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氮氣烘箱，掩膜板烘箱目的是用加熱蒸發(fā)的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶劑，增強光阻與掩膜版基板之間的粘附力，并使光阻起到固化的作用；同時，涂覆光阻后的掩膜版在曝光顯影后也需要做顯影后烘，目的是祛除掩膜版上多余的水分、殘留溶劑和消除駐波效應(yīng)。

更新時間:2024-11-22

該公司產(chǎn)品分類：上海雋思實驗儀器有限公司

hmds烘箱用真空泵，hmds系統(tǒng)無油泵為無油、緊湊型、噪音小的高性能真空泵。idp 泵采用單面渦輪設(shè)計，可通過簡單的工具直接執(zhí)行 15 分鐘的維護操作。高泵送速度和緊湊的尺寸使其成為研究，分析儀器和實驗室市場中許多應(yīng)用的理想選擇。

更新時間:2024-11-22

該公司產(chǎn)品分類：上海雋思實驗儀器有限公司

堅膜烘箱百潔凈烘箱氮氣無塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

更新時間:2024-11-22

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氮氣潔凈烘箱光刻膠無塵烘箱前烘氮氣烘箱百級烤箱在勻膠結(jié)束后，使用溫度95°烘5min來提高光刻膠的致密性以及與晶圓的粘附性。

更新時間:2024-11-22

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hmds用烘箱，hmds真空涂膠系統(tǒng)適用行業(yè)：mems、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，sic(碳化硅)、gan(氮化鎵)、zno（氧化鋅）、gao（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

更新時間:2024-11-22

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水冷無氧化烘箱，高溫?zé)o氧烘箱降溫方式：風(fēng)冷+水冷輔助降溫氧含量：氧含量≤20ppm 操作方式：人機界面+plc，一鍵運行

更新時間:2024-11-22

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