技術指標
4.1 S48 300/HMT MFC技術指標
表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術指標
編號 | 項目 | S48 300/HMT |
1 | 流量規(guī)格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 調節(jié)閥類型 | 電磁調節(jié)閥 |
3 | 調節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 |
4 | 安裝角度 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%-100%F.S. |
6 | 流量測量范圍 | 0-100%F.S. |
7 | 響應時間 | ≤ 1 sec |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 5-50℃ |
9 | 精度保證溫度 | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工作壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
15 | 泄漏率 | <1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接觸氣體材料 | 316L,Viton® 氟橡膠,PTFE |
17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供電電源 | ±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA |
19 | 設定信號 | 數(shù)字:RS485/RS232 模擬:0 - +5V,輸入阻抗>10kΩ |
20 | 流量輸出信號 | 數(shù)字:RS485/RS232 模擬:0 - +5V,負載能力≤3mA |
21 | 通訊接口 | 數(shù)字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps, Modbus RTU 協(xié)議從機,設備號可選范圍0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
S48 300/HMT質量流量控制器的特點
☆ S48 300/HMT型質量流量控制器是在引進HORIBA STEC技術基礎上,結合國內需要而研制的一種數(shù)字式質量流量控制器產品,采用當今先進的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。
☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠,兼容性強,易于組網(wǎng)。配合上位機,可進行各種復雜的計量、控制操作及組態(tài)。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。
☆主體采用不銹鋼(316L)結構,氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。
☆可任意角度安裝。
☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示,使用方便。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合。
配合MT-50或51系列流量顯示儀,可對氣流的瞬時流量進行精確測量和計量。
序號 | 項目 | 內容 | |
DSN—① | DSN—② | ||
1 | 流量范圍 | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM; 0~1,2,3,5,10 ,20,30SLM; | |
2 | 度(%FS) | ±2%FS | ±1%FS |
3 | 線性(%FS) | ±(0.5~2)%F.S | ±(0.5~1)%FS |
4 | 重復精度(%FS) | ±0.2%FS | |
5 | 響應時間(sec) | 電特性:<10;氣特性:<1~4 | |
6 | 工作壓差范圍(MPa) | 0.05~0.3 | |
7 | 耐壓(MPa) | 3,10 | |
8 | 工作環(huán)境溫度(℃) | 5~45 | |
9 | 輸入輸出信號電壓 | 0~+5.00V | |
10 | 電源 | +15V 500mA,-15V 500mA(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
11 | 外形尺寸(mm) | 130*28*121 | |
12 | 重量約(kg) | 1.0 |
應用范圍:分析儀器/表面涂裝處理/半導體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機械生產制造/氣體生產設備/氣壓縮設備/實驗室設備
Code | Range air | connection | Code | Range air | connection |
A4 | 4-200ml/min | G1/4” | C4 | 0.4-20l/min | G1/4” |
A5 | 10-500ml/min | G1/4” | C5 | 1-50l/min | G1/4” |
B4 | 40-2000ml/min | G1/4” | D3 | 2-100l/min | G1/2” |
B5 | 100-5000ml/min | G1/4” | D4 | 4-200l/min | G1/2” |
1、50毫內完成穩(wěn)定的控制響應
準確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應速度,艾里卡特®質量流量控制器50毫內即可到達新的設定值?焖佟⒖芍貜、穩(wěn)定!
2、操作便捷
? 50-100毫控制響應
? 允許用戶自行調節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺設備控制質量流量、體積流量或絕對壓力
? 瞬間啟動、無需預熱:1內即可開始流量控制
三、ALICAT氣體質量流量控制器產品系列
MC 標準系列
全球控制響應快、穩(wěn)定的流量控制器。
MCR 大流量系列
準確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應用需求量身定制閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
限度減小壓損對系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導體行業(yè)用系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業(yè)用系列
MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
雙向質量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量?啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。 點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列
四、ALICAT氣體質量流量控制器性能參數(shù)
指標 | 質量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 100ms |
標準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測量流量范圍 | 128%(過流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(數(shù)字) | 質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度 |
數(shù)字信號可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(模擬) | 質量流量、體積流量、絕對壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A) |
產品規(guī)格 | MC | 測量單位 |
量程范圍 | 0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500,800 | (S)CCM |
1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,1500 | (S)LPM | |
精度等級 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(高精度選項±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) | 滿量程 |
重復性 | ±0.5% | 滿量程 |
量程比 | 100:1 | |
響應時間 | 100 | 毫秒 |
壓降 | - | 與廠家商議 |
操作溫度 | -10~50 | ℃ |
零點漂移 | 0.02%/ATM | 滿量程/℃ |
范圍漂移 | 0.02%/ATM | 滿量程/℃ |
濕度量程 | 0-100% | 無冷凝 |
過流率 | 2.4% | 滿量程 |
最大耐壓 | 125 | PSIG |
供應電流 | 當流量≤20LPM時: 0.25 當流量≥50LPM時: 1 | 安培 |
電源電壓 | 當流量≤20LPM時:12-25VDC 當流量≥50LPM時:24-30VDC | |
輸入/輸出 | 0-5VDC,0-10VDC,4-20mA,RS-232 | VDC |
電氣連接 | 8針或可選的工業(yè)連接插頭 | 小型圓插頭 DIN |
機械連接 | 1/8"接口:流量≤20(S)LPM 閥門側1/2"接口,流量計側1/4"接口:當流量為50(S)LPM和100(S)LPM時 1/2"接口:當流量為250~1000(S)LPM 1"接口:當流量>1000(S)LPM | NPTF |
接液部件 | 303和302不銹鋼,Viton®,RTV硅樹脂,玻璃纖維增強尼龍,陽極氧化鋁,410&304不銹鋼,鎳,銅,Delrin®,Loctite®粘劑326,401,609 |
流量范圍 | 高度 | 長度 | 深度 | 流量計接口 | 閥門接口 |
≤20(S)LPM | 4.08" | 3.5" | 1.56" | 1/8" NPT(F) | 1/8" NPT(F) |
20~50(S)LPM | 4.600" | ~5.7" | 2.0" | 1/4" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |
50~100(S)LPM | 4.727" | ~6.6" | 2.0" | 1/4" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |
100~1000(S)LPM | 5.242" | ~6.6" | 2.0" | 1/2" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |
MPC9500山武氣體質量流量控制器
此產品它是一款通過面板安裝來實現(xiàn)高水平的流量控制器的,而且它也是世界上最小、最輕的氣體質量流量控制器,它具有操作簡單、安裝簡單的特性而被廣大客戶朋友們喜愛。
它在對浮子式流量計進行更換時,操作和安裝也很簡單,沒有任何不適感,標準化配置了豐富的功能,根據(jù)顧客多樣化的需求,努力降低了設備的總成本。
此產品的設計與應用是來應對這樣的需求的:① 想要數(shù)字化設定和管理流量
② 想要解決浮子式流量計不可避免的“因設計與使用時的條件差異引起的測量誤差”
③ 想要控制流量,但是,不能接受價格昂貴、結構復雜的測量儀器和復雜的操作
④ 想要將浮子式流量計更換為氣體質量流量控制器,但是,不能對安放場所、配管布局等進行大規(guī)模的更改等。
另外,此系列還有其它幾個型的產品,比如有MPC0002、MPC0005、MPC0020等,它們的適用氣體必須是干燥、清潔的。其控制范圍是4 ~ 100%FS,響應性在1.0s以內達到設定±2%FS(TYP),此外,它的精 度為±2%FS以內(標準溫度、標準差壓下),重復性為±1%FS以內,溫度影響情況為每1°C為0.1%FS以下,標準差壓是0.2MPa,必要差壓則為0.05MPa,耐壓為0.5MPa(表壓),它的標準工作溫度為+ 25°C,允許工作溫度范圍在-10 ~ +50°C (但是,使用RS-485通訊功能時為0 ~ +50°C ),允許保存溫度范圍是-10 ~ +60°C,允許環(huán)境濕度范圍為10 ~ +90%RH(無結露)。此產品的接氣部分材質為黃銅(鎳鍍金)、不銹鋼、特氟綸、氟橡膠,連接方式為Rc1/8,安裝方式為設定顯示部表面垂直,入口配管側在下、出口配管側在上的狀態(tài),重 量約300克。如需了解更多信息,請登錄www.zhoudar.com進行咨詢!
V10FC-R直接熱式MFC/MFM采用熱消散原理技術,兩傳感器分別置于流量計主通道兩端,一傳感器為溫度傳感器,一傳感器為質量流速傳感器,氣體流經儀表時流經通道,通過兩傳感器將檢測到的流量信號轉化成電信號,經放大后轉換成0~5V或1~5V的電壓信號或4~20mA的電流信號。從而達到精確的測量和控制氣體的質量流量.其結構特點是沒有分流器件,因此此產品可以測量易結晶的氣體介質,其基本組成由分流主通道、流量放大電路、溫度傳感器、壓力傳感器、差壓傳感器等部件;在質量流量計的基礎上,再加上電磁比例調節(jié)閥門和PID控制電路就構成了質量流量控制器。 產品應用 產品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,環(huán)保及各種分析,科研院所實驗設備。 | ||
產品特點 ● 直接熱式原理、高精度、快速反應 ● 無壓損,抗結晶,抗腐蝕 ● 適用于各種管道壓力 ● 精確測量和控制氣體的質量流量 ● 預熱時間短,零漂小,穩(wěn)定性高 ● 多種氣體可選,也可自行輸入 | ||
技術參數(shù) |
技術指標 | V10FC-RC質量流量控制器 | V10FC-RM質量流量計 |
量程范圍 | 小量程:0.5SCCM~10SLM 中量程:10SCCM~30SLM 大量程:30SCCM~250SLM | |
控制范圍 | 50:1 | |
準 確 度 | ±1.5%F.S | |
線 性 | ±0.5%F.S | |
重復精度 | ±0.2%F.S | |
響應時間 | 100ms | 10ms |
數(shù) 字 量 | RS232/485 | |
模 擬 量 | 0~5V、4~20mA、1~5V | |
通訊方式 | MODBUS | |
工作溫度 | 0~50℃ | |
工作壓力 | 工作壓差:0.03~0.5MPa | 工作壓降:<0.01Mpa |
最大耐壓 | 14MPa | |
電氣連接 | DB15孔 | |
漏 率 | 1×10-9SCCSHe | |
溫度系數(shù) | ±0.025%F.S/℃ | |
底座材質 | 316L | |
密封材料 | 氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠 | |
接 頭 | VCR1/4;swagelokφ6 | |
防爆等級 | IP65 |
產品型號 | D07-7K |
產品類型 | 普通型 |
流量量程 | 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
產品精度 | ±1%F.S. |
重復精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±1%F.S. |
響應時間 | ≤4sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 常閉 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點飄移指標 | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Female |
工作壓差范圍 | (0.1~0.5) MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 | 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 |
表面化學成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | - 無 - |
重量 | 1.1Kg |