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重現(xiàn)性
<0.002MM
外形尺寸(L×W×H)
541×460×705mm
解析力標準
0.4um
臺面大小
460×313mm
位移驅動
0.1um
機臺重量
80kg
線性精度
±(2+L/150) um
放大倍數(shù)
15X-100X
精度
±2um
臺面荷重
36kg
X行程
200mm
測量速度
500mm/min
Y行程
100mm
CCD
SONY高清晰