一、ES-CMM 手動(dòng)影像復(fù)合型測量機(jī)主機(jī) 1臺(tái)
測量行程: X:500 Y:600mm Z:400mm
結(jié)構(gòu)類型: 影像復(fù)合型
分辨率: 1μm
示值精度: E3 = (3.5 + L/300) μm(L單位:mm)
探測精度: R =3.5μm
機(jī)臺(tái)承重: 500kg
整機(jī)重量: 800kg
整機(jī)尺寸: 1000mm×1400mm×2400mm
操作方式: 手動(dòng)推拉升降+手輪微調(diào)
傳動(dòng)方式: 光桿軸承機(jī)構(gòu)+氣浮導(dǎo)軌
示值系統(tǒng): 德國HEIDENHAIN開放式金屬反射光柵尺
工作機(jī)臺(tái): 高精度花崗巖平臺(tái)
導(dǎo)軌型式: 高精度花崗巖導(dǎo)軌+預(yù)載荷高精度空氣軸承
氣源處理: 日本SMC
- 主機(jī)設(shè)計(jì)采用單邊移動(dòng)橋式結(jié)構(gòu),顯著提高運(yùn)動(dòng)性能,確保測量精度及穩(wěn)定性。且結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,剛度好,具有較開闊的空間。工件安裝在固定的工件臺(tái)上,承載能力較強(qiáng),工件質(zhì)量對測量機(jī)的動(dòng)態(tài)性能沒有影響。
- 工作臺(tái)和各軸導(dǎo)軌均用天然花崗石制造;◢徥冃涡、穩(wěn)定性好、不生銹,易于作平面加工,能達(dá)到比鑄鐵更高的平面度,適合制作高精度的平臺(tái)與導(dǎo)軌,且使主機(jī)具有相同的溫度特性和抗時(shí)效變形能力,保證測量過程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性;◢徥臒崤蛎浵禂(shù)小,很適合作為氣浮導(dǎo)軌與氣浮塊配合,保證運(yùn)動(dòng)件的定位及運(yùn)動(dòng)精度。
- 三軸均采用高精度高氣膜剛性的自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承,使運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn),精度更高,且導(dǎo)軌永不磨損。
- 橋架、Z軸支架和外殼均采用超輕鋁合金材質(zhì),大幅降低了移動(dòng)框架整體的重量,顯著提高了系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能,確保了測量精度及穩(wěn)定性。
- 長度測量系統(tǒng)采用德國HEIDENHAIN開放式金屬反射光柵尺,能與測量機(jī)主機(jī)材料的線膨脹系數(shù)接近一致,從而提高設(shè)備的測量精度和穩(wěn)定性。標(biāo)尺光柵的安裝面積較小,安裝和調(diào)整比較方便;不易碰碎,使用壽命長。
- Z軸重錘平衡機(jī)構(gòu),機(jī)構(gòu)簡單、加工方便,形成與運(yùn)動(dòng)部件重量相同的反向平衡力,使部件沿導(dǎo)軌上下移動(dòng)時(shí)輕便而平穩(wěn),停止時(shí)可靠而穩(wěn)定。
- Z軸防墜落保護(hù)機(jī)構(gòu),測量過程中,快速切斷氣浮軸承供氣,可避免Z軸自行墜落撞壞測頭。
二、計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 1套
三、彩色噴墨打印機(jī) 1臺(tái)
四、軟件系統(tǒng) 1套
控制軟件:美國Rational-DIMS標(biāo)準(zhǔn)版安裝軟件
- Windows2000/XP 操作系統(tǒng),全圖形屏幕中英文顯示
- 真實(shí)多任務(wù),多媒體在線幫助
- 程序內(nèi)置的特征自動(dòng)測量,元素自動(dòng)識(shí)別
- 操作方便的自學(xué)習(xí)教導(dǎo)式編程軟件,程序可重復(fù)執(zhí)行
- 采用大量與測量功能有關(guān)的直觀的圖標(biāo),使用操作輕松自如,所見即所得。
- 幾何元素的測量:點(diǎn)、邊界點(diǎn)、直線、平面、圓、圓弧、球、圓柱、圓錐、橢圓、鍵槽、曲線、曲面、智能測量
- 幾何元素的構(gòu)造:中點(diǎn)、平行、相交、垂直、相切、投影、移動(dòng)、擬和、鏡像、邊界、圓錐、極值點(diǎn)、三點(diǎn)偏移平面、元素轉(zhuǎn)換、多點(diǎn)偏移平面
- 形位公差:傾斜度、圓度、同軸(心)度、坐標(biāo)值公差(笛卡爾坐標(biāo)和極坐標(biāo))、圓柱度、平面度、長度公差、平行度、垂直度、位置度、尺寸公差(角度)、尺寸公差(直徑和半徑)、直線度、寬度公差
- 坐標(biāo)設(shè)定:坐標(biāo)系平移、坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)、3-2-1創(chuàng)建坐標(biāo)系、三點(diǎn)偏移坐標(biāo)系、三點(diǎn)擬和坐標(biāo)系、兩點(diǎn)偏移坐標(biāo)系、六點(diǎn)擬和坐標(biāo)系、多點(diǎn)擬和坐標(biāo)系、合并坐標(biāo)系、3-2-1創(chuàng)建坐標(biāo)系方法II、快速3-2-1創(chuàng)建坐標(biāo)系、坐標(biāo)系映射。
- 自動(dòng)測頭:定義測頭、校驗(yàn)測頭、旋轉(zhuǎn)測頭、保存測頭、裝載測頭等,還有定義測頭的逼近距離、回退距離、探測距離、探測深度和逃逸距離
- 圖文并茂的報(bào)表輸出,完全支持形狀和位置公差報(bào)表輸出.
- 測量結(jié)果可以直接輸出成標(biāo)準(zhǔn)數(shù)模檔案,如IGS和 DXF
加密狗及序列號
五、測頭系統(tǒng) 1套
測頭座: 英國Renishaw MH20i手動(dòng)可轉(zhuǎn)位測頭座
- 集成TP20測頭體
- 垂直A 軸轉(zhuǎn)位 0 至 90 °,以 15 °為調(diào)節(jié)幅度
- 水平B 軸轉(zhuǎn)位: ±180 °,以 15 °為調(diào)節(jié)幅度
- 位置重復(fù)性: 1.5微米(裝配 TP20 和 10 毫米探頭)
- 168個(gè)可重復(fù)定位
- 2µm以內(nèi)的重復(fù)定位精度,完成精密準(zhǔn)確的測量并節(jié)省了零件檢測用時(shí)
測頭: 英國Renishaw TP20測頭可卸式模塊
- 磁性連接及三點(diǎn)定位的模塊能實(shí)現(xiàn)測針模塊快速更換,鎖定/解開特性,便于實(shí)現(xiàn)定位并解除了不必要的磨損,確保重復(fù)精度,無須重新校準(zhǔn)
測針系統(tǒng):
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其它規(guī)格測頭座、測頭、測針、加長桿更改及增補(bǔ)根據(jù)貴公司需求,制定合理方案另行報(bào)價(jià)。
六、標(biāo)準(zhǔn)校驗(yàn)球 1套
校驗(yàn)球: 陶瓷 Φ25標(biāo)準(zhǔn)球
七、環(huán)境要求
機(jī)室溫度: 20℃±2℃
機(jī)室溫度最大梯度: 1℃/m,1℃/h,2℃/d
機(jī)室濕度: 60%±5%
電壓: 220V±10%
頻率: 50-60HZ
電流: 10A
供氣壓力: >0.7MPa
使用壓力: 0.4MPa-0.5MPa
空氣流量: 100L/min-120 L/min
振動(dòng)頻率范圍: 0-19Hz 19-75Hz >75Hz
振動(dòng)振幅: 0.0011mm 0.0011-0.002mm 0.002mm
八、安裝調(diào)試
三坐標(biāo)測量機(jī)安裝調(diào)試及最終驗(yàn)收。最終驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)根
GB/T16857.2-1997國家標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行(等同于ISO1036-2國際標(biāo)準(zhǔn))。
·三坐標(biāo)高精密工件檢測儀·
三坐標(biāo)測量儀廣泛應(yīng)用于汽車、電子、五金、塑膠、模具等行業(yè)中,可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進(jìn)行精密檢測,從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務(wù)。
型號NHL- 測量范圍(mm) X Y Z533 500 300 300644 600 400 400 866 800 600 600 1068 1000 600 800 151010 1500 1000 1000 201215 2000 1200 1500 201520 2000 1500 2000 251215 2500 1200 1500 251520 2500 1500 2000
注:可根據(jù)用戶特殊要求定制,定制規(guī)格X≤30000 mm,Y≤1600 mm,Z≤3000 mm
測量不確定度(mm) E1(軸向) E(空間) 重復(fù) 0.03+0.03L 0.05+0.05L 0.03
注:E、E1定義依照GB/T16857.2-1997且E等效于ISO 10362-2:1994標(biāo)準(zhǔn);L單位為m
王釗銷售三坐標(biāo)測量機(jī)13857628212
廣州精密儀器公司的 三坐標(biāo)測量儀產(chǎn)品目錄為您精選 三坐標(biāo)測量儀產(chǎn)品,歡迎您來電咨詢 三坐標(biāo)測量儀產(chǎn)品的詳細(xì)信息! 三坐標(biāo)測量儀的種類有很多,不同
三坐標(biāo)測量儀的應(yīng)用范圍也會(huì)有細(xì)微的差別,而本公司將會(huì)為您提供的解決方案。三坐標(biāo)測量儀規(guī)格Model | 500C |
測量范圍(㎜)Measuring Range | X:400Y:500Z:300 |
外形尺寸(㎜)Overall Dimensions | X:1142Y:1203Z:2034 |
公差(㎛)Resolution | 0.5 |
允許公差范圍 E (㎛, L:㎜) per ISO 10360-2Maximum Permissible Error | 2.0+L/250 |
最大速度 (㎜/s)Max. Velocity | 400 |
空氣壓力(㎏/㎠, NL/min) Air Requirements) | 4, 25 |
最大承受重量(㎏)Max. Workpiece Weight | 400 |
儀器重量(㎏)Machine Weight | 600 |
SOV-2010A自動(dòng)測量全功能版 |
『功能介紹』 |
1、 CNC電動(dòng)桌面:(以軟件功能控制工作臺(tái)面,增加操作人員使用及操作上的方便性)。 |
2、 CNC自動(dòng)測量:可按客戶自行設(shè)定的程序自動(dòng)測量出產(chǎn)品尺寸,測量值可自動(dòng)轉(zhuǎn)到Excel生成統(tǒng)計(jì)報(bào)表。 |
3、 SPC數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換(制程能力分析):能將測量之?dāng)?shù)據(jù)輸出至Excel進(jìn)行分析。 |
4、 掃描工件外形作為行動(dòng)地圖:以圖原點(diǎn)(外形圖)形式成為行動(dòng)地圖,若以鼠標(biāo)則工作臺(tái)會(huì)自動(dòng)將你所點(diǎn)擊的移動(dòng)至畫面中心點(diǎn)。 |
5、 自動(dòng)多點(diǎn)畫線、畫圓:減少兩點(diǎn)畫線(畫圓)造成的誤差,更精確測量。 |
6、 自動(dòng)取線、取圓:無須以人工取線或圓,在某一范圍內(nèi)軟件可自動(dòng)捕捉到最精確的線或圓。 |
7、 自動(dòng)平均多點(diǎn)線,自動(dòng)平均多點(diǎn)圓。 |
8、 輔助對焦:由計(jì)算機(jī)判定每次的對焦面,以變換焦距時(shí)測量的重現(xiàn)性及度。 |
9、 簡易測高:搭配輔助對焦功能可測量Z軸高度。 |
10、 圖形輸出到AutoCAD:可將實(shí)時(shí)影像中按實(shí)際工件外形所描繪的圖形直接輸出到AutoCAD中成為工程圖。 |
11、 圖形輸出到AutoCAD并自動(dòng)擺正:可將按實(shí)時(shí)影像中按實(shí)際工件外形所描繪的圖形按實(shí)際需要來自行設(shè)定基準(zhǔn)并在傳輸過程中擺正。 |
12、 AutoCAD中標(biāo)準(zhǔn)工程制圖輸入:可把AutoCAD中的標(biāo)準(zhǔn)工程制圖直接輸入到測繪儀軟件的影像中,令A(yù)utoCAD工程圖興實(shí)際工件外形重迭進(jìn)行對比,從而找出工件和工程制圖的區(qū)別。 |
13、 JPEG圖片輸入:可輸入先前拍照儲(chǔ)存的JPEG圖片興實(shí)時(shí)影像中的實(shí)際工件進(jìn)行重迭對比。 |
14、 烏瞰圖:可觀察工件的全圖形并具有類似AutoCAD的縮放功能。 |
15、 在烏瞰全視圖中進(jìn)行標(biāo)注:可以在烏瞰的全圖中進(jìn)行標(biāo)注尺寸。 |
16、 自定義圓:可按客戶需要自定義標(biāo)準(zhǔn)的圖(由客戶自行定義圓的圓心坐標(biāo)、直徑、半徑)。再以標(biāo)準(zhǔn)的圓和影像中的工件作重迭對比,從而找到工件與標(biāo)準(zhǔn)圖形之間的誤差。 |
17、 自定義線段:客戶自行定義線段的起點(diǎn)坐標(biāo)、長度、旋轉(zhuǎn)的角度,再與影像中的工件作重迭對比從而找到工件與標(biāo)準(zhǔn)圖形之間的誤差。 |
18、 直接畫圖:直接移動(dòng)工作桌,以十字線中心點(diǎn)畫線、圓、弧時(shí)不僅可以在AutoCAD中直接生成圖形同時(shí)在測繪儀軟件的影像中也生成相同外形及位置的圖形。 |
19、 自設(shè)客戶坐標(biāo):可以根據(jù)客戶本身的需要在實(shí)時(shí)影像中的實(shí)際工件上自行設(shè)定坐標(biāo)原點(diǎn)(0,0),再以(0,0)點(diǎn)為基準(zhǔn)在畫面任一點(diǎn)上標(biāo)示該點(diǎn)X,Y坐標(biāo)位置。 |
20、 坐標(biāo)標(biāo)注:以自己所設(shè)定之坐標(biāo)原點(diǎn)(0,0)為基準(zhǔn),標(biāo)注圖上任意一點(diǎn)的坐標(biāo)位置。 |
21、 圖形自動(dòng)捕捉:可自行設(shè)定參數(shù),對線、圓、弧進(jìn)行自動(dòng)掃描邊緣并自動(dòng)取得圖形。 |
22、 專利取R角功能:為目前市面上的平面取R角方式。 |
23、 測量:可測量平面上的任何幾何尺寸(角度、直徑、半徑、點(diǎn)到線的距離、圓的偏心、兩圓間距等等)。 |
24、 繪圖:可將實(shí)時(shí)影像中的實(shí)際工件外形進(jìn)行描繪,形成完整的工程圖,繪圖方式和AutoCAD相似。 |
25、 自動(dòng)捕捉圖形線條的各結(jié)點(diǎn):可以自動(dòng)捕捉線的起點(diǎn)、中點(diǎn)、終點(diǎn)及兩線的交點(diǎn)、圓心及圓周上的三個(gè)結(jié)點(diǎn),用于輔助標(biāo)注繪圖等應(yīng)用功能。 |
26、 標(biāo)注:可在實(shí)時(shí)影像中的工件上標(biāo)注尺寸。有長度、角度標(biāo)注、坐標(biāo)標(biāo)注及連續(xù)標(biāo)注等。 |
27、 拍照:可拍下實(shí)物照片,包括所標(biāo)注的尺寸。 |
機(jī)器型號 | Croma564 | Croma666 | Croma8106 | Croma8126 |
行程(mm) | 500 | 600 | 800 | 800 |
600 | 800 | 1000 | 1200 | |
400 | 600 | 600 | 600 | |
測量空間 | 634 | 734 | 934 | 934 |
144 | 144 | 144 | 144 | |
594 | 794 | 794 | 794 | |
平臺(tái)(mm) | 783 | 783 | 805 | 805 |
1155 | 1355 | 1555 | 1755 | |
支撐(mm) | 824 | 978 | 1178 | 1378 |
356 | 379 | 379 | 379 | |
外形尺寸(mm) | 1535 | 1735 | 1935 | 2135 |
1050 | 1150 | 1350 | 1350 | |
1050 | 1150 | 1350 | 1350 | |
承重(kg) | 300 | 300 | 500 | 500 |
機(jī)器重量(kg) | 590 | 730 | 1074 | 1196 |
MPEe(μm) | 2.8*L/300 | 2.8*L/300 | 3.0*L/300 | 3.0*L/300 |
MPEp(μm) | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 4 |
光柵尺分辨率(μm) | 0.078 | 0.078 | 0.078 | 0.078 |
空間移動(dòng)速度(mm/s) | 520 | 520 | 520 | 520 |
空間移動(dòng)速度(mm/s²) | 1730 | 1730 | 1730 | 1730 |
流量/供氣壓力 | 120 NI/min,0.45 Mpa | 120 NI/min,0.45 Mpa | 120 NI/min,0.45 Mpa | 120 NI/min,0.45 Mpa |
三坐標(biāo)測量儀蘇一光RTS632DL全站儀是本公司最新推出的全站中文數(shù)字鍵盤全站儀,內(nèi)置大容量內(nèi)存和各種應(yīng)用測量程序,功能強(qiáng)大、性能穩(wěn)定、使用方便。適用于建筑放樣、道路放樣、地形地籍測量及控制點(diǎn)測量等測量工作。
南京天地精繪儀器設(shè)備有限公司
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地址:南京市下關(guān)區(qū)和燕路5號燕語華庭商務(wù)中心403
儀器型號 | RTS632H | RTS632HL | RTS635H | RTS635HL | |
望遠(yuǎn)鏡 | |||||
鏡筒長 | 156mm | ||||
成像 | 正像 | ||||
物鏡有效直徑 | Ф40mm | ||||
放大倍率 | 30× | ||||
視場 | 1°20′ | ||||
最短視距 | 1.8m | ||||
距離測量(良好天氣條件)*1 | |||||
測程 | 單棱鏡 | 2200m | |||
三棱鏡 | 2600m | ||||
精度 | ±(2+2×10-6·D)mm | ||||
測量時(shí)間 | 標(biāo)準(zhǔn)/跟蹤 1.5/0.7 ,初始:3s | ||||
測距最小讀數(shù) | 精密測量模式 | 1mm | |||
跟蹤測量模式 | 10mm | ||||
溫度設(shè)定范圍 | -40℃ ~ +60℃ 步長 1℃ | ||||
大氣壓改正 | 600hPa-1500hPa 步長 1hPa | ||||
棱鏡常數(shù)改正 | -99.9mm ~ +99.9mm | ||||
角度測量 | |||||
讀數(shù)系統(tǒng) | 光電增量編碼系統(tǒng) | ||||
最小讀數(shù) | (Degree) 1″/ 5″ | ||||
(Gon) 0.3mgon/ 1.5 mgon | |||||
精度*2 | 2″ | 5″ | |||
長水準(zhǔn)氣泡 | |||||
管型氣泡精度 | 30″/2mm | ||||
圓型氣泡精度 | 8′/2mm | ||||
補(bǔ)償器 | |||||
范圍 | ±3′ | ||||
光學(xué)對點(diǎn)器 | |||||
精度 | 1/2000 | / | 1/2000 | / | |
成像 | 正像 | 正像 | |||
放大倍率 | 3× | 3× | |||
視場 | 4° | 4° | |||
調(diào)焦范圍 | 0.5m ~ ∞ | 0.5m ~ ∞ | |||
激光對點(diǎn)器(可選) | |||||
調(diào)焦范圍 | / | 0.5m ~ ∞ | / | 0.5m ~ ∞ | |
工作距離 | 0.5 ~ 80 m | 0.5 ~ 80 m | |||
精度 | 1/2000 | 1/2000 | |||
顯示 | |||||
類型 | 兩側(cè)點(diǎn)陣液晶顯示 | ||||
照明 | |||||
液晶屏 | 液晶背光 | ||||
分劃板 | 有 | ||||
電源 | |||||
電池 | |||||
工作電壓 | 7.2VDC(可充 Ni- MH 電池) | ||||
工作時(shí)間 | 約8小時(shí) (連續(xù)測距/角度測量) | ||||
約12小時(shí) (角度測量) | |||||
充電器 | FDJ6 110/220 V 充電時(shí)間約3.5小時(shí) | ||||
其他 | |||||
內(nèi)存容量 | 8000點(diǎn) | ||||
主機(jī)重量(帶電池) | 4.5kg | ||||
體積 | (W×D×H) 約160×155×360 mm | ||||
溫度范圍 | -20℃ ~ +50℃ | ||||
I/O 上傳/下載 | RS232c | ||||
數(shù)據(jù)輸出 | 數(shù)據(jù)下載及格式轉(zhuǎn)換軟件 com600 |
應(yīng)用程序: 坐標(biāo)放樣/坐標(biāo)測量/后方交會(huì)/遙測懸高/對邊測量/角度距離放樣/面積測量/ 方位角/Z坐標(biāo)/自由測站/圓柱偏心/平面偏心/角度偏心/距離偏心/直線放樣
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Croma系列自動(dòng)三坐標(biāo)測量機(jī)◆采用?怂箍禐镃roma專業(yè)打造的IDC-Ⅰ控制系統(tǒng),21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)偕功能,穩(wěn)定機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測量精度!◆軟件為業(yè)界標(biāo)桿的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM),功能強(qiáng)大,易學(xué)高效!
主要特征:◆先進(jìn)的全鋁技術(shù),橫梁與Z軸采用表面硬質(zhì)陽極化航空鋁合金,溫度一致性極佳;并降低了運(yùn)動(dòng)部件的質(zhì)量和測量機(jī)在高速運(yùn)行時(shí)的慣性,保證高速高精度!羧S導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn),導(dǎo)軌永不受磨損!羧S均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um;同時(shí)采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形,保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮!鬤向采用精密60°三角梁專利技術(shù),相比矩形橫梁,重心更低,質(zhì)量剛性比最佳,運(yùn)動(dòng)更加可靠。◆Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌,在降低機(jī)器重量的同時(shí),有效消除了運(yùn)動(dòng)扭擺,保證了測量精度和穩(wěn)定性!鬦向采取獲得專利的氣動(dòng)平衡技術(shù),采用柔性懸掛系統(tǒng),避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題,提高了測量機(jī)的精度和長期穩(wěn)定性!舾鬟\(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶,確保運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位!舨捎煤?怂箍禐镃roma專業(yè)打造的IDC-Ⅰ控制系統(tǒng),21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)偕功能,保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測量精度!糗浖䴙闃I(yè)界標(biāo)桿的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM),功能強(qiáng)大,易學(xué)高效!
規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo):
機(jī)器型號 | Croma564 | Croma686 | Croma8106 | Croma8126 |
行程(mm) | 500 | 600 | 800 | 800 |
600 | 800 | 1000 | 1200 | |
400 | 600 | 600 | 600 | |
測量空間(mm) | 634 | 734 | 934 | 934 |
144 | 144 | 144 | 144 | |
594 | 794 | 794 | 794 | |
平臺(tái)(mm) | 783 | 783 | 805 | 805 |
1155 | 1355 | 1555 | 1755 | |
支撐(mm) | 824 | 978 | 1178 | 1378 |
356 | 379 | 379 | 379 | |
外形尺寸(mm) | 1535 | 1735 | 1935 | 2135 |
1050 | 1150 | 1350 | 1350 | |
2247 | 2647 | 2729 | 2729 | |
承重(kg) | 300 | 300 | 500 | 500 |
機(jī)器重量(kg) | 590 | 730 | 1074 | 1196 |
MPEo(μm) | 2.8 +L/300 | 2.8+L/300 | 3.0 +L/300 | 3.0+L/300 |
MPEp(μm) | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 4 |
光柵尺分辨率 (μm) | 0.078 | 0078 | 0.078 | 0.078 |
空間移動(dòng)速度(mm/s) | 520 | 520 | 520 | 520 |
空問移動(dòng)加速度(mm/s2 ) | 1730 | 1730 | 1730 | 1730 |
流量/供氣壓力 | 120 Nl/min, 0.45 Mpa | 120 Nl/min, 0.45 Mpa | 120 Nl/min, 0.45 Mpa | 120 Nl/min, 0.45 Mpa |
溫度 | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ |
濕度 | 45%-75% | 45%-75% | 45%-75% | 45%-75% |