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μScan激光掃描光學輪廓儀 μScan激光掃描光學輪廓儀技術參數(shù) 傳感器模塊 AF4 CF4測量技術 自動對焦 共焦Z軸測量范圍(mm) 1.5 1 Z軸分辨率(um) 0.025 0.1光點大小(um) 1 1.5工作距離(mm) 2 4測量頻率(KHz) 10KHZ 1KHZCamera選購 同軸 側(cè)向 | ||
μScan激光掃描光學輪廓儀主要特點 μScan采用模塊化設計,特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化。 μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測量)連用,如Confocal point sensor、Autofocus sensor、Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。 AF2 自動對焦(Autofocus) 借由探測器的回饋訊號調(diào)整物鏡位置,得到待測物焦點,而獲得待測物的確實高度。 CF4 共焦(Confocal, Laser) 激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上,此時偵測器能經(jīng)由孔洞得到最大光的強度,如此偵測器根據(jù)此訊號確定其位置。 應用: 集成電路封裝和表面貼片技術 厚膜混合電路:膜厚度的自動化測量 精密部件 | ||
德國Nanofocus是一家全球領先的高科技公司,是微納米尺度上的光學表面測量技術的全球,生產(chǎn)的光學輪廓儀是科學研究和工業(yè)領域廣泛應用的設備,為大眾、寶馬、西門子、飛利浦、BOSCH等世界知名企業(yè)提供精密的解決方案。 德國Nanofocus公司的表面光學輪廓儀在光學設計、精密機械和科學軟件算法方面,擁有不斷發(fā)展的專利技術,由于這些專門技術的應用,Nanofocus為生產(chǎn)和質(zhì)量控制的研究和發(fā)展提供精密的解決方案。 Nanofocus的表面測量系統(tǒng)適用于研發(fā)和生產(chǎn)過程控制中的定性和定量測量,其核心部件達到納米尺度的創(chuàng)新的光學設計,其強大且友好的軟件控制使所需獲得的數(shù)據(jù)不僅速度快,而且精度高,并提供了多種不同的表面分析方法。 NanoFocus有兩種光學測量系統(tǒng):μSurf(白光共軛焦輪廓儀)和μScan(激光輪廓測量儀) 主要系統(tǒng)特點: A. 高精度測量,結(jié)果可作為計量標準 B. 高再現(xiàn)性和性 C. 實際應用方便 D. 綜合能力強 如果您目前還不能確定需要什么性能的配置,或者還不清楚未來所需,Nanofocus可以向您提供了的選擇及升級版本,滿足您測量的需要,節(jié)約您的經(jīng)費,促進您的生產(chǎn)和科研,并確保您的投資受益。 德國Nanofocus在全球各個國家的分公司,在各地商務會議中心,我們經(jīng)常提供相應的技術講座/培訓以及研討會。在亞太,我們同樣不定期的舉辦各種形式的技術培訓及研討會,歡迎您在任何方便的時候加入。另外,德國Nanofocus公司協(xié)助客戶進行海外實習和相關學位的培養(yǎng)。 請與Nanofocus中國總代理上海柏匯申生物科技有限公司聯(lián)系,柏匯申可以為您做免費的樣品分析,并可以根據(jù)你的需求,定制解決方案! |
NT9100的量測性能與其他NT9000系列產(chǎn)品相當,但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發(fā)展提供了基礎。系統(tǒng)包含了完整版的Vision分析軟件,該軟件是行業(yè)內(nèi)功能最全的分析軟件,可實現(xiàn)二維和三維的數(shù)據(jù)分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具,包括自動測序功能、數(shù)據(jù)記錄和實時反饋及統(tǒng)計控制過程的合格/不合格標準。用戶采用可選的MATLAB® 軟件包還可以定制專門的數(shù)據(jù)分析用戶界面。
1、簡介 干涉顯微鏡自上世紀至今一直是非接觸測量高等級表面粗糙度的主要儀器。上海光機廠生產(chǎn)的6JA干涉顯微鏡是國內(nèi)市場上的主要產(chǎn)品。6JA干涉顯微難以滿足科技不斷發(fā)展的需要。不過在它基礎上發(fā)展起來的垂直掃描干涉顯微鏡近年來得到廣泛的應用。如美國VEECO公司的Wyko NT系列光學輪廓儀,Taylor-Hobson公司的CCI工藝光學輪廓儀等。國內(nèi)市場幾乎被國外公司壟斷。 2、主要特點 WIVS—1型垂直掃描白光干涉輪廓測量儀在6JA干涉顯微鏡的基礎上改造而成。 1) 保留原顯微鏡人工讀數(shù)、評定功能。 2) 可通過單幅圖像原理,獲取二維參數(shù)及曲線。 3) 垂直掃描由自主設計的反鏡式垂直掃描工作臺完成,具有粗、精兩級,其垂直位移量由衍射光柵干涉計量,工作臺具有大量程高精度特征。 4 )可以用兩種方法測量表面三維參數(shù)及圖形: (1)對峰谷高度小于 的表面,可采用相移法測量,其分辨率小于1nm (2)對峰谷高度大于 的表面,可采用垂直位移掃描測量,其分辨率約為3nm,最大測量峰谷高度可達40um。 5) 可用于0-5mm范圍內(nèi)的尺寸測量。測量分辨率達5nm。 6)由于采用目前使用廣泛的6JA干涉顯微鏡,調(diào)試與6JA大部分相同,熟悉6JA干涉顯微鏡使用的人可方便使用該儀器。 3、技術指標 垂直測量范圍 0~50 顯微鏡數(shù)值孔徑 0.65 垂直分辨率 0.5nm 顯微鏡放大倍數(shù) 40倍 測量區(qū)域 0.25 mm 顯微鏡工作距離 2mm? 光學分辨率 0.5 CCD像素 752X582 表面反射率 0.3%~100% 測量時間 二維:1~5秒 三維:15~30秒 注: 顯微鏡為基本配置,若需擴大視場或提高光學分辨率,可配置相應的顯微鏡,但需特殊訂貨。 4、儀器構(gòu)成 1、寬帶光干涉儀(改進的6JA干涉顯微鏡) 2、垂直位移掃描工作臺 3、攝像及圖像處理系統(tǒng) 4、工控機 5、用途 主要用來測量二、三維表面粗糙度、臺階、溝槽高度和表面輪廓尺寸,適用于工礦企業(yè)工程表面粗糙度測量,工程表面的科學研究,以及中高等學校“互換性與測量技術基礎” 、“精密測量技術”、“機械制造工藝”等課程的實驗
Contour GT系統(tǒng)利用白光干涉來測量納米級至微米級的表面形貌,并且具有業(yè)界最大視場下的垂直分辨率。儀器具備多種倍率物鏡(1.25倍-100倍),可以表征具有不同表面形狀和結(jié)構(gòu)的樣品。而且在任何放大倍數(shù)下,系統(tǒng)的縱向范圍都能夠達到亞-埃至毫米級,其靈活性無可比擬。
本公司精力打造高科技產(chǎn)品,力爭成為國內(nèi)科研儀器供應商。同時,我們售前,售中,售后全程為您服務。歡迎來電咨詢!
光學輪廓儀 參數(shù):
光學輪廓儀 產(chǎn)品說明:
ContourGT
光學輪廓儀系統(tǒng)
ContourGT™集合領先的64-bit,多核操作和分析軟件,專利的白光干涉(WLI)硬件以及史無前例的簡易操作性于一身,是目前最先進的三維光學輪廓儀。這款第十代的光學輪廓儀在大視場上提供快速、埃級到毫米級的垂直測量范圍,并有靈活的樣品設置和行業(yè)領先的重現(xiàn)性。ContourGT是現(xiàn)今生產(chǎn)、研究和質(zhì)量控制領域中最具綜合性及直觀性的三維輪廓測量系統(tǒng)。
無與倫比的測量性能,行業(yè)最大視場上的最高垂直分辨率
放大倍率0.5×到200×,實現(xiàn)各種不同的表面形狀及材質(zhì)的
在任何放大倍率下都有亞埃級到毫米級的垂直測量范圍,實現(xiàn)空前的測量靈活性
可選的高分辨率照相機提升橫向分辨率,改善測量的重復性和再現(xiàn)性
優(yōu)秀的測量硬件增強了在工業(yè)環(huán)境下的測量可靠性和重復性
專利的高亮度雙光源照明LED提供卓越的測量質(zhì)量和放大倍率靈活性
優(yōu)化的硬件設計提高了儀器防震能力和測量重復性及再現(xiàn)性。
精選模式中的擁有專利的自校準技術確保工具間的關聯(lián)性和測量準確度及重復性
內(nèi)置Vision64™的64位多核處理器促進了三維輪廓的測量和分析
新的架構(gòu)使應用程序數(shù)據(jù)處理能力獲得了數(shù)量級增長
運用多核優(yōu)化和其它技術的并行數(shù)據(jù)處理方式,使得關鍵計量分析的生產(chǎn)效率提高10倍
無可匹敵的拼接功能可將數(shù)以萬計的數(shù)據(jù)集拼接成一個連續(xù)的圖像
用戶界面直觀性強,自動化程度最高,分析能力最強
簡潔的用戶界面簡化了操作和數(shù)據(jù)采集,提高系統(tǒng)和操作者的工作效率
獨特的可視化工作流程工具提供各種過濾器及分析菜單的直觀使用途徑
可按用戶特殊需求定制報告的精煉分析數(shù)據(jù)
適用范圍廣,滿足各種特殊需求
ContourGT具有行業(yè)領先的測量范圍及適應性,能完成從粗糙界面到光滑界面,硬到軟,粘性的、可撓曲或其它難以測量表面的三維形貌精確測量。利用其獨一無二的直觀用戶界面和廣泛的自動功能,ContourGT測量儀能通過自定義來滿足幾乎所有的測量應用。
集合領先的64-bit,多功能操作和分析軟件,專利的白光干涉技術以及史無前例的簡易操作性于一身,是目前最先進的三維光學輪廓儀。這款第十代的光學輪廓儀可以快速測量垂直方向由埃至毫米級視野范圍內(nèi)的工業(yè)領域中領先的高分辨率圖像。ContourGT是目前功能最強大,應用范圍最廣的三維輪廓測量系統(tǒng)。