1.方塊電阻范圍:10-3~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-4~2×106Ω-cm
3.測試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.2%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測試方式: 雙電測量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10.選購功能: 選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺
11.測試探頭: 探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針
智能型雙電測四探針測試儀應(yīng)用領(lǐng)域
覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試智能型雙電測四探針測試儀適用范圍
硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件,導(dǎo)電薄膜(ITO導(dǎo)電膜玻璃等),金屬膜,導(dǎo)電漆膜,蒸發(fā)鋁膜,PCB銅箔膜,EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆,導(dǎo)電性糊狀物,導(dǎo)電性塑料,導(dǎo)電性橡膠,導(dǎo)電性薄膜,金屬薄膜, EMI 防護材料,導(dǎo)電性纖維,導(dǎo)電性陶瓷等,提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
測量范圍 | 電阻率:0.0001~2000Ω.cm(可擴展); 方塊電阻:0.001~20000Ω/□(可擴展); 電導(dǎo)率:0.0005~10000 s/cm; 電阻:0.0001~2000Ω.cm; |
可測晶片厚度 | ≤3mm |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺); |
恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示; |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機測量最大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
測試標(biāo)準(zhǔn) | 采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn),通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的電壓值,然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算出電阻值。儀器主機也可兼容RTS-4四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn),兩套軟件可同時使用。 |
軟件功能 | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
計算機通訊接口 | 并口,高速并行采集數(shù)據(jù)。 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無高頻干擾; 無強光直射; |
技 術(shù) 指 標(biāo) : | ||||||||||||||||||||||||||||
|
雙電測四探針測試儀 四探針測量儀型號:SN/RTS-5