三豐輪廓儀CV-1000技術(shù)參數(shù)
X1軸
測量范圍: 50mm
分辨率: 0.2μm
測量方法:反射型光柵尺
驅(qū)動(dòng)速度: 0.2, 1mm/s和手動(dòng)
測量速度: 0.2, 0.5mm/s
測量方向:向后
直線度: 3.5μm/50mm , *當(dāng)X軸在水平方向上
指示精度:±（3.5+2L/100）μm * L為驅(qū)動(dòng)長度（mm）
Z1軸（檢測器）
測量范圍: 25mm
分辨率: 0.4μm
測量方法:弧形編碼器
指示精度:±（3.5+I4HI/25）μm （20°C時(shí)） *H為水平位置上的測量高度（mm）
探針上／下運(yùn)作:弧形運(yùn)動(dòng)
探針方向:向下
測力: 10 - 30mN
跟蹤角度:向上：77°、向下：87°（根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面探針）
探針針尖半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖
重量: 5kg
電源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz
能耗: 150W （主機(jī)）