工業(yè)測(cè)量顯微鏡107J型:采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于電子行業(yè),機(jī)械精加工。用來測(cè)量電子線路的寬度和精細(xì)小工件的幾何尺寸,以及其它精密零件測(cè)。廣泛地適用于計(jì)量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門。 工業(yè)測(cè)量顯微鏡107JA型配有高精度的工作平臺(tái)和測(cè)微手輪。從而保證儀器的高精度性,是一種理想的多用途的小型精密測(cè)量?jī)x器。本儀器采用高精度的工作平臺(tái),并配有高精密測(cè)微手輪。操作方便,可靠性。儀器放大倍數(shù)高,工作臺(tái)除作X,Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,還可以作360°的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測(cè)量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外,還可作斜光線照明。 二、工業(yè)測(cè)量顯微鏡的主要技術(shù)指標(biāo)
鏡筒 | 粗 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 90毫米 | ||
微 動(dòng) | 調(diào)節(jié)范圍 2毫米 | |||
高(Z)測(cè)量 | 1毫米小讀數(shù)0.001毫米(干分表讀數(shù)) | |||
鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° | |||
工作臺(tái) | 左右(X軸) | 移動(dòng)范圍50毫米 | ||
前后(Y)軸 | 移動(dòng)范圍50毫米 | |||
測(cè)量分度值 | 0.5微米 | |||
旋 轉(zhuǎn) | 360° | |||
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍(lán)、綠濾色片 | |
反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 | |||
斜照明 | 8V-15W | |||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | |||
光學(xué)系統(tǒng) | 目 鏡 | BWF 10X | ||
物 鏡 | 4X 工作距離:17.5mm | 焦距:28.8mm | ||
10X 工作距離:11.6mm | 焦距:15.4mm | |||
40X 工作距離:0.66mm | 焦距:4.4mm |
三、選購件 |
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IDS-108工業(yè)測(cè)量顯微鏡 | |
IDS-108工業(yè)測(cè)量顯微鏡 測(cè)量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗(yàn)和精確測(cè)量。配備有冷光源光纖反射照明,成像和觀察系統(tǒng),偏光裝置。 l 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm l 鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜,瞳距55-75mm l 高眼點(diǎn)、視場(chǎng)目鏡WF10X/22 l 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器 l 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡 Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm, Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm, Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm, Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm l 調(diào)焦系統(tǒng)同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm l 載物臺(tái) 6″x8″雙層活動(dòng)平臺(tái),移動(dòng)行程153x204mm l 三維測(cè)量系統(tǒng) 分辨率: 1μm 測(cè)量精度: ±(2+L/200)μm 重復(fù)定位精度: 2μm 照明系統(tǒng) Illumination System l 冷光源光纖反射照明器:12V150W,特別明亮清晰 l 選配: 完善和的測(cè)量軟件 --------完整的幾何量測(cè)(如:點(diǎn),線,圓,弧,角度等) --------坐標(biāo)系的設(shè)定,擺正,旋轉(zhuǎn) --------顯示方式多樣化;語言的轉(zhuǎn)換,公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換 |
報(bào)價(jià):15000元(含稅)
名稱:上海光學(xué)儀器進(jìn)出口有限公司 地址:民星路201號(hào)10幢北1樓 200433
電話:021-35030527,35030526 傳真:021-65563863
E-mail:soiec@soiec.com.cn Web:www.soiec.com.cn
IDS-108工業(yè)測(cè)量顯微鏡
測(cè)量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗(yàn)和精確測(cè)量。配備有冷光源光纖反射照明,成像和觀察系統(tǒng),偏光裝置。
● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm
● 鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜,瞳距55-75mm
● 高眼點(diǎn)、視場(chǎng)目鏡WF10X/22
● 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
● 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡
Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,
Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm,
Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm,
Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm
Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
● 調(diào)焦系統(tǒng)同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm
● 載物臺(tái) 6″x8″雙層活動(dòng)平臺(tái),移動(dòng)行程153x204mm
● 三維測(cè)量系統(tǒng)
分辨率: 1μm
測(cè)量精度: ±(2+L/200)μm
重復(fù)定位精度: 2μm
照明系統(tǒng) Illumination System
● 冷光源光纖反射照明器:12V150W,特別明亮清晰
● 選配:
完善和的測(cè)量軟件
--------完整的幾何量測(cè)(如:點(diǎn),線,圓,弧,角度等)
--------坐標(biāo)系的設(shè)定,擺正,旋轉(zhuǎn)
--------顯示方式多樣化;語言的轉(zhuǎn)換,公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換
1.產(chǎn)品型號(hào):MM-2515
2.X、Y軸測(cè)量范圍:250mm X 150mm
MM-2515工業(yè)測(cè)量顯微鏡特點(diǎn):
影像專用CCD LED體視燈 線紋尺寸、標(biāo)定片 測(cè)量顯微鏡 視頻檢測(cè)儀 全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x 二次元影像測(cè)量?jī)x
型號(hào): |
自動(dòng)識(shí)辨物體焦面位置和自動(dòng)尋找物體亞象素邊界。 優(yōu)質(zhì)運(yùn)動(dòng)控制器和圖像傳感器,保證高品質(zhì)圖像質(zhì)量和工作臺(tái)的低噪音平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。 X、Y、Z軸全部電機(jī)閉環(huán)控制運(yùn)動(dòng),Z軸裝有粗微調(diào)焦手輪調(diào)節(jié)以適應(yīng)測(cè)量工件高度要求。多種形位尺寸(幾何元素)測(cè)量,點(diǎn)、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關(guān)系,圓度、球度、平面度等形狀公差,平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動(dòng)三維采點(diǎn)測(cè)量,按國(guó)標(biāo)GB11337-98的各種方法自動(dòng)進(jìn)行平面度誤差檢測(cè)。 提供測(cè)量編程指令,具有自學(xué)習(xí)編程功能,自動(dòng)批量快速測(cè)量,大大提高檢測(cè)效率。 人性化方便的運(yùn)動(dòng)控制和多種方式的測(cè)量功能,編程和自學(xué)習(xí),成倍提高測(cè)量效率。 系統(tǒng)提供多達(dá)20個(gè)機(jī)械坐標(biāo)和工件坐標(biāo)。 無需轉(zhuǎn)臺(tái),實(shí)時(shí)非接觸測(cè)量物體的高度、距離、角度等參數(shù)。 無需傾斜臺(tái),對(duì)物體基準(zhǔn)面進(jìn)行數(shù)學(xué)找正,避免物理找正的煩瑣。 提供強(qiáng)大的數(shù)理統(tǒng)計(jì)分析和數(shù)據(jù)庫功能:統(tǒng)計(jì)參數(shù)計(jì)算,正態(tài)、歷史、直方圖、X2、T、F分布,X2、T、F檢驗(yàn),單因素方差分析和相關(guān)性檢驗(yàn)等。 輸出結(jié)果形式多樣,可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應(yīng)用軟件使用。 幾何形狀測(cè)量與構(gòu)造實(shí)時(shí)圖形的直觀顯示,利于測(cè)量檢查。 提供在線幫助功能,操作簡(jiǎn)便,易學(xué)易用。技術(shù)參數(shù)工作臺(tái)行程 標(biāo)配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm 選配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm 光學(xué)尺分辨率 標(biāo)配:0.001mm閉式; 選配:0.0005mm閉式,0.0001mm開式 重復(fù)定位精度 X,Y,Z: ≤0.0015mm 重復(fù)調(diào)焦精度(倍率大于150X) ≤0.0015mm 系統(tǒng)不確定度 分辨率為0.001mm時(shí):X,Y: (3.0+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm 分辨率為0.0005mm時(shí):X,Y: (1.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm 分辨率為0.0001mm時(shí):X,Y: (0.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm 儀器配置部件名稱 規(guī)格(標(biāo)配) 選件 備注 CCD工業(yè)攝像頭 彩色CCD(1/2”) 黑白CCD(1/2”) 復(fù)合或標(biāo)準(zhǔn)視頻 工業(yè)顯微鏡 連續(xù)變倍:1:10 1.5X物鏡 (50~500X) 連續(xù)變倍:0.7-4.5X; 工業(yè)內(nèi)照明高倍率長(zhǎng)工作距顯微鏡,物鏡倍率:3X~100X C-Mount接口 計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 商用PC,98/2000/XP 工業(yè)控制機(jī) ,彩色噴墨打印機(jī) 測(cè)量控制軟件 TDYMS V60CNC 底座 花崗石00級(jí) 照明光源 透 6V20W,反21V150W可調(diào)鹵素?zé)?nbsp; 外接照明 工作臺(tái)行程 (測(cè)量范圍) X:150mm,Y:150mm,Z:100mm X:100-400mm,Y:100-200mmZ:100-200mm Z軸帶有粗微調(diào)機(jī)構(gòu),以滿足不同高度工件的測(cè)量 (80mm 范圍) 驅(qū)動(dòng)方式 X、Y、Z:CNC電動(dòng) JOG控制盒 驅(qū)動(dòng)電機(jī) 三相步進(jìn)電機(jī) 伺服電機(jī)
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