集成電路照排平臺高精度定位電渦流位移傳感器在關鍵的Z軸高度調整中,支撐圓晶片的平臺必須非常精確地處于焦點平面(次原子級)。凱盟系統(tǒng)精確測量Z軸平臺的位置(如圖)并輸出模擬信號(或可選的數(shù)字接口)。此傳感器的高精度、重復性和分辨率可讓用戶在平臺定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。主要指標:測量對象:鋁量程起點:0.25mm量程:25µm非線性:±1% 分辨率:<25x10^-11M靈敏度:0.4V/µm電源:+12~+30V,15MA/每通道頻響:0-10KHZ輸出:0-10V溫漂:<0.5µm/℃欲了解更多關于產(chǎn)品的信息,請訪問真尚有公司網(wǎng)站www.51sensors.com
采用安全的LED光源的反射型晶圓定位傳感器
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以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員,十分危險。 M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。 |
M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。 |
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質,吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的高速反應實現(xiàn)0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測 利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。 |
傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜?筛鶕(jù)傳感器的設置情況靈活調節(jié)。 |
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,質量約為75g的小巧、輕盈型。 |
☆直接測量長距離線性位移,測量長度可達15米
☆恒力彈簧收繩 最大拉力可達8公斤傳感器,定位傳感器,恒力收繩定位傳感器
☆直徑1.5毫米軟性多股不銹鋼鋼絲繩316L材料,耐腐蝕、耐海水浸泡
☆選裝絕對型多轉編碼器 抗干擾 重復性高
☆特殊規(guī)格可按需定制
外形尺寸圖:
其有如下特點:
☆ 鋼絲繩平排在測量盤上,每圈行程相同,因此在整個測量范圍內均為線性測量。
☆ 恒力鋼帶采用專用彈簧材料,并采用雙盤卷簧方式,以在整個過程中恒定的收緊張力,避免鋼絲繩的來回程偏差及松馳不定,抗疲勞強度。
☆ 鋼絲繩測量盤.卷簧輪同一軸,并直接通過聯(lián)軸器與編碼器聯(lián)動,其連接誤差降至最小。
☆ 電氣連接防水密封IP65設計.
☆ 安裝維護方便,直接測量位移,因安裝的精度問題所帶來的偏差最小
供應美國`REGENT CONTROLS` REGENTCONTROLS`
定位傳感器 SR552A9D CLUTCH BREAK CONTROLS AccuMax90-120 AccuMax90-32 AccuMax90-V12 AccuMax24-120 AccuMax24-32 AccuMax24-V12 ClutchBraker120 ClutchBraker32 ClutchBrakerV12 Rev2424-120 REGENT’S 7966 Force90-120 Force90-32 Rev24-32 Rev90-120 AccuMax90-32 AccuMax90-NL Rev2424-120 Rev24-32 Rev24-NL TorqCommander120 TorqCommander32 TorqCommanderV12 AccuMax90-120 AccuMax90-32 AccuMax90-V12 AccuMax24-120 AccuMax24-32 AccuMax24-V12 KickStart™ KickStart ForeRunner120 ForeRunner32 ForeRunnerV12 Force90-120 Force90-32 Rev2424-120 Rev24-32 Rev90-120 Rev90-32 Rev90-NL Rev2424-120 Rev24-32 Rev24-NL 8129 RELAY InterFacer120 InterFacer32 ProFacer120 ProFacer32 FlipFlop120 FlipFlop32 WatchGuard120 QuickTripper2 MultiFacer120 MultiFacer32 SR552D9D SR552A9D
TIMER TM102-120 TM102D10/10S-120 TM102D5/5S-120 TM102D50/5S-120
TM102R1/1S-120 TM102R10/1S-120 TM102R2/2S-120 TM102-32
TM102D1/R0.1S-32 TM102R0.5/0.5S-32 TM102R1/1S-32 TM102-120 TM102D10/10S-120 TM102D5/5S-120 TM102D50/5S-120 TM102R1/1S-120 TM102R10/1S-120 TM102R2/2S-120 TM101-32 TM101D10/10S-32 TM2222 TM2222D0.1S-24
TM2222D0.5S-120 TM2222D0.5S-24 TM2222D0.5S-V12 TM2222D10S-120 TM2222D10S-24 TM2222D1S-120 TM2222D1S-24 TM2222D2S-120 TM2222D5S-120 TM2222D5S-24 TM2222F5S-120 TM2222R0.1S-24 TM2222R10S-120 TM2222R1S-24 TM2222R5S-24 TM2222-120 TM2222-24 TM2222-V12 TM2222D0.1S-24 TM2222D0.5S-120
TM2222D0.5S-24 TM2222D0.5S-V12 TM2222D10S-120 TM2222D10S-24 TM2222D1S-120 TM2222D1S-24TM2222D2S-120 TM2222D5S-120 TM2222D5S-24 TM2222F5S-120 TM2222R0.1S-24 TM2222R10S-120 TM2222R1S-24 TM2222R5S-24 Timer22/23-120 Timer22/23-24 TM301 TM301D-120 NON-STD TM301D0.5S-120 TM301D10S-120 TM301D1S-120 TM301D50S-120TM301D5S-120 Timer22/23-120 Timer22/23-24
SAFETY eMAX24
主要經(jīng)營產(chǎn)品列舉部分如下:
日本`RIKO `理光` 水位開關 液位開關 MFS10-N1-2 MFS9-N1-1 MFS9-N1-2 MFS9-N2-1 MFS9-N2-2 MFS10-N1-1 MFS10-N1-2 MFS10-N2-1 MFS10-N2-2 MFS17-A-1 MFS17-A-2 MFS17-B-1 MFS17-B-2 MFS17-C-1 MFS17-C-2 MFS17-D-1 MFS17-D-2 MFS21-E-1 MFS21-E-2 MFS21-K-1 MFS21-K-2 MFS23-F MFS25-J RFS2-1 RFS2-2 RFS4-1 RFS4-2 RFS6-1 RFS6-2 RFS8-1 RFS8-2 RFS9-1 RFS9-2 RFS-11A-1 RFS-11A-2 RFS-12-1 RFS-12-2 MFS1 MFS2 RFS1 RFS2 MFS3 `T&C` T & C`時間繼電器TH3A `ROKO` 近接光電開關SU100-N/SU-100B3 SND-04-ND MMF-R3N RFD-DU100 MMF-DU40N MF-DU30KP2 RMF-DU40N SE05-N-50K FRS-420 `RIKO` 近接光電開關SU100-N/SU-100B3 SND-04-ND RFD-DU100 MMF-DU40N RMF-CDU5N MF-DU30KP2 RMF-DU40N MMF-R3N SE05-N-50K FRS-420……等