NVP81平膜式高頻響壓力傳感器采用微機械加工技術制作的集成硅膜片作為敏感元件,其尺寸小,而且硅具有優(yōu)良的彈性力學特性,再加上采用了齊平封裝結(jié)構,使得壓力傳感器的動態(tài)頻率響應極高(可達到1MHz),可獲得低至零頻、高至接近固有頻率的寬頻帶響應,而且有低至微秒級的上升時間,綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器。該系列傳感器適用于軍事工程、化爆試驗、石油勘采與測井、材料、力學、土木工程學、巖土力學、創(chuàng)傷醫(yī)學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,是動態(tài)壓力波形測量的?蛇x筆形沖擊波型壓力傳感器。
動態(tài)頻響 | 1MHz | ||||
測量介質(zhì) | 與硅、不銹鋼、玻璃兼容的各種液體或氣體 | ||||
量 程 | 0~10KPa……60MPa | ||||
非線性 | 0.05%FS | 0.15%FS | 0.3%FS | 0.5%FS | |
遲滯、重復性 | 0.03%FS | 0.1%FS | 0.2%FS | 0.3%FS | |
精 度 | 0.1%FS | 0.2%FS | 0.5%FS(典型) | 1%FS | |
過載壓力 | ≥200%FS | ||||
穩(wěn)定性 | 優(yōu)于0.2%FS/年 | ||||
電氣特性 | |||||
滿量程輸出 | 80mV±20mV | ||||
零點輸出 | ≤±2mV | ||||
供 電: | 1.5mA,5mA或9V | ||||
電氣接口 | 自帶鎖緊結(jié)構,或其它 | ||||
絕緣電阻 | 100MΩ(50VDC) | ||||
環(huán)境特性 | |||||
零點溫度系數(shù) | 0.03%FS/℃(典型) | ||||
靈敏度溫度系數(shù) | 0.03%FS/℃(典型) | ||||
補償溫度范圍 | 0~70℃ | -25~50℃ | 25~125℃ | 25~175℃ | |
存儲溫度范圍: | -40℃~125℃ | ||||
相對濕度 | %0~85% | ||||
結(jié)構性能 | |||||
壓力接口 | M20×1.5,M12×1,或其它 | ||||
殼體及接口材料 | 1Cr18Ni9TI | ||||
重量 | 約150g |
應用:⊙OEM定制 ⊙工廠自動化 ⊙大氣壓力 ⊙試驗過程監(jiān)測⊙和機翼動力學 ⊙火箭測試⊙氣體測量 ⊙風洞⊙過程控制 ⊙供暖,通風,制冷,⊙生物醫(yī)療測試 ⊙船舶,發(fā)動機,實驗機⊙航空測試臺 ⊙油井,校驗裝置⊙軍事 ⊙航天
產(chǎn)品詳介:
EPX
電氣連接:電纜/Integeral Connector 類型:表壓、絕壓 特點:微型螺紋,高頻響應(450KHz) 供電電源:10VDC(標準) 輸出:15mV to 125 mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5,10,15,25,50,100,250,500,1000,2500,5000(PSI) 典型應用:航空、發(fā)動機、試驗設備
EPXM
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:小螺紋、高精度、放大輸出 供電電源: 視輸入而定 輸出:9mV 或 5V 精確度:0.1% FSO 工作溫度范圍:-40℃~125℃ 量程:0-150,200,300,500,1000,1500,2000,3000,5000(PSI) 典型應用:航天、試驗設備、發(fā)動機
EPE
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:低壓,高靈敏度,超小型 供電電源:10VDC(標準) 輸出: 120 mV ~ 400 mV 精確度:0.75-1.5% FS 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-2, 5(PSI) 典型應用:風洞、火箭測試、爆炸測試、試驗過程監(jiān)測
EPI
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:小型、高頻響應(420KHz) 供電電源:5VDC 輸出:15mV ~ 100 mV 精確度:0.25-1% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5, 10, 15, 25, 50, 75, 100, 250, 500(PSI) 典型應用:風洞,生物醫(yī)療測試,和機翼動力學,飛行測試
EPIH
電氣連接:電纜 類型:表壓 特點:超小型,高頻響應(1.7 MHz) 供電電源:5VDC 輸出: 12mV to 75 mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5, 10, 15, 25, 50, 75, 100, 200, 300(PSI) 典型應用:航天,風洞,爆炸,生物醫(yī)療,機翼動力學,高頻測試
EPXO
電氣連接:電纜 類型:表壓 特點:高壓,放大輸出 供電電源:視輸入而定 輸出: 9mV 或 5V 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~125℃ 量程:0-150,200,300,500,1000,1500,2000,3000,5000,7500(PSI) 典型應用:液壓系統(tǒng),航空,高性能測試設備
EPB
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:小型、高量程、高精度、高頻響應(400KHz) 供電電源:10VDC(標準) 輸出:0~125mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5,10,25,50,100,250,500,1000,2500,5000(PSI) 典型應用:發(fā)動機、實驗機、風洞、飛行器
EPL
電氣連接:電纜 類型: 表壓、絕壓 特點: 超小型表面貼裝,扁平結(jié)構,高頻響應(350KHz) 供電電源:10VDC(標準) 輸出:0~125mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5,10,25,50,100,250,500,1000,2500,5000(PSI) 典型應用:風洞、火箭測試、爆炸測試、試驗過程監(jiān)測
EPN
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:扁平結(jié)構 供電電源:15VDC(標準) 輸出:0~350mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5,15,25,50,100,250,500,1000,2500,3500,5000(PSI) 典型應用:試驗過程監(jiān)測,風洞、航空
產(chǎn)品介紹
壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應制成的。是將壓力轉(zhuǎn)換為電信號輸出的傳感器,壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件(或應變計)組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應變,然后由位移敏感元件或應變計轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關系的電信號。正壓電效應是指:當晶體受到某固定方向外力的作用時,內(nèi)部就產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,同時在某兩個表面上產(chǎn)生符號相反的電荷;當外力撤去后,晶體又恢復到不帶電的狀態(tài);當外力作用方向改變時,電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。
產(chǎn)品特點 靈敏度高,溫度范圍寬。 應用范圍 高頻動態(tài)壓力測量。 技術指標
量程 | 0MPa~2.5MPa,0MPa~4MPa | ||
靈敏度 | (800~1200)pC/MPa | 工作溫度 | -40℃~+125℃ |
過載能力 | ≤120%F.S | 抗沖擊 | 4500g |
固有頻率 | ≥200kHz | 接口 | 螺紋M12×1 |
上升時間 | ≤3μs | 探頭直徑 | Φ8×4mm |
非線性 | ≤0.5% | 輸出信號 | L5 |
特點 | 靈敏度高、溫度范圍寬 | 應用領域 | 高頻動態(tài)壓力測量 |
CYG400高頻動態(tài)壓力傳感器
產(chǎn)品綜述:
在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、材料、力學、土木工程學、巖土力學、創(chuàng)傷醫(yī)學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、值,這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應頻帶,以足夠的動態(tài)測壓精度,本系列產(chǎn)品即是為此設計開發(fā)的,它利用微機械加工技術使得集成硅膜片尺寸小,固有頻率高;有優(yōu)良的彈性力學特性,綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器,是動態(tài)測壓的。
產(chǎn)品型號:
一、CYG401型(高頻壓力傳感器)
1、特 點:采用感壓膜片齊平封裝設計,消除管腔效應,因而傳感器頻響極高。
2、量程及動態(tài)特性:
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時間 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介質(zhì)溫度: -40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬時超高溫2000℃/20ms
4、補 償 溫 度: J級-10℃~60℃;M級0℃~50℃。亦可按用戶要求特訂。
5、抗 光 敏 感: J級可加強抗紅外及可見光;M級抗可見光
6、精 度 檔 級:
指標 檔級 | 零點時漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復性、遲滯 %FS |
JA | 0.1 | 3 | 3 | 0.5 | 0.3 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.2 | 5 | 5 | 0.5 | 0.3 |
MB | 0.15 | 3 | 3 | 0.2 | 0.2 |
1、特 點:本產(chǎn)品為國家攻關項目,采用耐高溫S0I型感壓膜片齊平封裝設計,消除管腔效應。
2、量程及動態(tài)特性:
量 程 MPa | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時間 μs | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介質(zhì)溫度:-40℃~200℃,特殊措施下可耐瞬時超高溫2000℃/100ms
4、補 償 溫 度:-10℃~150℃,亦可按用戶要求特訂
5、抗 光 敏 感:抗紅外及可見光
6、精 度 檔 級:
指標 檔級 | 零點時漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復性、遲滯 %FS |
JA | 0.1 | 5 | 5 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
三、CYG404型(特種高溫動態(tài)壓力傳感器)
特 點:本產(chǎn)品為特殊設計專用產(chǎn)品,國家863成果,采用耐高溫SOI力敏元件,及特殊結(jié)構設 計,
從而傳感器仍有較高頻響的同時,具有耐平衡高溫和瞬時超高溫的能力,需特殊訂貨。
量 程:0~10MPa至0~60MPa全量程覆蓋。
固有頻率:大于20KHz
工作介質(zhì)溫度:耐平衡高溫220℃、瞬時高溫2000℃/1000ms(或協(xié)商特訂)
四、CYG406型(動態(tài)微壓傳感器)
特 點:采用微機械加工微型壓阻力敏芯片,及盡量避免管腔效應影響,同時又具有較好抗光影響及介
質(zhì)導電性影響的準齊平結(jié)構設計,因而傳感器在低微壓量程有較優(yōu)良的動態(tài)頻率特性、靜態(tài)特
性及寬的介質(zhì)適應能力
量程及動態(tài)特性:
量 程 KPa | 1 | 4 | 10 | 25 | 10 | 250 | 600 |
固有頻率 KHz | >5 | >5 | >20 | >100 | >150 | >300 | >300 |
上升時間 μs | 5 | 5 | 2 | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
工作介質(zhì)溫度:-40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬時超高溫2000℃/20ms。
補 償 溫 度:J級-10℃~60℃;M級0℃~50℃。亦可按用戶要求特訂。
指標 檔級 | 零點時漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復性、遲滯 %FS |
JA | 0.15 | 3 | 3 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 2 | 2 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.3 | 5 | 5 | 0.5(1.0*) | 0.3 |
MB | 0.2 | 3 | 3 | 0.2(0.5*) | 0.2 |
注:*為4MPa以下量程參數(shù)
五、CYG409型(水冷高頻高溫壓力傳感器)
特 點:本產(chǎn)品為國家創(chuàng)新基金項目成果,采用SOI高溫壓阻力敏芯片,齊平封裝,消除管腔效應,
同時采用強制水冷結(jié)構,使得傳感器在高溫工況下仍具有極優(yōu)良的高頻動態(tài)特性。
量程及動態(tài)特性:
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時間 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
氣體介質(zhì)溫度:J級20℃~450℃;M級20℃~300℃。
供電電源:
傳感器輸出信號模式的產(chǎn)品,請用恒流源供電,供電電流大小參考產(chǎn)品卡片。無恒流源使用條件的用戶,可在訂貨時說明恒壓供電電壓,我方可在傳感器中加裝恒流源,建議使用電壓為15VDC或12VDC。
CYG1400高頻動態(tài)壓力變送器
各傳感器型號均可配置下列寬帶信號處理器,構成寬帶動態(tài)壓力變送器。傳感器與信號處理器一體
式結(jié)構訂貨代號:YT;分體式結(jié)構訂貨代號:FT。凡訂購動態(tài)壓力變送器在原傳感器型號三位前加“1”,
例:CYG401高頻動態(tài)壓力傳感器,CYG1401 YT高頻動態(tài)壓力變送器。
寬帶信號處理器,按帶寬: 0~20KHz 訂貨代號MF
0~100KHz 上升時間1us, 訂貨代號HF
0~200KHz 上升時間0.5us, 訂貨代號UF
寬帶信號處理器一律要求用戶采用±15V線性電源供電,推薦采用朝陽軍用電源。
動態(tài)壓力變送器輸出信號模式:0~5V(可按用戶要求的電壓輸出模式特訂)
注意:動態(tài)壓力變送器的寬帶信號處理器單元只能承受-20℃~100℃溫度,高溫動態(tài)壓力變送器使用時
應注意合理使用。
六、CYG1411型(自由場高頻動態(tài)壓力變送器)
特 點:本系列是專為爆破力學實驗設計的無反射自由場動態(tài)壓力傳感器,采用MEMS壓阻芯片為敏感
元件,因而具有比壓電傳感器更高的固有頻率,快一個數(shù)量級的上升時間,上升時間亞微秒
量級1~0.2μs。及從零頻率開始的極寬頻帶響應,且信噪比極好。本產(chǎn)品內(nèi)裝寬帶放大器,
可輸出0~2V或0~5V的信號。
量 程:0~2MPa至0~60MPa全量程覆蓋
固有頻率:200KHz~1MHz 可用帶寬:0~1/3固有頻率
精度等級:
指標 檔級 | 精度等級 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 零位短期時漂 %FS/24h | 穩(wěn)定性 %FS/1年 |
JA | 1.0 | 5 | 5 | 0.2 | 0.5 |
JB | 0.5 | 3 | 3 | 0.15 | 0.3 |
JC | 0.25 | 1.5 | 1.5 | 0.1 | 0.1 |
美國M102A系列超低溫動態(tài)壓力傳感器(-253℃):
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美國M102A系列超低溫動態(tài)壓力傳感器(-253℃)美國M102A系列超低溫動態(tài)壓力傳感器(-253℃)
美國M105系列小型動態(tài)壓力傳感器:
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美國M112、116系列高溫壓力傳感器 動態(tài)壓力傳感器美國M112、116系列高溫壓力傳感器 動態(tài)壓力傳感器:(315℃)
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美國PCB M132系列超微型高頻響爆炸壓力傳感器:
M132系列超微型高頻響沖擊波/激波/爆炸壓力傳感器 | |||||||||||||||||||
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M132系列高頻響沖擊波/激波/爆炸微型壓力傳感器:
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PCB小型壓力傳感器PCB高頻動態(tài)壓力傳感器 (沖擊波/激波/爆炸)
PCB小型壓力傳感器PCB高頻動態(tài)壓力傳感器 (沖擊波/激波/爆炸)
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測量范圍 | -100KPa~0~10KPa…200KPa...1MPa...100MPa |
過載能力 | 2倍滿量程壓力(其中100MPa的產(chǎn)品過壓為1.1倍滿量程壓力) |
壓力類型 | 表壓、絕壓、負壓 |
測量介質(zhì) | 與316不銹鋼兼容的氣體或液體 |
綜合精度 | ±0.1 %FS、±0.25%FS、±0.5%FS、±0.75%FS |
固有頻率 | 150KHz~2MHz |
變送器頻響 | 0~1KHz~200KHz |
上升時間 | 0~1mS~2μS |
長期穩(wěn)定性 | 典型:±0.1%FS/年、最大:±0.2%FS/年 |
工作溫度 | -40℃~85℃、特殊可為-10℃~200℃ |
零點溫度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
靈敏度溫度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
供電范圍 | 變送器供電:12~36VDC(一般24VDC)、±15VDC開關電源或線性電源 |
傳感器供電:恒流:1mA~4mA;恒壓:5VDC~24VDC | |
信號輸出 | 變送器輸出:4~20mA、1~5 V DC、0~10VDC、 0~5V DC |
傳感器輸出:1.5mV~15mV/V | |
負載電阻 | ≤(U-12)/0.02Ω |
分辨率 | 理論上無限小、通常1/10000 |
絕緣電阻 | 100MΩ,500VDC |
外殼防護 | 電纜線為IP67和接插件連接為IP65 |
振動誤差 | ≤±0.01%FS(X、Y、Z軸,200Hz/g) |
接口及殼體 | 不銹鋼1Cr18Ni9Ti |
傳感器膜片 | 不銹鋼316L、硅 |
壓力類型 | 表壓-G、絕壓-A、負壓-L | |
測量范圍 | 0~ X KPa、 0~ X MPa、 0~ X 壓力單位 | |
項 目 | 代 碼 | 參 數(shù) |
頻響范圍 | H1 | 0~1KHz~3KHz |
H2 | 0~10KHz~20KHz | |
H3 | 0~100KHz~200KHz | |
綜合精度 | 1 | ±0.25%FS |
2 | ±0.5%FS | |
3 | ±0.75%FS | |
信號輸出 | E | 4~20mA |
V1 | 0~5VDC | |
V2 | 0~10VDC | |
V3 | 1~5VDC | |
過程連接 | N1 | M20x1.5 外螺紋 |
N2 | G1/4外螺紋 | |
N3 | G1/2外螺紋 | |
N4 | 客戶定制 | |
電氣連接 | T1 | 赫斯曼插頭 |
T2 | 航空插頭 | |
T3 | 電纜出線 | |
特殊定制 | F1 | 自由場(爆破專用) |
F2 | 平衡溫度200℃,瞬時可達2000℃ | |
選型舉例:AE-H-G-(0-1MPa)-H1-2-E-N1-T3 |