HMDS烘箱|晶圓HMDS預處理烘箱
一、技術參數:
名稱:HMDS電腦式真空烘箱
型號:EHZ-HMDS-90
HMDS烘箱|晶圓HMDS預處理烘箱
真空度:<133pa
溫度范圍:50~250℃
溫度分辨率:±0.1℃
控制方式:PLC+觸摸屏(人機交互界面)
內部尺寸:W450mm*D450mm*H450mm(可根據客戶要求訂制)
電源:AC220V 50HZ
功率:2.1KW
二、應用領域與用途:
EHZ-HMDS-90系列電腦式HMDS真空烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預處理,增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設備適用于在涂膠前對晶片進行預處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預抽真空,充氮加熱循環(huán)進行,既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質的擴散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對人體無害的顯著優(yōu)點;也可用于晶片其它工藝的清洗。
三、產品特點:1.控制界面:采用日本三菱PLC+7'觸摸屏人機交互界面,一鍵啟動,程序化運行,溫度控制系統(tǒng),抽真空系統(tǒng),
充氮系統(tǒng),HMDS注液系統(tǒng)完美對接,亦可在操作界面單獨設定操控,實現一集多用。
2.箱體:工作室采用3mm優(yōu)質不銹鋼內膽,四周圓弧角焊接,表面凈化處理,密閉不漏氣,內部自身不產塵,
適用于半導體晶圓,光電等潔凈環(huán)境。
3.外殼:采用SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵
4.密封:門封采用四氟乙烯雙層密封一體成型耐高溫膠條,密封性好,柔軟潔凈無污染。
5.溫度控制系統(tǒng):
5.1溫控器采用日本FUJI數字型智能溫度控制器,控制精度±0.1℃,PID自動演算,自動恒溫,帶溫度傳感器斷線報警,超溫斷加熱,過沖抑制,抗干擾,AT自整定,溫度偏差修正功能,帶8段斜率升溫功能。
5.2 溫度傳感器
采用日制PT100鉑金電阻,不銹鋼鎧裝覆套,精度±0.5%,反應靈敏,抗干擾,耐高溫
6.真空度控制系統(tǒng)
6.1 真空計
采用三菱PLC壓力控制模塊搭配上海產優(yōu)質真空壓力變送器,壓力精度1pa
6.2 真空泵
采用上海產優(yōu)質雙旋片油泵,真空極限10-3pa,亦可根據客戶需要配置德國進口真空泵。
7.充氮系統(tǒng)
采用惰性氣體進氣閥,不銹鋼無縫焊接管路,搭配日本進口電磁閥,截止閥,耐壓,無泄漏。臺制氮氣流量計,壓力調節(jié)閥,可充入氮氣,氬氣等多種惰性氣體,氮氣流量,充入時間可控制。
8.HDMS注液系統(tǒng)
防爆型HDMS制劑瓶,配置不銹鋼藥液管道,電磁回流閥,真空狀態(tài)打開閥門自動注液,安全密封無泄漏。
9.安全保護系統(tǒng):
配置機臺異常工作狀態(tài)指示報警,安全斷路器,過壓過載保護,控制線路保險管,超溫保護,壓力過載保護,安全急停開關、工作狀態(tài)三色指示燈。所用電器器件及氣動元件均采用國內外一流大廠正品,確保安全可靠。
四、選配件:
1.多通道溫度記錄儀:帶RS485通訊端口,曲線模式,多點溫度同屏顯示,可存儲記錄,配置USB接口,插入U盤到處數據,亦可配置打印機,打印溫度曲線。
2.壓力記錄儀:彩色液晶屏壓力記錄儀,在線監(jiān)控箱內壓力,帶RS485通訊端口,可存儲記錄數據,亦可通過軟件連接電腦,導出數據。HMDS烘箱|晶圓HMDS預處理烘箱技術咨詢
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二. 主要技術參數 : 規(guī)格型號 LDS-1 LDS-2 LDS-3 LDS-5 LDS-10 最大試驗力 (KN) 1 2 3 5 10 測量范圍 1%-100%FS 加載速度 0.2—500mm/min 最小顯示力值 0.1N 示值精度( 優(yōu)于示值的) ±1% 拉伸最大距離 (mm) 650mm可定制 壓盤間最大距離 (mm) 800mm可定制 上下壓盤尺寸 (mm) 100mm 100mm 100mm 100mm 拉伸夾具類型(標配一副) 線材纏繞式夾具、對夾式夾具、杠桿式夾具等可選擇 主機 ( mm ) 500 ×400 ×1600
Y10408A | 人前列腺素D合成酶(PGDS)Elisa試劑盒 | Human Prostaglandin D Synthase,PGDS ELISA Kit |
Y10409A | 人胃蛋白酶原C(PG-C)Elisa試劑盒 | human Pepsinogen C,PG-C ELISA Kit |
Y10410A | 人胃蛋白酶原A(PG-A)Elisa試劑盒 | human Pepsinogen A,PG-A ELISA Kit |
Y10411A | 人組織多肽抗原(TPA)Elisa試劑盒 | Human Tissue Polypeptide Antigen,TPA ELISA Kit |
Y10412A | 人肺癌標志物Elisa試劑盒 | human lung cancer Marker ELISA Kit |
Y10413A | 人胃癌標志物Elisa試劑盒 | human gastric carcinoma Marker ELISA Kit |
Y10414A | 人鱗狀上皮細胞癌抗原2(SCCAg-2)Elisa試劑盒 | Human Squamous Cell Carcinoma Antigen 2,SCCAg 2 ELISA Kit |
Y10415A | 人胰腺癌標志物CA242Elisa試劑盒 | Human Pancreatic carcinoma markers-CA242 ELISA Kit |
Y10416A | 人胃腸癌標志物CA199Elisa試劑盒 | Human Gastrointestinalcancer Marker-CA199 ELISA Kit |
Y10417A | 人乳腺癌標志物-CA153Elisa試劑盒 | Human mammary carcinoma Marker-CA153 ELISA Kit |
Y10418A | 人卵巢癌標志物CA125Elisa試劑盒 | Human ovarian cancer marker-CA125 ELISA Kit |
Y10419A | 人甲種胎兒球蛋白/甲胎蛋白(AFP)Elisa試劑盒 | Human Alpha-fetoprotein,AFP ELISA Kit |
種類 | 對射光纖管 |
型號 | DS-310 |
規(guī)格 | 1米*2 |
1.概述
腹瀉性貝類毒素檢測試劑盒的原理是酶聯(lián)免疫吸附測定法,用于水及水產品中腹瀉性貝類毒素的定量測定。岡田酸是腹瀉性貝類毒素的一種。對于水產品需要做前處理,不可以直接檢測。如果需要的話陽性樣品可以通過HPLC和GC/MS來驗證。
2.安全性說明書韓生13828743512 企鵝號 1050278014
試劑盒中的標準溶液里含有少量的岡田酸。底物中包含有四甲基聯(lián)苯胺,終止液中含有稀硫酸。要避免
皮膚和粘膜與終止液接觸,如果不小心接觸了請馬上用水沖洗。
3.保存和穩(wěn)定性
試劑盒應保存在2-8℃,不要冷凍。在使用之前要把試劑盒中的溶液回復到室溫(20-25℃)。期內試劑盒中的試劑都可以使用。
4.原理
試劑盒的原理是直接競爭ELISA法,通過特異性抗體來識別岡田酸。當樣品中含有岡田酸時,樣品中的岡田酸與岡田酸酶結合物競爭結合溶液中的岡田酸抗體。岡田酸抗體與包被在微孔板上的羊抗鼠二抗結合。經過一步洗滌加入底物溶液,產生有色反應。產生的綠色的顏色深度與樣品中岡田酸的含量成反比。加入反應停止液后使顏色由藍色轉變?yōu)辄S色。用酶標儀在450nm處測定吸光度值。通過繪制標準曲線來計算樣品中岡田酸的含量。
5. 岡田酸試劑盒的局限性和可能的干擾
對在水樣中經常出現的多種有機物和無機物已近作過檢測對此試劑盒并無干擾。由于化合物的易變質性由基質反應引起的干擾是不可能避免的。操作不當也可能導致檢測結果錯誤,比如:試劑盒保存條件不對、錯誤的加液順序、試劑的量沒有加、孵育的時間太長或太短、孵育的溫度太高或太低。與其它檢測方法一樣對陽性結果要求通過其它傳統(tǒng)的方法來驗證。
6.岡田酸測定的重要性
岡田酸是腹瀉性貝類毒素的一種,受岡田酸污染的貝類和有害藻類大量繁殖的有關。DSP可以引起劑量依賴型的腹瀉、惡心、嘔吐癥狀。FDA對ASP的限量是0.2ppm。歐洲是160ug。這個試劑盒可以檢測40個樣品(做兩個重復)。需要少量的樣品,檢測時間少于2小時。
7.試劑盒特性
敏感性:1.7ng/ml
重復性:標準的變異系數小于10%,樣品的變異系數小于15%
特異性:
腹瀉性貝類毒素檢測試劑盒能檢測Okadaic acid及其它DSP,它們的結合程度是不同,以下表格中展示的是相關值及交叉反映率(%CR),以下所有濃度均為ppb級。
種 類 | % CR | 種 類 | % CR |
Okadaic Acid (DTX) | 100% | Dinophysistoxins DTX-2 | 50% |
Dinophysistoxins DTX-1 | 50% |
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樣品:水樣和貝類產品
標準曲線:
A.試劑盒組成:
1、包被二抗的微孔板(羊抗兔)
2、標準(7種)0、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、ng/ml
3、岡田酸抗體溶液(兔抗岡田酸)6ml
4、岡田酸酶標記物6ml
5、樣品稀釋液(10倍濃縮)25ml,用于稀釋樣品
6、5x 濃縮洗液100ml
7、顯色液(底物)TMB,16ml
8、終止液12ml
B 測試前準備
微量移液器和吸頭是必須使用的,推薦使用排槍加液這樣可以確保整個微孔板上的孔在每個步驟的反應時間趨于一致。在做同一次測試時要使用同一個盒子里的試劑和標準。在操作前仔細閱讀說明書。
1、使用前將所有的試劑拿到室溫(19℃-25℃)。
2、從鋁箔袋中拿出要求數量的微孔條,放入干燥劑并重新封好袋子以免微孔條受潮。置于4-8℃保存。
3、標準液,對照,酶結合物,底物,終止液不用稀釋直接使用。
4、洗液在使用前要以1:5的比例稀釋后使用(100 mL 5X 洗液加 400 mL 無離子水)
5、由于終止液中含稀硫酸拿的時候要小心。
HY-TDS2000系列超聲波流量計 管徑:20mm~3000mm 流速:0.01~30m/s 溫度:-20~+80℃ 介質:各種流動液體非接觸測量 輸出4~20mA(有計算機接口),儀器顯示出累計、瞬時流量。
廣泛的應用領域: ◆測量介質 HY-TDS2000能夠測量水、海水、污水、酸堿化學溶液、食物油、汽煤油、柴油、原油、酒精等各種能傳播超聲波的液體。 ◆管道類型 HY-TDS2000能夠測量管徑DN20mm至DN3000mm的鋼、不銹鋼、玻璃鋼、鑄鐵、水泥、玻璃、塑料、PVC等一切質地致密管道。 ◆工作環(huán)境 HY-TDS2000能夠測量水廠、污水處理廠、電廠、石油、化工、食品、醫(yī)藥、造紙制漿等各種環(huán)境下的管道。 ◆使用功能 HY-TDS2000能夠用來流量計量、泄漏檢測、自動化設備流量控制;熱量計量、采集、平衡;以及流量、熱量計算網絡管理、網絡監(jiān)控等。 ◆接口功能 HY-TDS2000有繼電器、12-9999Hz的頻率、4-20mA電流環(huán)、RS-232/485等各種信號輸出接口。 ◆機器型號 固定式、便攜式、盤裝式;外夾式、插入式、管段式任意選用。
工作電壓:3.0V-5.5V測溫范圍:-55℃-+125℃分辯率:9--12位可調最小溫度分辨率:0.0625℃測量精度:-10℃-+85℃范圍內±0.5℃輸出接口:數字信號,1-Wire 總線封裝特性:不銹鋼管密封,防水、防腐蝕 零售價格:48元/只
DPO/DSA/MSO70000系列示波器提供了杰出的信號采集性能和分析功能。它在全部4條通道上提供了完善的采集性能,發(fā)現實際信號。它提供了業(yè)內最高的波形捕獲功能,可以捕獲更多的信號細節(jié)。專門的一系列工具提供了更快的設計和一致性測試功能,自動設置、采集和分析高速串行數據信號。
數字和混合信號示波器DPO/DSA/MSO70000 系列產品技術資料 |
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快速選型指南
單通道DS18B20溫度測控儀 單通道DS18B20溫度測控儀與DS18B20數字輸出的傳感器配合,完成溫度顯示和控制.儀表誤差小于0.5%F.S, 具有2點報警輸出,并帶有RS485輸出接口,與計算機聯(lián)網,實現集中控制與單表顯示功能.適用于冷凍庫,糧倉,儲罐,電訊機房,電力機房,電纜線槽等測溫和控制,軸瓦,缸體,紡機,空調,等狹小空間工業(yè)設備測溫和控制。
1: 技術性能1.1 輸入信號 DS18B20 (9~12位數字輸入)1.2 顯示范圍: -55~125℃1.3 顯示顏色: 綠色1.4 基本誤差: 小于0.5%F.S,分辨率 0.1℃1.5 報警輸出: 2點繼電器輸出,觸點容量220V AC/3A 1.6 變送輸出: 4~20mA, 1~5V輸出等 (可選)1.7 外供電源: 24V/DC 用于給變送器供電 (可選)1.8 通訊接口: RS485或RD2321.10 通訊速率: 4800,9600等可設定1.11 電 源: 85V~265V/AC1.12 外形尺寸 160(W)×80(H)×125 或80(W)×160(H)×125(L) 96(W)×96(H)×76(L) 96(W)×48(H)×82(L) 或48(W)×96(H)×82(L) 72(W)×72(H)×75(L) 48(W)×48(H)×108(L)2:端子接線圖 只需要將傳感器DS18B20的 Vcc,I/0,GND出線端接在儀表的相應端 子上即可.