-135℃ Water vapor cryopump
應(yīng)用原理:
在使用油擴散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理：將一個能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個數(shù)量級，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。
| 型號 | TH-135-3P | TH-135-5P | TH-135-7P | TH-135-10P | TH-135-12P | TH-135-15P |
| 壓縮機功率(KW) | 2.8 | 4.6 | 6.3 | 8.5 | 10.1 | 12.3 |
| 工作溫度（℃） | -100℃至-140℃ | |||||
| 抽氣速度（l/s） | 30600 | 51000 | 73000 | 101000 | 153000 | 250000 |
| 制冷量（W） | 300 | 500 | 1200 | 1800 | 2500 | 3500 |
| 冷凝管表面積(m2) | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 2. 0 |
| 冷凝管長度 | 8m,φ6mm | 10m,φ10mm | 12m,φ12mm | 14m,φ16mm | 24m,φ16mm | 40m,φ16mm |
| 預(yù)冷時間（min） | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤40 | ≤40 |
| 降溫時間（min） | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤7 |
| 除霜時間(min) | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
| 再降溫時間(min) | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤6 |
| 適用油擴散泵徑（mm） | ≤300 | ≤500 | ≤800 | ≤1000 | 雙路輸出 | 雙路輸出 |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷、水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | |
| 適用腔體直徑（mm） | ≤900 | ≤1300 | ≤1500 | ≤1700 | ≤2000 | |
