工業(yè)測量顯微鏡107J型:采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于電子行業(yè),機械精加工。用來測量電子線路的寬度和精細小工件的幾何尺寸,以及其它精密零件測。廣泛地適用于計量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學研究等部門。 工業(yè)測量顯微鏡107JA型配有高精度的工作平臺和測微手輪。從而保證儀器的高精度性,是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。本儀器采用高精度的工作平臺,并配有高精密測微手輪。操作方便,可靠性。儀器放大倍數(shù)高,工作臺除作X,Y坐標的移動外,還可以作360°的旋轉,亦可以進行高度方向Z坐標的測量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外,還可作斜光線照明。 二、工業(yè)測量顯微鏡的主要技術指標
鏡筒 | 粗 動 | 調節(jié)范圍 90毫米 | ||
微 動 | 調節(jié)范圍 2毫米 | |||
高(Z)測量 | 1毫米小讀數(shù)0.001毫米(干分表讀數(shù)) | |||
鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° | |||
工作臺 | 左右(X軸) | 移動范圍50毫米 | ||
前后(Y)軸 | 移動范圍50毫米 | |||
測量分度值 | 0.5微米 | |||
旋 轉 | 360° | |||
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍、綠濾色片 | |
反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 | |||
斜照明 | 8V-15W | |||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ | |||
光學系統(tǒng) | 目 鏡 | BWF 10X | ||
物 鏡 | 4X 工作距離:17.5mm | 焦距:28.8mm | ||
10X 工作距離:11.6mm | 焦距:15.4mm | |||
40X 工作距離:0.66mm | 焦距:4.4mm |
三、選購件 |
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IDS-108工業(yè)測量顯微鏡 | |
IDS-108工業(yè)測量顯微鏡 測量顯微鏡廣泛應用于半導體,電子工業(yè)進行晶體,集成電路的檢驗和精確測量。配備有冷光源光纖反射照明,成像和觀察系統(tǒng),偏光裝置。 l 無限遠光學系統(tǒng),管鏡焦距200mm l 鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜,瞳距55-75mm l 高眼點、視場目鏡WF10X/22 l 五孔物鏡轉換器 l 長工作距離平場復消色差物鏡 Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm, Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm, Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm, Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm l 調焦系統(tǒng)同軸粗微調焦機構,微動格值0.002mm l 載物臺 6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm l 三維測量系統(tǒng) 分辨率: 1μm 測量精度: ±(2+L/200)μm 重復定位精度: 2μm 照明系統(tǒng) Illumination System l 冷光源光纖反射照明器:12V150W,特別明亮清晰 l 選配: 完善和的測量軟件 --------完整的幾何量測(如:點,線,圓,弧,角度等) --------坐標系的設定,擺正,旋轉 --------顯示方式多樣化;語言的轉換,公英制單位的轉換,角度的轉換 |
報價:15000元(含稅)
名稱:上海光學儀器進出口有限公司 地址:民星路201號10幢北1樓 200433
電話:021-35030527,35030526 傳真:021-65563863
E-mail:soiec@soiec.com.cn Web:www.soiec.com.cn
IDS-108工業(yè)測量顯微鏡
測量顯微鏡廣泛應用于半導體,電子工業(yè)進行晶體,集成電路的檢驗和精確測量。配備有冷光源光纖反射照明,成像和觀察系統(tǒng),偏光裝置。
● 無限遠光學系統(tǒng),管鏡焦距200mm
● 鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜,瞳距55-75mm
● 高眼點、視場目鏡WF10X/22
● 五孔物鏡轉換器
● 長工作距離平場復消色差物鏡
Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,
Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm,
Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm,
Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm
Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
● 調焦系統(tǒng)同軸粗微調焦機構,微動格值0.002mm
● 載物臺 6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm
● 三維測量系統(tǒng)
分辨率: 1μm
測量精度: ±(2+L/200)μm
重復定位精度: 2μm
照明系統(tǒng) Illumination System
● 冷光源光纖反射照明器:12V150W,特別明亮清晰
● 選配:
完善和的測量軟件
--------完整的幾何量測(如:點,線,圓,弧,角度等)
--------坐標系的設定,擺正,旋轉
--------顯示方式多樣化;語言的轉換,公英制單位的轉換,角度的轉換
1.產(chǎn)品型號:MM-2515
2.X、Y軸測量范圍:250mm X 150mm
MM-2515工業(yè)測量顯微鏡特點:
型號: |
自動識辨物體焦面位置和自動尋找物體亞象素邊界。 優(yōu)質運動控制器和圖像傳感器,保證高品質圖像質量和工作臺的低噪音平穩(wěn)運動。 X、Y、Z軸全部電機閉環(huán)控制運動,Z軸裝有粗微調焦手輪調節(jié)以適應測量工件高度要求。多種形位尺寸(幾何元素)測量,點、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關系,圓度、球度、平面度等形狀公差,平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動三維采點測量,按國標GB11337-98的各種方法自動進行平面度誤差檢測。 提供測量編程指令,具有自學習編程功能,自動批量快速測量,大大提高檢測效率。 人性化方便的運動控制和多種方式的測量功能,編程和自學習,成倍提高測量效率。 系統(tǒng)提供多達20個機械坐標和工件坐標。 無需轉臺,實時非接觸測量物體的高度、距離、角度等參數(shù)。 無需傾斜臺,對物體基準面進行數(shù)學找正,避免物理找正的煩瑣。 提供強大的數(shù)理統(tǒng)計分析和數(shù)據(jù)庫功能:統(tǒng)計參數(shù)計算,正態(tài)、歷史、直方圖、X2、T、F分布,X2、T、F檢驗,單因素方差分析和相關性檢驗等。 輸出結果形式多樣,可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應用軟件使用。 幾何形狀測量與構造實時圖形的直觀顯示,利于測量檢查。 提供在線幫助功能,操作簡便,易學易用。技術參數(shù)工作臺行程 標配:X=150mm, Y=150mm, Z=100mm 選配:X: 100mm~400mm;Y: 100mm~200mm;Z: 100mm-150mm 光學尺分辨率 標配:0.001mm閉式; 選配:0.0005mm閉式,0.0001mm開式 重復定位精度 X,Y,Z: ≤0.0015mm 重復調焦精度(倍率大于150X) ≤0.0015mm 系統(tǒng)不確定度 分辨率為0.001mm時:X,Y: (3.0+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm 分辨率為0.0005mm時:X,Y: (1.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm 分辨率為0.0001mm時:X,Y: (0.5+2×L/400)/1000 (mm),Z≤0.005mm 儀器配置部件名稱 規(guī)格(標配) 選件 備注 CCD工業(yè)攝像頭 彩色CCD(1/2”) 黑白CCD(1/2”) 復合或標準視頻 工業(yè)顯微鏡 連續(xù)變倍:1:10 1.5X物鏡 (50~500X) 連續(xù)變倍:0.7-4.5X; 工業(yè)內照明高倍率長工作距顯微鏡,物鏡倍率:3X~100X C-Mount接口 計算機系統(tǒng) 商用PC,98/2000/XP 工業(yè)控制機 ,彩色噴墨打印機 測量控制軟件 TDYMS V60CNC 底座 花崗石00級 照明光源 透 6V20W,反21V150W可調鹵素燈 外接照明 工作臺行程 (測量范圍) X:150mm,Y:150mm,Z:100mm X:100-400mm,Y:100-200mmZ:100-200mm Z軸帶有粗微調機構,以滿足不同高度工件的測量 (80mm 范圍) 驅動方式 X、Y、Z:CNC電動 JOG控制盒 驅動電機 三相步進電機 伺服電機
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