Huace-8綜合性分析探針臺
綜合性分析探針臺
探針臺介紹:
探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制部探針(射頻或直流探針),精準(zhǔn)扎到被測點(diǎn),從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通,通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用:
◆ 可用于12英寸以內(nèi)樣品測試;
◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動;
◆ 大手柄驅(qū)動,操作舒適,無回程差設(shè)計(jì);
◆ 針座平臺快速、微調(diào)升降功能;
◆ 可搭配多種類型顯微鏡;
◆ 晶片測試、光電器件測試、PCB/IC測試、射頻測試、高壓大電流測試等;
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì),可無縫升;
◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。
臺體規(guī)格:
尺寸:8英寸/12英寸;
水平旋轉(zhuǎn):可360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置;
X-Y移動行程:8英寸×8英寸/12英寸×12英寸;
X-Y移動精度:10μm/1μm;樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán);針座平臺:U型針座平臺,**可放置10個(gè)探針座;平臺升降:可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm;
背電測試:樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電;
尺寸: 840mm長*600mm寬*700mm高/
950mm長*700mm寬*700mm高;設(shè)備重量:約40/60KG;
可選配件:
加熱臺;顯示器;轉(zhuǎn)接頭;射頻測試配件;
屏蔽箱;
光學(xué)平臺;鍍金卡盤;光電測試配件;
顯微鏡快速傾仰裝置;
激光系統(tǒng);
探針卡夾具;
光學(xué)系統(tǒng):
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡;放大倍率:16X-200X/20X-4000X;移動行程:X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360°旋轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm;光源:外置LED環(huán)形光源/同軸光源;CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素;
定位器:
X-Y-Z移動行程:12mm*12mm*12mm;移動精度:10μm/2μm/0.7μm/0.5μm;吸附方式:磁力吸附/真空吸附;線纜:同軸線/三軸線;
漏電精度:10pA/100fA/10fA;
固定探針:彈簧固定/管狀固定;接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子;針尖直徑:0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm;針尖材質(zhì):鎢鋼;鈹銅;