CD1000型等離子表面處理機(jī)是用于較大尺寸消費(fèi)類電子產(chǎn)品的表面處理和改性的專業(yè)設(shè)備?筛鶕(jù)客戶需要選擇上料裝置。
反應(yīng)艙(大型):
艙體尺寸:1000×700×700 mm
材料:鋁 壁厚:
3cm 容積:
490 升 艙門:裝有可視窗口
架子: 7個(gè) (尺寸可耕具客戶要求訂制)
主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
金屬:等離子處理是一種環(huán)境友好型處理模式,代替了傳統(tǒng)的三氯化物化學(xué)處理方式。汽車制造:用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理。紡織品生產(chǎn):用于紡織品、濾網(wǎng)和薄膜的親水性、疏水性和表面改性處理。醫(yī)療:用于玻璃導(dǎo)管、注射器和各種閥門的膠合前處理。航空航天:絕緣材料(泡沫)、電子
NT-1/-2 臺式/立式等離子清洗機(jī)
應(yīng)用: 半導(dǎo)體IC; SMT; LCD等制造過程中表面清潔和表面改善功能.去除外表面殘留的光刻膠, 有機(jī)污染物, 溢出的環(huán)氧樹脂等; 還可以對表面的性能進(jìn)行活化, 增加表面的焊接及封裝能力…. 它可以用于生產(chǎn)制造過程中, 也可以用于FA或QA實(shí)驗(yàn)室中. 主要特征: 1 獨(dú)特的腔體設(shè)計(jì); 2 提供最佳的潔凈空間和均勻的等離子分布; 3 使用友好的控制操作界面; 4 可進(jìn)行菜單式操作和控制; 5 全部參數(shù)都時(shí)實(shí)地顯示在設(shè)備的屏目上:可隨時(shí)根據(jù)系統(tǒng)狀況,進(jìn)行系統(tǒng)診斷和操作 NT-1 參數(shù): 尺寸(英尺): 26L X 14W X14H 重量: 120LBS 設(shè)備腔體內(nèi)部尺寸: 9W X 9H X 12L (UPTO 4 SHELVES) 發(fā)動機(jī): 300 or 600 Watt 泵: 3.2CFM 11CFM 操作控制: 單機(jī)板控制, 無限量數(shù)據(jù)存儲; TFT 顯示操作系統(tǒng), 更方便的與外接, 結(jié)果方便輸出/存儲及處理.
NT-2 參數(shù): 尺寸(英尺): 28L X 26W X26H 重量: 140LBS 設(shè)備腔體內(nèi)部尺寸:12W X 12H X 20L (UPTO 8 SHELVES) 發(fā)動機(jī): 600 or 100 or 1500 Watt @13.50 MHZ or 40KHZ 泵: 27 or 50 or 90 CFM 操作控制: 單機(jī)板控制, 無限量數(shù)據(jù)存儲; TFT顯示操作系統(tǒng), 更方便的與外接, 結(jié)果方便輸出/存儲及處理.
目前,我司已與一些著名的生產(chǎn)和研究單位建立了良好的業(yè)務(wù)關(guān)系;同時(shí),也已與歐、美等地區(qū)的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商及有關(guān)機(jī)構(gòu)也建立起了良好的合作伙伴關(guān)系。
聯(lián)系人: 馮先生手機(jī):139-1145-7960Email:bf711@befirst-tech.comWebSite:www.befirst-tech.com
如果有任何關(guān)于設(shè)備或者技術(shù)的疑問歡迎電話或Email給我,合作愉快!
GV10x電鏡等離子清洗器
GV10x 是由ibss Group和一個(gè)擁有專利的等離子源的發(fā)明者共同合作開發(fā)并生產(chǎn)的新一代專門清洗腔體的等離子清洗系統(tǒng)。GV10x可以在分子泵工作的真空壓力狀態(tài)下運(yùn)行,它比以往傳統(tǒng)方法更加有效的(10到20倍)去除碳和碳?xì)湮廴尽K軌蛉コ龗呙桦娮语@微鏡(SEM)圖像中的假象; 使電子顯微鏡長久的保持高分辨率和束流穩(wěn)定性。不但能夠消除掃描電子顯微鏡圖像中的黑色掃描方框,針對聚焦離子束(FIB)和透射電子顯微鏡(TEM)中的碳污染同樣能得到很好的控制效果。
GV10x (KF40 version)
GV10x等離子清洗器是應(yīng)用于真空腔體中的原位清洗機(jī)的一個(gè)全新典范。憑借精妙的順流工藝,GV10x等離子清洗器比第一代方法更加有效和均勻10到20倍地去除碳和碳?xì)湮廴。分子泵也可以安全地運(yùn)行,而不需要中斷SEM, FIB或TEM系統(tǒng)的軟件控制。
柔和: 使用中性氧或氫的自由基通過非動力學(xué)過程,灰化氣相的碳?xì)浠衔锖捅砻嫣肌?/span>
Gentle Asher™, GA/GV
ibss group引進(jìn)電鏡樣品預(yù)處理腔,拓展了GV10x的應(yīng)用,用以清潔送入電子顯微鏡腔前的樣品。連接了GV10x 的預(yù)處理腔體, GA/GV, 可以極大地防止黑色掃描方框的生成。
在將電鏡腔清潔到可接受的碳?xì)湮廴舅胶,可以使用等離子體工藝,通過簡單地將GV10x源移動到預(yù)處理腔的腔體中,達(dá)到樣品清潔和儲存的目的?蛻舻膱(bào)告聲稱這種有效的結(jié)合以更少的損傷巧妙地去除TEM樣品臺和任何類型樣品的污染,同時(shí)保持CDSEM、 SEM、FIB 和TEM中碳?xì)湮廴舅降囊卓刂菩。預(yù)清潔樣品和樣品臺避免了污染電鏡腔體,這樣就延長了電鏡清洗的周期。
主要特點(diǎn):
1、RIE模式標(biāo)配(DP切換為選購);2、等離子的均應(yīng)性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面;用途:1、CSB/BGA/COB基板的等離子處理;2、有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去;3、電路基板的干洗;4、活性處理。
型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
模式 | RIE模式(DP選配) | DP模式 | DP/RIE切換方式 |
電極構(gòu)造 | 平行平板電極(固定) | ||
高頻輸出功率 | MAX300W | Max 500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
控制方式 | 自動聯(lián)動,液晶觸摸屏控制 | ||
反應(yīng)室尺寸 | 400×250×150mm | 500×300×200 | |
電極尺寸 | 250×170mm | 400×200mm | |
反應(yīng)室材質(zhì) | 一次性一體成型鋁腔(防腐蝕,可對應(yīng)CF4) | ||
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar/O2) | ||
填充氣體 | N2/潔凈干燥空氣 | ||
反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計(jì) | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行選配 | 油回旋真空泵(排氣量345L/min) | 油回旋真空泵(排氣量500L/min) |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2套,填充氣體1套 | ||
外型尺寸 | 540×600×600mm | 540×600×600mm | 700×700×700mm |
電源 | 單相AC100V 15A 50/60Hz | 三相AC100V 15A 50/60Hz |
*產(chǎn)品型號 | CY-P2L-A |
*供電電源: | AC220V |
*工作電流: | 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵) |
*射頻電源功率: | 200W |
*射頻頻率: | 40KHZ(偏移量小于0.2KHz) |
*頻率偏移量: | 小于0.2KHz |
*特性阻抗: | 50歐姆,自動匹配 |
*真空度: | 30Pa—100Pa |
*氣體流量: | 10—100ml/min(可調(diào)) |
*過程控制: | MCU自動與手動方式 |
清洗時(shí)間: | 1-6000秒鐘可調(diào) |
功率大小 | 10%-100%可調(diào) |
內(nèi)腔尺寸 | 100mm×270mm |
*外形尺寸: | 440*390*200mm |
*重量: | 25Kg |
*真空泵: | 100Pa |
*真空室溫度: | 小于65°C |
*冷卻方式: | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
PDC-MG 等離子清洗機(jī)配備有各種數(shù)字式儀表,能更加精確的記錄各個(gè)實(shí)驗(yàn)參數(shù)。該款設(shè)備操作更為簡便,只需要一個(gè)開關(guān)鍵即可對整個(gè)清洗過程進(jìn)行控制。該型號等離子清洗機(jī)具備更為高的射頻功率,使得等離子清洗的應(yīng)用面更為寬廣,除普通的清洗功能外,還具備表面改性、鍵和、淺刻蝕等功能。通過國家輻射環(huán)境管理監(jiān)測站檢驗(yàn),符合國家相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)要求。
技術(shù)參數(shù):
整機(jī)規(guī)格 | 500×300×300(長×寬×高)mm |
整機(jī)重量 | 35 Kg |
清洗艙規(guī)格 | Φ165×L210 mm (耐熱玻璃) |
清洗艙有效容積 | 4.5 L |
輸入電源 | 220 V/50 Hz |
整機(jī)輸入功率 | 400 W |
射頻輸出 | 0~150 W(連續(xù)可調(diào)) |
射頻頻率 | 13.56 MHz |
數(shù)字式定時(shí)器范圍 | 0~99.99 min |
極限真空度 | 1.3×102 Pa |
數(shù)字式真空計(jì)及量程 | 1.0×102~9.9×105 Pa |
數(shù)字式電流表和數(shù)字式電壓表 | 方便判斷設(shè)備工作中的功率大小 |
氣體流量計(jì)及量程 | 0.2~1.5 L/min 浮子流量計(jì)二支,方便二種不同氣體按比例混合 |
配件 | VRD-8 型單相真空泵、耐熱玻璃托盤一個(gè) |
PDC-MG 型等離子清洗機(jī)配套的VRD-8 型單相真空泵圖片:
(全部圖片以實(shí)物為準(zhǔn))
VRD-8 真空泵技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)地 | 中國·浙江 |
抽氣速度 | 2.2 L/S |
極限真空 | 5x10-2 |
水蒸汽容量 | 360g/h |
噪音 | 56A |
工作環(huán)境溫度 | 10-40℃ |
電機(jī)相數(shù) | 單相 |
電機(jī)電壓 | 220V |
電機(jī)功率 | 0.37KW |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440 r/min |
重量 | 16.2kg |
用油量 | 0.5L |
真空系統(tǒng)配件 | 管卡3 個(gè)、真空橡皮軟管(直徑12 mm、長度2 m) 1 根、硅橡膠管(直徑6 mm、長度2 m) 1 根、真空泵進(jìn)氣口轉(zhuǎn)接頭1 個(gè)、生料帶1 卷、改刀1 把、尼龍?jiān)? 個(gè) |
該真空泵為出口型真空泵,其性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于其它國產(chǎn)真空泵。