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μScan激光掃描光學(xué)輪廓儀 μScan激光掃描光學(xué)輪廓儀技術(shù)參數(shù) 傳感器模塊 AF4 CF4測(cè)量技術(shù) 自動(dòng)對(duì)焦 共焦Z軸測(cè)量范圍(mm) 1.5 1 Z軸分辨率(um) 0.025 0.1光點(diǎn)大小(um) 1 1.5工作距離(mm) 2 4測(cè)量頻率(KHz) 10KHZ 1KHZCamera選購(gòu) 同軸 側(cè)向 | ||
μScan激光掃描光學(xué)輪廓儀主要特點(diǎn) μScan采用模塊化設(shè)計(jì),特點(diǎn)是快速測(cè)量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化。 μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測(cè)量)連用,如Confocal point sensor、Autofocus sensor、Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。 AF2 自動(dòng)對(duì)焦(Autofocus) 借由探測(cè)器的回饋訊號(hào)調(diào)整物鏡位置,得到待測(cè)物焦點(diǎn),而獲得待測(cè)物的確實(shí)高度。 CF4 共焦(Confocal, Laser) 激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測(cè)物上,此時(shí)偵測(cè)器能經(jīng)由孔洞得到最大光的強(qiáng)度,如此偵測(cè)器根據(jù)此訊號(hào)確定其位置。 應(yīng)用: 集成電路封裝和表面貼片技術(shù) 厚膜混合電路:膜厚度的自動(dòng)化測(cè)量 精密部件 | ||
德國(guó)Nanofocus是一家全球領(lǐng)先的高科技公司,是微納米尺度上的光學(xué)表面測(cè)量技術(shù)的全球,生產(chǎn)的光學(xué)輪廓儀是科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的設(shè)備,為大眾、寶馬、西門子、飛利浦、BOSCH等世界知名企業(yè)提供精密的解決方案。 德國(guó)Nanofocus公司的表面光學(xué)輪廓儀在光學(xué)設(shè)計(jì)、精密機(jī)械和科學(xué)軟件算法方面,擁有不斷發(fā)展的專利技術(shù),由于這些專門技術(shù)的應(yīng)用,Nanofocus為生產(chǎn)和質(zhì)量控制的研究和發(fā)展提供精密的解決方案。 Nanofocus的表面測(cè)量系統(tǒng)適用于研發(fā)和生產(chǎn)過程控制中的定性和定量測(cè)量,其核心部件達(dá)到納米尺度的創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計(jì),其強(qiáng)大且友好的軟件控制使所需獲得的數(shù)據(jù)不僅速度快,而且精度高,并提供了多種不同的表面分析方法。 NanoFocus有兩種光學(xué)測(cè)量系統(tǒng):μSurf(白光共軛焦輪廓儀)和μScan(激光輪廓測(cè)量?jī)x) 主要系統(tǒng)特點(diǎn): A. 高精度測(cè)量,結(jié)果可作為計(jì)量標(biāo)準(zhǔn) B. 高再現(xiàn)性和性 C. 實(shí)際應(yīng)用方便 D. 綜合能力強(qiáng) 如果您目前還不能確定需要什么性能的配置,或者還不清楚未來所需,Nanofocus可以向您提供了的選擇及升級(jí)版本,滿足您測(cè)量的需要,節(jié)約您的經(jīng)費(fèi),促進(jìn)您的生產(chǎn)和科研,并確保您的投資受益。 德國(guó)Nanofocus在全球各個(gè)國(guó)家的分公司,在各地商務(wù)會(huì)議中心,我們經(jīng)常提供相應(yīng)的技術(shù)講座/培訓(xùn)以及研討會(huì)。在亞太,我們同樣不定期的舉辦各種形式的技術(shù)培訓(xùn)及研討會(huì),歡迎您在任何方便的時(shí)候加入。另外,德國(guó)Nanofocus公司協(xié)助客戶進(jìn)行海外實(shí)習(xí)和相關(guān)學(xué)位的培養(yǎng)。 請(qǐng)與Nanofocus中國(guó)總代理上海柏匯申生物科技有限公司聯(lián)系,柏匯申可以為您做免費(fèi)的樣品分析,并可以根據(jù)你的需求,定制解決方案! |
NT9100的量測(cè)性能與其他NT9000系列產(chǎn)品相當(dāng),但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發(fā)展提供了基礎(chǔ)。系統(tǒng)包含了完整版的Vision分析軟件,該軟件是行業(yè)內(nèi)功能最全的分析軟件,可實(shí)現(xiàn)二維和三維的數(shù)據(jù)分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具,包括自動(dòng)測(cè)序功能、數(shù)據(jù)記錄和實(shí)時(shí)反饋及統(tǒng)計(jì)控制過程的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)。用戶采用可選的MATLAB® 軟件包還可以定制專門的數(shù)據(jù)分析用戶界面。
1、簡(jiǎn)介 干涉顯微鏡自上世紀(jì)至今一直是非接觸測(cè)量高等級(jí)表面粗糙度的主要儀器。上海光機(jī)廠生產(chǎn)的6JA干涉顯微鏡是國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上的主要產(chǎn)品。6JA干涉顯微難以滿足科技不斷發(fā)展的需要。不過在它基礎(chǔ)上發(fā)展起來的垂直掃描干涉顯微鏡近年來得到廣泛的應(yīng)用。如美國(guó)VEECO公司的Wyko NT系列光學(xué)輪廓儀,Taylor-Hobson公司的CCI工藝光學(xué)輪廓儀等。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)幾乎被國(guó)外公司壟斷。 2、主要特點(diǎn) WIVS—1型垂直掃描白光干涉輪廓測(cè)量?jī)x在6JA干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上改造而成。 1) 保留原顯微鏡人工讀數(shù)、評(píng)定功能。 2) 可通過單幅圖像原理,獲取二維參數(shù)及曲線。 3) 垂直掃描由自主設(shè)計(jì)的反鏡式垂直掃描工作臺(tái)完成,具有粗、精兩級(jí),其垂直位移量由衍射光柵干涉計(jì)量,工作臺(tái)具有大量程高精度特征。 4 )可以用兩種方法測(cè)量表面三維參數(shù)及圖形: (1)對(duì)峰谷高度小于 的表面,可采用相移法測(cè)量,其分辨率小于1nm (2)對(duì)峰谷高度大于 的表面,可采用垂直位移掃描測(cè)量,其分辨率約為3nm,最大測(cè)量峰谷高度可達(dá)40um。 5) 可用于0-5mm范圍內(nèi)的尺寸測(cè)量。測(cè)量分辨率達(dá)5nm。 6)由于采用目前使用廣泛的6JA干涉顯微鏡,調(diào)試與6JA大部分相同,熟悉6JA干涉顯微鏡使用的人可方便使用該儀器。 3、技術(shù)指標(biāo) 垂直測(cè)量范圍 0~50 顯微鏡數(shù)值孔徑 0.65 垂直分辨率 0.5nm 顯微鏡放大倍數(shù) 40倍 測(cè)量區(qū)域 0.25 mm 顯微鏡工作距離 2mm? 光學(xué)分辨率 0.5 CCD像素 752X582 表面反射率 0.3%~100% 測(cè)量時(shí)間 二維:1~5秒 三維:15~30秒 注: 顯微鏡為基本配置,若需擴(kuò)大視場(chǎng)或提高光學(xué)分辨率,可配置相應(yīng)的顯微鏡,但需特殊訂貨。 4、儀器構(gòu)成 1、寬帶光干涉儀(改進(jìn)的6JA干涉顯微鏡) 2、垂直位移掃描工作臺(tái) 3、攝像及圖像處理系統(tǒng) 4、工控機(jī) 5、用途 主要用來測(cè)量二、三維表面粗糙度、臺(tái)階、溝槽高度和表面輪廓尺寸,適用于工礦企業(yè)工程表面粗糙度測(cè)量,工程表面的科學(xué)研究,以及中高等學(xué)校“互換性與測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)” 、“精密測(cè)量技術(shù)”、“機(jī)械制造工藝”等課程的實(shí)驗(yàn)
Contour GT系統(tǒng)利用白光干涉來測(cè)量納米級(jí)至微米級(jí)的表面形貌,并且具有業(yè)界最大視場(chǎng)下的垂直分辨率。儀器具備多種倍率物鏡(1.25倍-100倍),可以表征具有不同表面形狀和結(jié)構(gòu)的樣品。而且在任何放大倍數(shù)下,系統(tǒng)的縱向范圍都能夠達(dá)到亞-埃至毫米級(jí),其靈活性無可比擬。
本公司精力打造高科技產(chǎn)品,力爭(zhēng)成為國(guó)內(nèi)科研儀器供應(yīng)商。同時(shí),我們售前,售中,售后全程為您服務(wù)。歡迎來電咨詢!
光學(xué)輪廓儀 參數(shù):
光學(xué)輪廓儀 產(chǎn)品說明:
ContourGT
光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)
ContourGT™集合領(lǐng)先的64-bit,多核操作和分析軟件,專利的白光干涉(WLI)硬件以及史無前例的簡(jiǎn)易操作性于一身,是目前最先進(jìn)的三維光學(xué)輪廓儀。這款第十代的光學(xué)輪廓儀在大視場(chǎng)上提供快速、埃級(jí)到毫米級(jí)的垂直測(cè)量范圍,并有靈活的樣品設(shè)置和行業(yè)領(lǐng)先的重現(xiàn)性。ContourGT是現(xiàn)今生產(chǎn)、研究和質(zhì)量控制領(lǐng)域中最具綜合性及直觀性的三維輪廓測(cè)量系統(tǒng)。
無與倫比的測(cè)量性能,行業(yè)最大視場(chǎng)上的最高垂直分辨率
放大倍率0.5×到200×,實(shí)現(xiàn)各種不同的表面形狀及材質(zhì)的
在任何放大倍率下都有亞埃級(jí)到毫米級(jí)的垂直測(cè)量范圍,實(shí)現(xiàn)空前的測(cè)量靈活性
可選的高分辨率照相機(jī)提升橫向分辨率,改善測(cè)量的重復(fù)性和再現(xiàn)性
優(yōu)秀的測(cè)量硬件增強(qiáng)了在工業(yè)環(huán)境下的測(cè)量可靠性和重復(fù)性
專利的高亮度雙光源照明LED提供卓越的測(cè)量質(zhì)量和放大倍率靈活性
優(yōu)化的硬件設(shè)計(jì)提高了儀器防震能力和測(cè)量重復(fù)性及再現(xiàn)性。
精選模式中的擁有專利的自校準(zhǔn)技術(shù)確保工具間的關(guān)聯(lián)性和測(cè)量準(zhǔn)確度及重復(fù)性
內(nèi)置Vision64™的64位多核處理器促進(jìn)了三維輪廓的測(cè)量和分析
新的架構(gòu)使應(yīng)用程序數(shù)據(jù)處理能力獲得了數(shù)量級(jí)增長(zhǎng)
運(yùn)用多核優(yōu)化和其它技術(shù)的并行數(shù)據(jù)處理方式,使得關(guān)鍵計(jì)量分析的生產(chǎn)效率提高10倍
無可匹敵的拼接功能可將數(shù)以萬計(jì)的數(shù)據(jù)集拼接成一個(gè)連續(xù)的圖像
用戶界面直觀性強(qiáng),自動(dòng)化程度最高,分析能力最強(qiáng)
簡(jiǎn)潔的用戶界面簡(jiǎn)化了操作和數(shù)據(jù)采集,提高系統(tǒng)和操作者的工作效率
獨(dú)特的可視化工作流程工具提供各種過濾器及分析菜單的直觀使用途徑
可按用戶特殊需求定制報(bào)告的精煉分析數(shù)據(jù)
適用范圍廣,滿足各種特殊需求
ContourGT具有行業(yè)領(lǐng)先的測(cè)量范圍及適應(yīng)性,能完成從粗糙界面到光滑界面,硬到軟,粘性的、可撓曲或其它難以測(cè)量表面的三維形貌精確測(cè)量。利用其獨(dú)一無二的直觀用戶界面和廣泛的自動(dòng)功能,ContourGT測(cè)量?jī)x能通過自定義來滿足幾乎所有的測(cè)量應(yīng)用。
集合領(lǐng)先的64-bit,多功能操作和分析軟件,專利的白光干涉技術(shù)以及史無前例的簡(jiǎn)易操作性于一身,是目前最先進(jìn)的三維光學(xué)輪廓儀。這款第十代的光學(xué)輪廓儀可以快速測(cè)量垂直方向由埃至毫米級(jí)視野范圍內(nèi)的工業(yè)領(lǐng)域中領(lǐng)先的高分辨率圖像。ContourGT是目前功能最強(qiáng)大,應(yīng)用范圍最廣的三維輪廓測(cè)量系統(tǒng)。