產 品 說 明 | ||||
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概述:
高速X射線管球的搭載,實現(xiàn)了高精度的測定。而且配合極微小準直器和光學變焦鏡頭可以實現(xiàn)
極微小部分的測定。更可以對有高低平面差異的樣品進行測定。
主要特點:
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日本日立FT9500X型X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立(EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L)FT9500系列產品,搭載了高性能X射線管,實現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準直管和可變焦距光學系統(tǒng)的組合,實現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。
1.FT9500X搭載了50W高性能X射線管。2.FT9500X搭載毛細聚焦導管。3.容易對微小領域進行觀察,F(xiàn)T9500X搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統(tǒng)。4.依據(jù)照明能很容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。5.FT9500X搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。6.搭載了焦點切換功能,F(xiàn)T9500X能夠對有高度的樣品的低部分進行測定。7.FT9500X利用伺服馬達精確的驅動平臺。7.FT9500X運用激光聚焦功能簡單實現(xiàn)位置的調整。
日本日立FT110A型X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立(主營EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L)FT110A系列產品,搭載了高性能X射線管,實現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準直管和可變焦距光學系統(tǒng)的組合,實現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。
1.FT110A搭載了50W高性能X射線管。2.FT110A搭載標準的Φ50μm微小準直管(最小Φ15μm)。3.容易對微小領域進行觀察。FT110A搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統(tǒng)。4.依據(jù)照明能很容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。5.FT110A搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。6.搭載了焦點切換功能,F(xiàn)T110A能夠對有高度的樣品的低部分進行測定。7.FT110A利用伺服馬達精確的驅動平臺。7.FT110A運用激光聚焦功能簡單實現(xiàn)位置的調整。
FT150(FT150/FT150h/FT150L)日本日立X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立(主營EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L),FT110A系列產品,搭載了性能X射線管,實現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準直管和可變焦距光學系統(tǒng)的組合,實現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。1. 高速測量:通過X射線檢測機的改良,對于極具代表性的Au/Pd/Ni/Cu(金/鈀/鎳/銅)多鍍層測量,相比以前機型,效率提高了2倍以上。2. 對應超小型的芯片零部件的厚度測量(FT150h:FT150h通過最新開發(fā)的聚光導管,可以測量超小型芯片零部件(電容、電阻等)的電極部的鍍層厚度測量。3. 兼顧安全性和簡便性:采用防止X射線泄露的密集型框架和大開口且可以方便開啟和關閉的樣品門,兼顧安全性和簡便性。「FT150L」可以對應最大600×600mm的大型線路板。
X射線熒光鍍層厚度儀「FT150系列」(FT150/FT150h/FT150L)是采用聚光X射線的聚光導管,可對微小部的鍍層厚度進行高速測量的高性能儀器。通過X射線檢測儀器的改良,在線路板和連接器等使用的Au/Pd/Ni/Cu(金/鈀/鎳/銅)多鍍層檢測中,其測量速度與本公司以往機型(FT9500X,以下相同)相比,提高了2倍以上。在「FT150h」里通過新開發(fā)的聚光導管也可以測量超小型芯片零部件的端子鍍層厚度。而且跟以往機型相同,為操作員的安全和安心考慮,采用X射線泄露的可能性極小的密集型框架。新設計的樣品室門采用大開口,同時保證了開啟和關閉的便捷性。并且通過大型觀察窗口,可以方便地取放和定位樣品。另外,操作軟件通過圖標和便捷畫面在提高了操作性的同時,可通過數(shù)據(jù)自動保存功能減輕操作員的業(yè)務。通過這些改進,「FT150系列」實現(xiàn)了高精度?迅速的鍍層厚度測量,為測量工作的效率化和成本削減做出了貢獻。
概述:
SFT9000系列里最好的機型“SFT9455”,搭載75W高速X射線管和雙重檢驗裝置(半導體檢驗裝置十比
例計數(shù)管)。適用“薄膜”、“金屬膜”、“極微小部分測定”等所有鍍膜膜厚測定要求的高性能膜
厚測量儀器。而且 “SFT9455”在鍍膜厚度測量功能的基礎上還可以用作異物定性分析和材料成分分析。
主要特點: