序號(hào) | 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
DSN—① | DSN—② | ||
1 | 流量范圍 | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM; 0~1,2,3,5,10 ,20,30SLM; | |
2 | 度(%FS) | ±2%FS | ±1%FS |
3 | 線性(%FS) | ±(0.5~2)%F.S | ±(0.5~1)%FS |
4 | 重復(fù)精度(%FS) | ±0.2%FS | |
5 | 響應(yīng)時(shí)間(sec) | 電特性:<10;氣特性:<1~4 | |
6 | 工作壓差范圍(MPa) | 0.05~0.3 | |
7 | 耐壓(MPa) | 3,10 | |
8 | 工作環(huán)境溫度(℃) | 5~45 | |
9 | 輸入輸出信號(hào)電壓 | 0~+5.00V | |
10 | 電源 | +15V 500mA,-15V 500mA(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | |
11 | 外形尺寸(mm) | 130*28*121 | |
12 | 重量約(kg) | 1.0 |
應(yīng)用范圍:分析儀器/表面涂裝處理/半導(dǎo)體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機(jī)械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設(shè)備/氣壓縮設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
Code | Range air | connection | Code | Range air | connection |
A4 | 4-200ml/min | G1/4” | C4 | 0.4-20l/min | G1/4” |
A5 | 10-500ml/min | G1/4” | C5 | 1-50l/min | G1/4” |
B4 | 40-2000ml/min | G1/4” | D3 | 2-100l/min | G1/2” |
B5 | 100-5000ml/min | G1/4” | D4 | 4-200l/min | G1/2” |
1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)
準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度,艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值?焖、可重復(fù)、穩(wěn)定!
2、操作便捷
? 50-100毫控制響應(yīng)
? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對(duì)壓力
? 瞬間啟動(dòng)、無需預(yù)熱:1內(nèi)即可開始流量控制
三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列
MC 標(biāo)準(zhǔn)系列
全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。
MCR 大流量系列
準(zhǔn)確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容,封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ,門用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列
MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
雙向質(zhì)量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量?啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)
指標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測量流量范圍 | 128%(過流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)(數(shù)字) | 質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(hào)(模擬) | 質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計(jì)而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A) |
產(chǎn)品規(guī)格 | MC | 測量單位 |
量程范圍 | 0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500,800 | (S)CCM |
1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,1500 | (S)LPM | |
精度等級(jí) | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) | 滿量程 |
重復(fù)性 | ±0.5% | 滿量程 |
量程比 | 100:1 | |
響應(yīng)時(shí)間 | 100 | 毫秒 |
壓降 | - | 與廠家商議 |
操作溫度 | -10~50 | ℃ |
零點(diǎn)漂移 | 0.02%/ATM | 滿量程/℃ |
范圍漂移 | 0.02%/ATM | 滿量程/℃ |
濕度量程 | 0-100% | 無冷凝 |
過流率 | 2.4% | 滿量程 |
最大耐壓 | 125 | PSIG |
供應(yīng)電流 | 當(dāng)流量≤20LPM時(shí): 0.25 當(dāng)流量≥50LPM時(shí): 1 | 安培 |
電源電壓 | 當(dāng)流量≤20LPM時(shí):12-25VDC 當(dāng)流量≥50LPM時(shí):24-30VDC | |
輸入/輸出 | 0-5VDC,0-10VDC,4-20mA,RS-232 | VDC |
電氣連接 | 8針或可選的工業(yè)連接插頭 | 小型圓插頭 DIN |
機(jī)械連接 | 1/8"接口:流量≤20(S)LPM 閥門側(cè)1/2"接口,流量計(jì)側(cè)1/4"接口:當(dāng)流量為50(S)LPM和100(S)LPM時(shí) 1/2"接口:當(dāng)流量為250~1000(S)LPM 1"接口:當(dāng)流量>1000(S)LPM | NPTF |
接液部件 | 303和302不銹鋼,Viton®,RTV硅樹脂,玻璃纖維增強(qiáng)尼龍,陽極氧化鋁,410&304不銹鋼,鎳,銅,Delrin®,Loctite®粘劑326,401,609 |
流量范圍 | 高度 | 長度 | 深度 | 流量計(jì)接口 | 閥門接口 |
≤20(S)LPM | 4.08" | 3.5" | 1.56" | 1/8" NPT(F) | 1/8" NPT(F) |
20~50(S)LPM | 4.600" | ~5.7" | 2.0" | 1/4" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |
50~100(S)LPM | 4.727" | ~6.6" | 2.0" | 1/4" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |
100~1000(S)LPM | 5.242" | ~6.6" | 2.0" | 1/2" NPT(F) | 1/2" NPT(F) |
MPC9500山武氣體質(zhì)量流量控制器
此產(chǎn)品它是一款通過面板安裝來實(shí)現(xiàn)高水平的流量控制器的,而且它也是世界上最小、最輕的氣體質(zhì)量流量控制器,它具有操作簡單、安裝簡單的特性而被廣大客戶朋友們喜愛。
它在對(duì)浮子式流量計(jì)進(jìn)行更換時(shí),操作和安裝也很簡單,沒有任何不適感,標(biāo)準(zhǔn)化配置了豐富的功能,根據(jù)顧客多樣化的需求,努力降低了設(shè)備的總成本。
此產(chǎn)品的設(shè)計(jì)與應(yīng)用是來應(yīng)對(duì)這樣的需求的:① 想要數(shù)字化設(shè)定和管理流量
② 想要解決浮子式流量計(jì)不可避免的“因設(shè)計(jì)與使用時(shí)的條件差異引起的測量誤差”
③ 想要控制流量,但是,不能接受價(jià)格昂貴、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的測量儀器和復(fù)雜的操作
④ 想要將浮子式流量計(jì)更換為氣體質(zhì)量流量控制器,但是,不能對(duì)安放場所、配管布局等進(jìn)行大規(guī)模的更改等。
另外,此系列還有其它幾個(gè)型的產(chǎn)品,比如有MPC0002、MPC0005、MPC0020等,它們的適用氣體必須是干燥、清潔的。其控制范圍是4 ~ 100%FS,響應(yīng)性在1.0s以內(nèi)達(dá)到設(shè)定±2%FS(TYP),此外,它的精 度為±2%FS以內(nèi)(標(biāo)準(zhǔn)溫度、標(biāo)準(zhǔn)差壓下),重復(fù)性為±1%FS以內(nèi),溫度影響情況為每1°C為0.1%FS以下,標(biāo)準(zhǔn)差壓是0.2MPa,必要差壓則為0.05MPa,耐壓為0.5MPa(表壓),它的標(biāo)準(zhǔn)工作溫度為+ 25°C,允許工作溫度范圍在-10 ~ +50°C (但是,使用RS-485通訊功能時(shí)為0 ~ +50°C ),允許保存溫度范圍是-10 ~ +60°C,允許環(huán)境濕度范圍為10 ~ +90%RH(無結(jié)露)。此產(chǎn)品的接氣部分材質(zhì)為黃銅(鎳鍍金)、不銹鋼、特氟綸、氟橡膠,連接方式為Rc1/8,安裝方式為設(shè)定顯示部表面垂直,入口配管側(cè)在下、出口配管側(cè)在上的狀態(tài),重 量約300克。如需了解更多信息,請(qǐng)登錄www.zhoudar.com進(jìn)行咨詢!
產(chǎn)品型號(hào) | D07-7K |
產(chǎn)品類型 | 普通型 |
流量量程 | 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±1%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 常閉 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Female |
工作壓差范圍 | (0.1~0.5) MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
表面化學(xué)成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | - 無 - |
重量 | 1.1Kg |
DSN-700大量程氣體質(zhì)量流量控制器(帶通訊接口)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)介質(zhì):(N2)
量程:(0~10,30)SLM
準(zhǔn)精度:±1%F.S;
重復(fù)精度:±0.2%F.S線性:±(0.5~1)%F.S工作壓差范圍:0.05~0.3MPa;
耐壓:3,10MPa工作環(huán)境溫度:5~45℃;
輸入輸出信號(hào)電壓:0~+5.00V電源:24V電連接器:D15pin外形尺寸:130*28*121mm重量:約1.0kg接口尺寸:Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.1/4〞.3/8〞....VCR接頭:1/4〞.3/8〞.1/8〞........
一、概要介紹
質(zhì)量流量控制器是與東莞德欣產(chǎn)品DSN-MFC600CD以及DSN-MFC700型配套的控制操作觸屏。實(shí)現(xiàn)MFC對(duì)氣體的控制儀表。
功能:
①流量設(shè)定:在閥控狀態(tài)下,以F.S滿量程為基準(zhǔn),設(shè)定范圍“0~110%F.S”(注:“0”-根據(jù)MFC不用,范圍可能是2~110%)。
②流量讀。鹤詣(dòng)讀取實(shí)時(shí)流量值。
③清洗(清掃):在安裝氣路過程中,方便清除管道內(nèi)的異物,確保管路的清潔。注:間斷使用,不可長時(shí)間使用。
④關(guān)閉:實(shí)現(xiàn)MFC的關(guān)閉功能。注:間斷使用,不可長時(shí)間使用。
⑤累積流量設(shè)定:控制一定總量的氣體,到想要的總量,自動(dòng)關(guān)閉。在“流量設(shè)定”的某一個(gè)值下,設(shè)定氣體總量,實(shí)現(xiàn)總量控制。
⑥定時(shí)控制:某一設(shè)定流量下,在一定時(shí)間內(nèi)控制流量。
⑦實(shí)時(shí)流量記錄:查看氣體流量的記錄表。可以用U盤存貯。
⑧實(shí)時(shí)流量曲線:查看氣體流量的實(shí)時(shí)曲線。
⑨多氣體種類的選擇。實(shí)現(xiàn)一個(gè)MFC控制多種氣體。
⑩分段流量控制:氣體流量的曲線控制