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      Agilent 5529A雙頻激光干涉儀
      
                    
      
                        
      產(chǎn)品簡介
      隨著精密機械零件的要求在繼續(xù)增加，Agilent 5529A動態(tài)校準系統(tǒng)能幫助機床用戶獲得成功。Agilent 5529A為機床制造商和用戶提供測量機床定位和精度的基本部件；用經(jīng)補償?shù)臄?shù)據(jù)校準機床的定位誤差；診斷幾何形狀問題；以及符合7種國際標準的機床性能文檔。 
      您可用Agilent 5529A選擇全套校準部件，包括激光源、校準器和材料補償板、材料和空氣傳感器、光纖套件、電纜和附件。您也可選擇3種預(yù)配置系統(tǒng)（不包括光纖）。 
      Agilent 5529B基本系統(tǒng)：包括激光源、校準器和材料補償板、材料和空氣傳感器、電纜和附件。 
      Agilent 5529V Vectra系統(tǒng)：包括校準器和材料補償板、HP Vectra PC和super VGA顯示。 
      Agilent 5529U升級系統(tǒng)：包括校準器和材料補償板、適配器電纜，您能從Agilent 5528A升級到Agilent 5529A。 
      特性：
      l    專利Agilent激光管設(shè)計，性MTBF大于 50,000 小時 
      l    用戶友好的Windows軟件 
      l    文檔使用8種語言：英語、法語、德語、意大利語、日語、西班牙語，以及簡體和繁體漢語 
      l    符合7種國際標準： NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89 
      l    在線幫助
      如果需要詳細的資料請發(fā)Email：xie_feng79@163.com
      
                    
      
                                    
      
                                
      
                    
      雙頻激光干涉儀ZLM700
      
                    
      
                        
      產(chǎn)品功能     定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數(shù)控機床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實現(xiàn)定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準和測量，廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。性能優(yōu)勢
      l          真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
      l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
      l          測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應(yīng)的部件即可。
      l          激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。
      l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。
      l          計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更。
      l          采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
      l          被測物體最大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當(dāng)移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
      l          無加速度限制；當(dāng)光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。
      l          信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
      l          對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。
      工作原理
      專利型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)Ω咚傥矬w進行測量，不會出現(xiàn)干擾誤差，信號延時時間極短。
      采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標準化實驗室和高真空環(huán)境。
              
              
              
      技術(shù)參數(shù) 
                  
                              
      型號：ZLM700
                        		                        
      使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
                        		        
              
                              
      He-Ne激光平均波長：
                        		                        
      632.8 nm
                        		        
              
                              
      激光穩(wěn)頻精度：
                        		                        
      一小時2x10-9（±0.002ppm）
                  
      壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
                        		        
              
                              
      系統(tǒng)精度（0-40℃時）：
                        		                        
      ±0.4ppm
                        		        
              
                              
      光束直徑：
                        		                        
      6mm （可選3.2mm）
                        		        
              
                              
      激光管突發(fā)最大輸出功率：
                        		                        
      1mW （激光等級2）
                        		        
              
                              
      每束光可測量的軸數(shù)：
                        		                        
      1
                        		        
              
                              
      線性測量距離：
                        		                        
      40m，可擴展為120m
                        		        
              
                              
      角度測量范圍：
                        		                        
      ± 15°，20m軸線范圍
                        		        
              
                              
      平面度測量范圍：
                        		                        
      20m行程
                        		        
              
                              
      直線度測量范圍：
                        		                        
      ± 5mm，2m或10m行程，
                  
      選用角度干涉儀可測30m行程
                        		        
              
                              
      垂直度測量范圍：
                        		                        
      ± 5mm，2m或10m行程，
                  
      30m行程需用角度干涉儀
                        		        
              
                              
      最大速度：
                        		                        
      4m/s，可選16m/s
                  
      80rad/s，角速度
                        		        
              
                              
      最大加速：
                        		                        
      無限制
                        		        
              
                              
      采樣頻率：
                        		                        
      內(nèi)部1MHz，外部40MHz
                        		        
              
                              
      預(yù)熱時間：
                        		                        
      10分鐘
                        		        
              
                              
      精度/非線性：
                        		                        
      ±0.3nm （角隅反射鏡）
                  
      ±0.1nm （平面反射鏡）
                        		        
              
                              
      距離測量分辨率：
                        		                        
      0.6nm （角隅反射鏡）
                  
      0.3nm （平面反射鏡）
                  
      0.1nm 可選
                        		        
              
                              
      距離測量精度：
                  
      （20°±0.5°） 使用AUK時
                  
      （20°±0.5°） 真空中時
                        		                        
       
                  
      ±0.4ppm （μ/m）
                  
      ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
                        		        
              
                              
      線性度測量分辨率：
                        		                        
      0.6nm （角隅反射鏡）
                  
      0.3nm （平面反射鏡）
                  
      0.1nm 可選
                        		        
              
                              
      線性度測量精度：
                  
      （20°±0.5°） 使用AUK時
                  
      （20°±0.5°） 真空中時
                        		                        
       
                  
      ±0.4ppm （μ/m）
                  
      ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
                        		        
              
                              
      速度測量精度：
                        		                        
      ±0.5ppm實測值
                        		        
              
                              
      角度測量分辨率：
                        		                        
      0.015μrad （3x10-3 弧秒）
                        		        
              
                              
      角度測量精度：
                        		                        
      ±0.1ppm實測值
                        		        
              
                              
      平面度測量分辨率：
                        		                        
      0.015μrad （3x10-3 弧秒）
                        		        
              
                              
      平面度測量精度：
                        		                        
      ±0.2%實測值
                  
      ±0.05 弧度/米運行距離
                        		        
              
                              
      直線度測量分辨率：
                        		                        
      36nm，10m行程
                  
      7.25nm，2m行程
                        		        
              
                              
      直線度測量精度：
                        		                        
      ±0.5%實測值，2m行程
                  
      ± 2.5%實測值，10m行程
                        		        
              
                              
      垂直度測量分辨率：
                        		                        
      36nm，10m行程
                  
      7.25nm，2m行程
                        		        
              
                              
      垂直度測量精度：
                        		                        
      ±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒*
                  
      ±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒*
                        		        
              
                              
      數(shù)據(jù)接口：
                        		                        
      積分信號             32 Bit （實時時間）            Dt » 20 ns
                        		        
              
                              
      數(shù)據(jù)分析標準：
                        		                        
      ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
                        		        
              
                              
      工作環(huán)境：
                        		                        
      溫度：15°C-30°C
                  
      濕度：<90%無冷凝
                        		        
              
                              
      儲存環(huán)境：
                        		                        
      溫度：10°C-40°C
                  
      濕度：<95%無冷凝
                        		        
          
       
      應(yīng)用光路圖
      以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度
      以上是平面度測量示意圖
      以上是垂直度測量示意圖
       以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
      以上是對角測量示意圖
       以上是俯仰角測量示意圖
      以上是偏擺角測量示意圖
      以上是滾動角測量示意圖
      以上是回轉(zhuǎn)臺定位精度測量示意圖
      資料下載耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf激光干涉儀說明書（中文）.pdf
      
                    
      
                                        
      
                        該公司產(chǎn)品分類：
                                                                        變送器/信號轉(zhuǎn)換器
                                                多通道溫度測量儀
                                                載波包絡(luò)相位檢測儀
                                                色散測量儀
                                                激光對中儀
                                                孔同軸度檢測儀
                                                激光平面度檢測儀
                                                激光幾何測量系統(tǒng)
                                                激光平行度檢測儀
                                                雙頻激光干涉儀
                                                表面粗糙度輪廓儀
                                            
      
                                    
      
                            
      
            
        
      
        
      
            
            
      
                
      
                    
      最新產(chǎn)品
      
                
      
                      
            
      
        
      
    
      
    
      
    熱門儀器：
    液相色譜儀
    氣相色譜儀
    原子熒光光譜儀
    可見分光光度計
    液質(zhì)聯(lián)用儀
    壓力試驗機
    酸度計（PH計）
    離心機
    高速離心機
    冷凍離心機
    生物顯微鏡
    金相顯微鏡
    標準物質(zhì)
    生物試劑

    


      

      
    

      

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