mm+230mm程控Z軸
固定位置樣品臺(tái),最大高度230 mm
--CCD系統(tǒng): 1/2" CMOS-640X480 VGA resolution鏡頭標(biāo)準(zhǔn)為15倍,可選購40倍或由軟件放大X1、X2、X3、X4 激光自動(dòng)對(duì)焦
--自由距離測(cè)量DIM: 在12.7~88.9mm自由聚焦范圍內(nèi)可聚焦樣品表面任意測(cè)量點(diǎn),并有自動(dòng)雷射聚焦功能
--統(tǒng)計(jì)報(bào)表功能: 平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差、最大值、最小值、數(shù)據(jù)變動(dòng)范圍、量測(cè)點(diǎn)數(shù)、控制上線圖、控制下線圖、CP、CPK數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖、直方圖
數(shù)據(jù)儲(chǔ)存功能統(tǒng)計(jì)報(bào)告軟件允許用戶自行設(shè)計(jì)報(bào)表 (另可選購Excel 輸出功能)
--電源: 85-130V或者215-265V、頻率47-63Hz
--工作環(huán)境: 10-40℃、相對(duì)濕度小于98%,無冷凝水
--儀器尺寸: H744 x W686 x D813
--重量: 160公斤
型號(hào):SFT-110
測(cè)量元素:原子序號(hào)22(Ti)~83(Bi) X射線源:空冷式小型X射線管 檢測(cè)器:比例計(jì)數(shù)管 準(zhǔn)直器:○型: 0.1mmφ、0.2mmφ 2種 樣品觀察:CCD攝像頭(可進(jìn)行廣域觀察) 對(duì)焦:激光點(diǎn)(自動(dòng)) 濾波器:一次濾波器: 自動(dòng)切換 樣品臺(tái)(臺(tái)式尺寸): 500(W) x400(D) x 150(H)mm (移動(dòng)量):X:250mm, Y:200mm 操作部:電腦、19寸液晶 測(cè)量軟件:薄膜FP法 (最多5層膜、10種元素)、標(biāo)準(zhǔn)曲線法 數(shù)據(jù)處理:配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word 安全機(jī)構(gòu):樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能
配備自動(dòng)定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀SFT-110],使操作性進(jìn)一步提高。 對(duì)半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測(cè)量管理,可產(chǎn)品的功能及品質(zhì),降低成本。精工從1971年推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高精度測(cè)量的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀以來,已經(jīng)累計(jì)銷售6000多臺(tái),得到了國內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測(cè)量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。 為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測(cè)量需求,精工開發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀SFT-110。通過自動(dòng)定位功能,僅需把樣品放置到樣品臺(tái)上,就可在數(shù)秒內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。由此,無需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作,大大提高了樣品測(cè)量的操作性。 近年來,隨著檢測(cè)零件的微小化,對(duì)微區(qū)的高精度測(cè)量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。并且,配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測(cè)量,可對(duì)應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。
特點(diǎn) 即放即測(cè)! 通過自動(dòng)定位功能,放置樣品后僅需幾秒,便能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。 10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量! 以的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度地提高膜厚測(cè)量的精度。 無標(biāo)樣測(cè)量! 將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測(cè)量。也可簡單地測(cè)量多鍍層膜和合金膜樣品。 通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測(cè)量位置! 通過廣域觀察系統(tǒng),能夠從畫面上的樣品整體圖(最大250×200mm)中方便地指定測(cè)量位置
概述:
即放即測(cè);10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量;
可無標(biāo)樣測(cè)量;通過樣品整體圖像更方便選擇測(cè)量位置!
主要特點(diǎn):
1.通過自動(dòng)定位功能提高操作性 測(cè)量樣品時(shí),以往需花費(fèi)約10秒的樣品對(duì)焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大
提高樣品定位的操作性。 2.微區(qū)膜厚測(cè)量精度提高 通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅
度提高膜厚測(cè)量的精度。 3.多達(dá)5層的多鍍層測(cè)量 使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測(cè)量。 4.廣域觀察系統(tǒng)(選配) 可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測(cè)量位置。 5.對(duì)應(yīng)大型印刷線路板(選配) 可對(duì)600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測(cè)量。 6.低價(jià)位 與以往機(jī)型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價(jià)格。
產(chǎn)品規(guī)格:
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概述:
SFT9000系列里最好的機(jī)型“SFT9455”,搭載75W高速X射線管和雙重檢驗(yàn)裝置(半導(dǎo)體檢驗(yàn)裝置十比
例計(jì)數(shù)管)。適用“薄膜”、“金屬膜”、“極微小部分測(cè)定”等所有鍍膜膜厚測(cè)定要求的高性能膜
厚測(cè)量儀器。而且 “SFT9455”在鍍膜厚度測(cè)量功能的基礎(chǔ)上還可以用作異物定性分析和材料成分分析。
主要特點(diǎn):