被測(cè)氣體分別流經(jīng)兩個(gè)層流區(qū),一路通過(guò)主流量管道,另一路通過(guò)毛細(xì)測(cè)量管。
兩個(gè)管路的設(shè)計(jì)保證流體處于層流狀態(tài),因此兩個(gè)管路流量比是恒定的。
兩個(gè)精密的溫度感應(yīng)繞組在測(cè)量管上被加熱,當(dāng)有流量產(chǎn)生時(shí),被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。
測(cè)量繞組的電阻值與瞬時(shí)流量成線性比例關(guān)系,采用惠斯頓電橋來(lái)檢測(cè)測(cè)量繞組的電阻變化。
根據(jù)被測(cè)氣體的質(zhì)量流量,輸出0-5VDC或者4-20mA信號(hào)。
經(jīng)過(guò)兩個(gè)層流區(qū)的氣體混合后流過(guò)具體特定孔徑的電磁比例閥,質(zhì)量流量測(cè)量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng),使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。
在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會(huì)影響流速。參數(shù)規(guī)格:
產(chǎn)品名稱:氣體流量控制器 精度: 精度%FS
型號(hào) GFC17,37,47 GFC57,67,77
流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1.5% ±3%
可選精度%FS
型號(hào) GFC17 GFC37,47,57,67,77
流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%
校準(zhǔn):標(biāo)況【14.7psia(101.4kpa),70℉(21.1℃)】
重復(fù)性:±0.25%滿里程、
響應(yīng)時(shí)間:在滿里程的25-100%范圍內(nèi),2秒內(nèi)達(dá)到2%精度
溫度系數(shù):0.05%滿里程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿里程/psi(0.07bar)
推薦氣體壓力:25psig(1.73bars)
最大氣體壓力:GFC17,37,47最大1000psi(70bars).GFC57,67,77最大500psig(34.5bars)
量程比:40:1
最大壓差:GFC17/37/57/67/77 50psi(3.4bars),GFC47 40psi(2.7bars)
氣體和周圍溫度:32℉-122℉(0℃-50℃),14℉-122℉(-10℃-50℃),干燥氣體
方位靈敏度:水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度;標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置
輸出信號(hào):線性0-5Vdc(3000ohms最小負(fù)載阻抗);線性4-20mA(500ohms最大回路電阻)最大噪聲±20mV
控制信號(hào):遠(yuǎn)程設(shè)定模式:模擬0-5Vdc或4-20mA;NPN兼容清洗/關(guān)閥
連接:GFC17and37:1/4"卡套連接
可選6mm,1/4VCR,3/8或1/8卡套
GFC47:3/8"卡套
GFC57:3/8"卡套
GFC67:1/2"卡套
GFC77:3/4"FNPT.可選:3/4"卡套
泄漏率:氦氣泄漏率1*109sml/s
輸入電源:+12Vdc,800mA;可選+24Vdc,650mA
回路保護(hù):電路板內(nèi)置極性保護(hù),自動(dòng)恢復(fù)電阻保護(hù)電源過(guò)載輸入
顯示:3-1/2數(shù)字LCD,0.5"英寸高字符
CE認(rèn)證:EN55011class1,classB;EN50082-1
上,樼麅x表的技術(shù)結(jié)晶-微小流量的測(cè)量
1.微小氣體測(cè)量方案,選用進(jìn)口品牌VFC101型,全不銹鋼設(shè)計(jì),接口采用螺紋連接和軟管兩種連接方式,測(cè)量管徑DN3-DN20,測(cè)量范圍最小可以達(dá)到5SCCM-25SLM測(cè)量精度可達(dá)0.8,可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)通訊,在實(shí)驗(yàn)室和工廠均有成熟的案例。 2.微小液體測(cè)量方案,采用上,樼麅x表(www.lkmeter.com)的品牌LKEF電磁流量計(jì),最小特制管徑達(dá)到DN10,最小流量范圍0.0064m3/H,管道內(nèi)襯采用聚氨酯橡膠,的避免了普通氯丁橡膠在小管徑易脫落的缺陷,針對(duì)小管徑低流速的特點(diǎn),采用計(jì)算機(jī)精確對(duì)比法,按照客戶指定的流量范圍特殊標(biāo)定流量,精度可達(dá)到0.5%,上述小管徑測(cè)量方式在合肥臣僚化工有限公司得到的試用,使客戶的成品合格率提高了5個(gè)百分點(diǎn),得到了客戶的好評(píng)。 3.微流速解決方案,在客戶部分流速0.003M/S,普通的流量計(jì)已不能顯示數(shù)據(jù),上,樼麅x表公司(www.lkmeter.com)的LKUF超聲波流量計(jì),采用鎧裝式磁性探頭,特別處理了表面,加大探頭功率,采用進(jìn)口TDC的芯片,加快芯片處理速度,流速可以顯示0.0026M/S,最小管徑可做到DN15,此類應(yīng)用廣泛的應(yīng)用于消防水檢漏和小流量報(bào)警系統(tǒng)中,已在各石油化工企業(yè)消防部隊(duì)和海軍后勤基地得到大量的應(yīng)用。 |
上,樼麅x表的技術(shù)結(jié)晶-微小流量的測(cè)量
1.微小氣體測(cè)量方案,選用進(jìn)口品牌VFC101型,全不銹鋼設(shè)計(jì),接口采用螺紋連接和軟管兩種連接方式,測(cè)量管徑DN3-DN20,測(cè)量范圍最小可以達(dá)到5SCCM-25SLM測(cè)量精度可達(dá)0.8,可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)通訊,在實(shí)驗(yàn)室和工廠均有成熟的案例。 2.微小液體測(cè)量方案,采用上,樼麅x表(www.lkmeter.com)的品牌LKEF電磁流量計(jì),最小特制管徑達(dá)到DN10,最小流量范圍0.0064m3/H,管道內(nèi)襯采用聚氨酯橡膠,的避免了普通氯丁橡膠在小管徑易脫落的缺陷,針對(duì)小管徑低流速的特點(diǎn),采用計(jì)算機(jī)精確對(duì)比法,按照客戶指定的流量范圍特殊標(biāo)定流量,精度可達(dá)到0.5%,上述小管徑測(cè)量方式在合肥臣僚化工有限公司得到的試用,使客戶的成品合格率提高了5個(gè)百分點(diǎn),得到了客戶的好評(píng)。 3.微流速解決方案,在客戶部分流速0.003M/S,普通的流量計(jì)已不能顯示數(shù)據(jù),上,樼麅x表公司(www.lkmeter.com)的LKUF超聲波流量計(jì),采用鎧裝式磁性探頭,特別處理了表面,加大探頭功率,采用進(jìn)口TDC的芯片,加快芯片處理速度,流速可以顯示0.0026M/S,最小管徑可做到DN15,此類應(yīng)用廣泛的應(yīng)用于消防水檢漏和小流量報(bào)警系統(tǒng)中,已在各石油化工企業(yè)消防部隊(duì)和海軍后勤基地得到大量的應(yīng)用。 |
當(dāng)入口壓力條件變化和出口壓力保持恒定時(shí)提供穩(wěn)定流速,可用最高流量為1.6 l/min。 與1/8" 外部管路接頭一起提供,也可選擇其它接頭。 可以安裝標(biāo)準(zhǔn)旋鈕、旋鈕式流量數(shù)字顯示盤(3組或4組),或帶螺絲刀可調(diào)鈕。 最大入口壓力:200 psi。
流量 / 分鐘 | 鋁質(zhì) Viton 隔膜 貨號(hào) | 鋁質(zhì) 不銹鋼隔膜 貨號(hào) | 不銹鋼材質(zhì) Viton 隔膜 貨號(hào) | 不銹鋼材質(zhì) 不銹鋼隔膜 貨號(hào) |
帶標(biāo)準(zhǔn)控制旋鈕 | | | | |
0 – 200 mL | FC30AV1K | FC30AS1K | FC30SV1K | FC30SS1K |
0 – 300 mL | FC30AV2K | FC30AS2K | FC30SV2K | FC30SS2K |
0 – 800 mL | FC30AV3K | FC30AS3K | FC30SV3K | FC30SS3K |
0 – 1.6 L | FC30AV4K | FC30AS4K | FC30SV4K | FC30SS4K |
帶三列數(shù)字顯示盤 | | | | |
0 – 200 mL | FC30AV1S3 | FC30AS1S3 | FC30SV1S3 | FC30SS1S3 |
0 – 300 mL | FC30AV2S3 | FC30AS2S3 | FC30SV2S3 | FC30SS2S3 |
0 – 800 mL | FC30AV3S3 | FC30AS3S3 | FC30SV3S3 | FC30SS3S3 |
0 – 1.6 L | FC30AV4S3 | FC30AS4S3 | FC30SV4S3 | FC30SS4S3 |
帶四列數(shù)字顯示盤 | | | | |
0 – 200 mL | FC30AV1S4 | FC30AS1S4 | FC30SV1S4 | FC30SS1S4 |
0 – 300 mL | FC30AV2S4 | FC30AS2S4 | FC30SV2S4 | FC30SS2S4 |
0 – 800 mL | FC30AV3S4 | FC30AS3S4 | FC30SV3S4 | FC30SS3S4 |
0 – 1.6 L | FC30AV4S4 | FC30AS4S4 | FC30SV4S4 | FC30SS4S4 |
帶螺絲起子可調(diào)操作器 | | | | |
0 – 750 mL | FC31AV1 | |
主要技術(shù)指標(biāo)
質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))流量出廠通常用氮?dú)猓∟2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位為:mL/min(毫升/分鐘);(SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
L/min (升/分鐘)。 (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為:溫度----273.15K(0℃);
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) | 項(xiàng)目 | S49 32/MT |
1 | 流量規(guī)格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10)L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
4 | 準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
5 | 線性 | ±1.5%F.S |
6 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
7 | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤8秒(T95) |
8 | 工作壓差范圍 | (50~300)kPa; (100~300)kPa(10L/min) |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ |
11 | 材料 | 不銹鋼316L |
12 | 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 | Viton®, EPDM, 或其他由用戶指定 |
13 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR;蚱渌捎脩糁付 |
15 | 輸入輸出信號(hào) | (0~+5.00)V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA) |
16 | 供電電源 | ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) |
17 | 外形尺寸mm | 130(寬)×102(高)×28(厚) |
18 | 重量kg | 0.8 |
S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn):
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀,可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確計(jì)量。
S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))主要應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制;
分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制;
各種形式的真空鍍膜設(shè)備;
環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備;
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制;
特種材料表面處理裝置與燃燒控制;
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。
微小氣體流量計(jì) 低耐壓型質(zhì)量
D-600CD數(shù)字型質(zhì)量流量計(jì)
特性:D-600CD 產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC);一體顯示,也可以直接連電腦顯示;數(shù)字,模擬輸入輸出;具有多氣體多量程,高精度,極低零漂,軟起動(dòng)功能及強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式:1、1 模擬輸入 :外部 0~5VDC或4~20 mA ;可選內(nèi)部物理量(0~5VDC或4~20mA 狀態(tài)下的% 、滿量程)輸入1、2 數(shù)字輸入: PC上位機(jī)軟件設(shè)定(RS232 或者RS485)2、兩種輸出方式:2、1 模擬輸出 : 0~5VDC或4~20 mA ;2、2 數(shù)字輸出:通過(guò) RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)
D-600MD數(shù)字型質(zhì)量流量控制計(jì)主要指標(biāo):流量規(guī)格(N2):可選, (0~1,5,10,20,50,100,150,200)SCCM;
(0~1,5,10,20,30)SLM
準(zhǔn)確度: ±1%F.S.線性: ±0.5%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.響應(yīng)時(shí)間: ≤1Sec工作壓差范圍: (0.05~0.3)MPa最大耐壓: 10Mpa工作環(huán)境溫度: 5~65℃電氣連接: 8 針(小型圓插頭)輸入/輸出信號(hào) Digital:RS232/RS485 ; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA電源: 6~16VDC ;1A標(biāo)準(zhǔn)接頭: Swagelokφ6;Swagelok 1/4″;VCR1/4″
產(chǎn)品實(shí)拍圖:
SFC4000技術(shù)規(guī)格:-高精度:設(shè)定點(diǎn)的0.8%(10%~100%滿量程) -超快響應(yīng):<100ms -量程范圍:0~0.05/0.5/2/5/20 ln/min-數(shù)字化標(biāo)定&溫度補(bǔ)償 -標(biāo)準(zhǔn)接口(0~5V) -標(biāo)準(zhǔn)供電電壓:24V -標(biāo)準(zhǔn)的機(jī)械接口:G1/4”-提供NIST-traceable標(biāo)定證書
應(yīng)用領(lǐng)域:-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE)-生物技術(shù) -氣相色譜分析-激光焊機(jī) -過(guò)程自動(dòng)化-真空鍍膜 -燃料電池