型號:RL025064RBT-6000-F磷化氫泄漏報警器 | 型號:RL025066BF90便攜式磷化氫檢測儀 | 型號:RL0264511ppm防爆型硫化氫探測器 |
磷化氫泄漏報警器的產(chǎn)品特點:1.高速cpu處理器,能夠快速地處理系統(tǒng)任務(wù),保證系統(tǒng)的可靠性;2.CD液晶屏幕,可實時顯示探測器的濃度、狀態(tài);3.使用數(shù)字信號傳輸,可靠性高;4.2組可編程繼電器,無源常開、常閉觸點,觸點容量240V/7A;5.采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,便于系統(tǒng)維護(hù);6.可通過計算機實現(xiàn)本地監(jiān)控,探測器運用狀態(tài)數(shù)據(jù)可存儲;RBK-6000-2磷化氫泄漏報警器的技術(shù)參數(shù):與RBT-6000-F、RBT-6000-FX點型氣體探測器配套使用工作電壓:AC220V±10%使用溫度:-20℃~60℃使用濕度:≤95%RHLCD液晶屏幕顯示:%LEL/ppm/VOL%報警系統(tǒng):聲光報警報警音量:≥75dB傳輸距離:≤1200m;體 積:250mm(L)×240mm(W)×90mm(H)
欄目頁面:http://www.runlian365.com/chanpin/3209.html固定式磷化氫檢測儀來源網(wǎng)址:http://www.runlian365.com/chanpin/did-25064-pid-3209.htmlRBT-6000-F磷化氫泄漏報警器型號:RL025066BF90便攜式磷化氫檢測儀
產(chǎn)品名稱: 便攜式磷化氫檢測儀產(chǎn)品特點: BF90具有非常清晰的大液晶顯示屏,聲光報警提示,保證在非常不利的工作環(huán)境下也可以檢測危險氣體并及時提示操作人員預(yù)防 【詳細(xì)說明】
產(chǎn)品特性
*采用進(jìn)口傳感器,結(jié)合先進(jìn)的微處理器技術(shù),測量精度高,響應(yīng)速度快,穩(wěn)定性好。
*輸出信號 用戶可根據(jù)實際要求而定:
1)標(biāo)配三線制4-20mA模擬信號輸出
2)標(biāo)配繼電器輸出,可外接聲光報警及現(xiàn)場聯(lián)動控制。
3)RS485總線輸出(選配)
4)兩線制4-20mA模擬量信號輸出(選配)
*可兼容各種控制報警器、PLC、DCS等控制系統(tǒng),實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)視。
*防爆設(shè)計,快速,可信,穩(wěn)定;防爆等級為Ex dⅡCT6。
規(guī)格參數(shù)
檢測氣體 | 硫化氫(H2S) |
量程 | 0-100ppm-1000ppm(未列出量程可訂制) |
分辨率 | 1ppm |
精度 | ±5%F.S |
響應(yīng)時間 | ≤20秒 |
傳感器類型 | 電化學(xué) |
采樣方式 | 擴(kuò)散式采樣 |
輸出信號 | 4-20MA、RS485,繼電器,無線數(shù)字(可選) |
電 源 | 12-30V DC |
電纜規(guī)格: | 型號RVVP3×1.0mm2 |
信號傳輸距離: | ≥1000米 |
主體材質(zhì) | 壓鑄鋁 |
顯示方式 | 數(shù)碼管顯示、LCD(選配) |
電氣接口 | G1/2陽螺紋防爆軟管(可轉(zhuǎn)接其它接口) |
安裝方式 | 貼墻安裝、抱管安裝 |
工作溫度 | -20~50℃(特殊要求根據(jù)需要而定) |
工作濕度 | 0-95%RH |
防爆等級 | Ex dⅡCT6 |
防護(hù)等級 | IP65 |
電源 | 12-30VDC |
工作時間 | 24小時工作 |
尺寸 | 183×143×107mm |
重量 | ≤1.3kg |
GT-03一氧化碳?xì)怏w變送器
該變送二次儀表配合使用。變送器將氣體濃度值以4~20mA電流形式輸送給二次儀表,后者以數(shù)字或圖形方式顯示出來,并可在二次儀表上設(shè)置報警值,當(dāng)氣體濃度超過設(shè)置報警值時,可發(fā)出聲光報警信號。
型號 | 被測氣體 | 測量范圍 | 最大量程 | 誤差 | 響應(yīng)時間 | 傳感器壽命 |
GT-01 | O2 | 0-25%VOL | 30%VOL | ≤0.5% | ≤30秒 | 1~2年 |
GT-02 | 可燃?xì)?/TD> | 0-100%LEL | 0-100%LEL | ≤8% | ≤30秒 | 2~3年 |
GT-03 | CO | 0-1000PPm | 2000PPm | ≤5% | ≤35秒 | 2~4年 |
GT-04 | H2S | 0-200PPm | 1000PPm | ≤8% | ≤40秒 | 2~3年 |
GT-05 | H2 | 0-1000PPm | 2000PPm | ≤5% | ≤35秒 | 2~3年 |
GT-06 | CL2 | 0-20PPm | 250PPm | ≤5% | ≤60秒 | 2~3年 |
iTrans氣體變送器 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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測量范圍 | 0-300 ppm |
分辨率 | 0.1mA |
供電電壓 | 24VDC隔離供電 |
功耗 (@12VDC) | 90mA(平均值); 100mA(峰值) |
線性輸出(標(biāo)準(zhǔn)) | 4─20mA |
精度 | ±5%滿量程 |
重復(fù)性 | ±5%滿量程 |
預(yù)熱時間 | 5分鐘 |
穩(wěn)定時間 | <2分鐘 |
響應(yīng)時間 | <60秒 T90符合EN50291要求 |
貯存溫度 | -25∽+60℃ |
工作溫度 | -10─50℃ |
相對濕度 | 20∽90%RH / 40℃ |
工作壓力 | 90─110KPa |
空氣速度 | <0.1-0.5m/S |
安裝方向 | 壁掛式安裝 |
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有毒氣體種類 | 濃度范圍 | 型 號 |
硫 化 氫 | 0-100 | AW-ET-H2S |
一氧化碳 | 0-1000 | AW-ET-CO |
氯 氣 | 0-50 | AW-ET-CL2 |
氨 氣 | 0-100 | AW-ET-NH3 |
二氧化硫 | 0-100 | AW-ET-SO2 |
氫 氰 酸 | 0-100 | AW-ET-HCN |
氯 化 氫 | 0-100 | AW-ET-HCL |
一氧化碳 | 0-100 | AW-ET-NO |
*氫氣H2 | 0-1000 | AW-ET-H2 |
**氧 氣 | 0-25% | AW-ET-02 |
注:*氫氣的檢測應(yīng)采用有毒氣體的檢測方式(三端化學(xué)方式)進(jìn)行檢測。**氧氣表濃度是指空氣中所含氧氣體積百分比
檢測氣 體 | 檢測 范圍 | 分辨率 | 重復(fù)性 | 推薦報警值 | |
一級報警 | 二級報警 | ||||
H2S | 0-100 | 1 | <2%F.S. | 10 | 30 |
SO2 | 0-100 | 1 | <2%F.S. | 5 | 10 |
CL2 | 0-50 | 0.1 | <2%F.S. | 1 | 2 |
CO | 0-1000 | 1 | <2%F.S. | 50 | 100 |
NH3 | 0-100 | 1 | <2%F.S. | 45 | 90 |
HCN | 0-100 | 1 | <2%F.S. | 10 | 20 |
HCL | 0-100 | 1 | <2%F.S. | 5 | 10 |
NO | 0-100 | 1 | <2%F.S. | 25 | 50 |
H2 | 0-1000 | 1 | <2%F.S. | 200 | 400 |
02 | 0-25% | 1% | <2%F.S. | 19% | 23% |
檢測原理:電化學(xué)式檢測方式:擴(kuò)散式輸出信號:4-2mA標(biāo)準(zhǔn)電流輸出 二段繼電器觸點輸出,觸點容量 24V/2A第二段可選工作方式:固定式連續(xù)監(jiān)測空氣中有毒氣體防爆方式:隔爆型防爆等級:Ex d llC T6
深圳市升康興電子科技有限公司氣體變送器產(chǎn)品甲烷氣體變送器|乙烷氣體變送器|丙烷氣體變送器|丁烷氣體變送器|乙炔氣體變送器|氨氣氣體變送器|甲苯氣體變送器|二甲苯氣體變送器|丙酮氣體變送器|天那水氣體變送器|甲醇?xì)怏w變送器|乙醇?xì)怏w變送器|氫氣氣體變送器|沼氣氣體變送器|天然氣氣體變送器|液化石油氣氣體變送器|丁酯氣體變送器|白電油氣體變送器檢測氣體:可燃?xì)怏w變送器測量原理:催化燃燒測量范圍:0—100%LEL測量精度:≤±3%FS響應(yīng)時間:≤60秒輸出信號:4—20mA(三線制) (最大負(fù)載500歐姆)報警方式:無源觸點輸出,觸點容量1A 24VDC傳輸距離:最大1500米(2.5平方毫米銅芯電纜)電 源:24VDC安裝方式:2”立柱安裝電器接口尺寸:G3/4”管螺紋防爆等級:Exd IIC T6外殼防護(hù)等級:≥IP65環(huán)境溫度:-40℃—+70℃環(huán)境濕度:15~95%RH
1 概述: 4888是一種催化燃燒型可燃?xì)怏w報警儀。它具有及強的零點穩(wěn)定型和很低的維護(hù)量。主要性能有:磁棒標(biāo)定,LCD顯示,就地繼電器等,適用于擴(kuò)散、管道安裝和取樣分析等。 1 特點: 該儀表采用磁棒標(biāo)定,無須打開變送器外殼,就地直接顯示濃度和儀表工作狀態(tài)?蓹z測傳感器的剩余壽命,顯示其衰減情況,以便及時進(jìn)行更換,并具有自動限制輸出功能,可防止開機和校驗時的誤報警。插入式傳感器和火焰捕捉器都能很容易地進(jìn)行清洗和更換。備有備用電池的存儲器EEPROM可防止斷電時校驗數(shù)據(jù)的丟失。 |
1 技術(shù)規(guī)格: 量 程:0-100%LEL 環(huán)境溫度:傳感器-40℃~93℃,變送器 -40℃~70℃ 環(huán)境溫度:0-90%RH,無冷凝 防護(hù)等級:IP66 傳 感 器:抗毒型插入式催化傳感器 電 源:18~30VDC(或8-18VDC)、最大功率為4.2W 輸出信號:4-20ma輸出、負(fù)載電阻800Ω或4-20ma隔離輸出(選項) 接 線:三線制 顯 示:3.5數(shù)字LCD 響應(yīng)時間:T50<10s,T90<30s 線 性:±3% LEL 重 量:±2% LEL 重 量:1.8Kg 防爆等級:Class I, Div.I, Groups BCD 認(rèn) 證:CSA, ISO9001 |
氣體變送器
一、 概述
GR3151GP系列小型化電容式壓力(差壓)變送器是我公司引進(jìn)國外技術(shù)和設(shè)備生產(chǎn)的新型變送器,關(guān)鍵原材料、元器件和零部件均選用進(jìn)口,整機經(jīng)過嚴(yán)格組裝和測試,該產(chǎn)品具有設(shè)計原理、品種規(guī)格齊全、安裝使用簡便等特點。由于該機型外觀上融合了目前國內(nèi)最為流行,并被廣泛使用的兩種變送器(羅斯蒙特3051與橫河EJA)的結(jié)構(gòu)優(yōu)點,給使用者有耳目一新的感覺。同時與傳統(tǒng)的1151、CECC 等系列產(chǎn)品在安裝上可直接替換,有很強的通用性和替代能力。為適合國內(nèi)自動化水平的不斷提高和發(fā)展,該系列產(chǎn)品除設(shè)計小巧精致外,更推出具有HART現(xiàn)場總線協(xié)議的智能化功能。
二、 性能特點
1.1. 參考精度 1.1.1. 數(shù)字、智能:±0.1%校驗量程 1.1.2. 模擬、線性:±0.2%校驗量程 1.2. 穩(wěn)定性 1.2.1. 數(shù)字、智能:6個月,±0.1%URL 1.2.2. 模擬、線性:6個月,±0.2%URL 1.3. 環(huán)境溫度影響 1.3.1.數(shù)字、智能: 零點誤差:±0.2%URL/56℃ 總體誤差:±(0.2%URL+0.18%校驗量程)/56℃ 1.3.2.模擬、線性 零點誤差:±0.5%URL/56℃ 總體誤差:±(0.5%URL+0.5%校驗量程)/56℃ 1.4. 振動影響 在任意軸向上,200Hz下振動影響為±0.05%URL/g 1.5. 電源影響 小于±0.005%輸出量程/伏特。 1.6. 負(fù)載影響: 沒有負(fù)載影響,除非電源電壓有變化。 1.7. 電磁干擾/射頻干擾(EMI/RFI影響) 由20至1000MHz,場強達(dá)至30V/M時,輸出漂移小于±0.1%量程。 |
| 1.8. 安裝位置影響 零點漂移至多為±0.25kPa。所有的零點漂移 都可修正掉;對量程無影響。 2. 功能規(guī)格 2.1. 測量范圍:0-0.125-41370KPa 2.2. 零點與量程 2.2.1. 數(shù)字、智能 可用本機量程和零點按鈕調(diào)整,或用HART手操器遠(yuǎn)程調(diào)整 2.2.2. 模擬、線性 量程和零點連續(xù)可調(diào) 2.3. 零點正、負(fù)遷移 零點負(fù)遷移時,量程下限必須大于或等于-URL;零點正遷移時,量程上限必須小于或等于+URL。校驗量程必須大于或等于最小量程。 2.4. 輸出 數(shù)字、智能: 4~20mA DC,用戶可選擇線性或平方根輸出。數(shù)字過程變量疊加在4~20mA 信號上,可供采用HART協(xié)議的上位機使用 模擬、線性 |
三、技術(shù)參數(shù)
1 (不帶遷移,在標(biāo)準(zhǔn)工作條件下,充硅油,316不銹鋼隔離膜片)2精確度:+(-)0.075%3死區(qū):無(≤0.1%)4穩(wěn)定性:六個月內(nèi)不超過最大量程的基本誤差絕對值5振動影響:在任意軸向上,振動頻率為200Hz時,誤差為測量范圍上限的±0.05%/g6電源影響:小于輸出量程的0.0059%/V7負(fù)載影響:電源如果穩(wěn)定,則負(fù)載沒有影響8隔離膜片:316L不銹鋼,哈氏合金C-276,蒙乃爾合金,鈦或鉭9排氣/排液閥:316不銹鋼,哈氏合金C,蒙乃爾合金10法蘭和接頭:316不銹鋼,哈氏合金C或蒙乃爾合金11接觸介質(zhì)“0”形環(huán):橡膠,氟橡膠12灌充液:硅油或惰性油13螺栓:316L不銹鋼14電子殼體材料:低銅鋁合金15引壓連接線:法蘭NPT1/4中心距54mm;接頭NPT1/2或M20×1.5陽螺紋球錐面密封, 帶接頭時中心距50.8、54、57.2mm(NPT錐管螺紋符合GB/T12716-91)16信號線連接孔:G1/217重量:3.5kg(標(biāo)準(zhǔn)型,不包含選件)
GR1151/3351 | 壓力變送器 | |||||||
代碼 | 量程范圍KPa | |||||||
2 | 0-0.125~1.5 | |||||||
3 | 0-1.3~7.5 | |||||||
4 | 0-6.2~37.4 | |||||||
5 | 0-31.1~186.8 | |||||||
6 | 0-117~690 | |||||||
7 | 0-345~2068 | |||||||
8 | 0-1170~6890 | |||||||
9 | 0-3450~20680 | |||||||
0 | 0-6890~41370 | |||||||
代碼 | 輸出 | |||||||
E | 4-20mA | |||||||
S | 智能式 | |||||||
代號 | 結(jié)構(gòu)材料 | |||||||
法蘭和接頭 | 排氣/排液閥 | 隔離膜片 | 灌充液體 | |||||
22 | 316不銹鋼 | 316不銹鋼 | 316不銹鋼 | 硅油 | ||||
23 | 316不銹鋼 | 316不銹鋼 | 哈氏合金C | |||||
24 | 316不銹鋼 | 316不銹鋼 | 蒙乃爾 | |||||
25 | 316不銹鋼 | 316不銹鋼 | 鉭 | |||||
33 | 哈氏合金C | 哈氏合金C | 哈氏合金C | |||||
35 | 哈氏合金C | 哈氏合金C | 鉭 | |||||
44 | 蒙乃爾 | 蒙乃爾 | 蒙乃爾 | |||||
代號 | 選項 | |||||||
M1 | 0-100%線性指示表 | |||||||
M2 | LED顯示表 | |||||||
M3 | LCD顯示表 | |||||||
B1 | 管裝彎支架 | |||||||
B2 | 板裝彎支架 | |||||||
B3 | 管裝平支架 | |||||||
D1 | 側(cè)面泄放閥在壓力室上部 | |||||||
D2 | 側(cè)面泄放閥在壓力室下部 | |||||||
不注 | 1/2NPT錐管螺紋接頭 | |||||||
C2 | 丁字形螺紋接頭M20×1.5,帶后部焊接Ф14引壓管的球錐連接頭 | |||||||
d | 隔爆型dⅡBT4 | |||||||
i | 本安型iaⅡCT6 | |||||||
s | 不銹鋼三閥組 |
◆ 原裝進(jìn)口高性能傳感器,測量精度高,穩(wěn)定性和重復(fù)性好,使用壽命長;
◆ 采用獨立16位AD芯片,精度高,可靠性好;
◆ 儀表盤LCD顯示界面設(shè)計,讀數(shù)美觀大方,不帶背光;
◆ mg/m3、ppm、VOL、LEL多種單位可選擇;
◆ 采用嵌入式32位超低功耗處理器,配以獨有信號處理算法,響應(yīng)速度快;
◆ 防高濃度氣體沖擊的自動保護(hù)功能,具有恢復(fù)出廠設(shè)置,防止誤操作;
◆ 儀器配置紅外遙控器,通過遙控器操作,無須開蓋,簡單方便;
◆ 獨特的二線制方案,成本低,功耗小,接線方便;
◆ 兩個電纜進(jìn)線口,方便現(xiàn)場安裝;
◆ 獨立氣室結(jié)構(gòu),傳感器更換便捷,無須現(xiàn)場標(biāo)定;
◆ 一流的機械設(shè)計,氣室采用軍工品質(zhì)的高強度鋁型材,耐磨耐腐濁,適用于復(fù)雜惡劣的工業(yè)環(huán)境,合理科學(xué)的氣室設(shè)計,保證傳感器實時監(jiān)測的準(zhǔn)確性;
◆ 防爆等級為Exd II CT6,國家防爆電氣檢驗中心認(rèn)證。
公稱型號 二線制一氧化碳檢測儀 在線式一氧化碳?xì)怏w變送器
ES10D固定式氣體檢測儀是無眼界科技推出的一款二線制氣體檢測儀。采用原裝進(jìn)口傳感器及全新32位低功耗處理器; 儀表盤顯示界面,數(shù)值與進(jìn)度條同時顯示,美觀大方;獨立的高精度進(jìn)口16位AD芯片及特有信號處理算法,測量數(shù)據(jù)精度更高更穩(wěn)定;二線制接線,具有成本低,功耗小,接線方便等特點。防爆結(jié)構(gòu)設(shè)計可應(yīng)用在各種危險的工業(yè)場所;產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于冶金、石油石化、市政、化工等各個行業(yè)。
技術(shù)指標(biāo):
名稱 | 描述 |
產(chǎn)品名稱: | 固定式二線制氣體變送器 |
檢測原理: | 電化學(xué); |
檢測方式: | 固定在線式長期連續(xù)檢測,擴(kuò)散式的檢測方式; |
測量范圍: | 可選 |
分 辨 率: | 0.1% |
精 度: | ≤±3%FS; |
操作方式: | 紅外遙控器遠(yuǎn)、近距離操作、方便設(shè)置 |
重 復(fù) 性: | ≤±1% |
零點漂移: | ≤±1%(F.S/年) |
響應(yīng)時間: | ≤60秒(T90) |
恢復(fù)時間: | ≤60秒 |
防爆標(biāo)志: | Exd II CT6 |
防護(hù)等級: | IP66 |
輸出信號: | 二線制4-20mA |
主體材質(zhì): | 殼體:ADC12鋁合金,堅固,耐磨耐腐蝕(可選配316不銹鋼殼體) |
氣室:采用高強度耐磨耐腐蝕鋁型材,堅固耐用(可選配316不銹鋼氣室) | |
安裝方式: | 壁掛管道一體式(管道式外螺紋規(guī)格:M45X1.5mm,可選配管道轉(zhuǎn)接螺絲接頭,可焊接) |
工作溫度: | -30℃~+60℃(特殊要求需定制) |
工作濕度: | ≤95%RH,無冷凝(濕度>90%RH,凝露可配過濾器) |
相對濕度: | 10%~95%RH |
供電電源: | 24VDC(正常工作電壓范圍9~30VDC) |
功 耗: | <1 W |
工作壓力: | 86~106KPa; |
尺 寸: | 180mm*140mm*92mm(高*寬*厚) |
重 量: | 約1.6Kg |
二線制一氧化碳檢測儀 在線式一氧化碳?xì)怏w變送器
產(chǎn)品型號 | 產(chǎn)品名稱 | 分子式 | 測量范圍 | 示值誤差 |
WQ-G1 | 甲醛檢測探頭 | CH2O | 0~10ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G2 | 甲苯檢測探頭 | C7H8 | 0~20ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G3 | 氨氣檢測探頭 | NH3 | 0~50ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G4 | 氨氣檢測探頭 | NH3 | 0~1000ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G5 | 氧氣檢測探頭 | O2 | 0~25%VOL | ≤±5%F.S |
WQ-G6 | 一氧化碳檢測探頭 | CO | 0~2000ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G7 | 臭氧檢測探頭 | O3 | 0~5ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G8 | 臭氧檢測探頭 | O3 | 0~1000ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G9 | 臭氧檢測探頭 | O3 | 0~100ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G10 | 硫化氫檢測探頭 | H2S | 0~50ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G11 | 檢測探頭 | CL2 | 0~20ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G12 | 氫氣檢測探頭 | H2 | 0~1000ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G13 | 氰化氫檢測探頭 | HCN | 0~100ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G14 | 氯化氫檢測探頭 | HCL | 0~50ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G15 | 乙烯檢測探頭 | C2H4 | 0~20ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G16 | 二氧化硫檢測探頭 | SO2 | 0~5000ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G17 | 可燃性氣體/油蒸氣檢測探頭 | CxHy | 0~100%LEL | ≤±5%F.S |
WQ-G18 | 一氧化氮檢測探頭 | NO | 0~1000ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G16 | 二氧化氮檢測探頭 | NO2 | 0~1000ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G17 | 氟化氫檢測探頭 | HF | 0~10ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G18 | 氟檢測探頭 | F2 | 0~10ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G19 | 溴檢測探頭 | Br2 | 0~30ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G20 | 磷化氫檢測探頭 | PH3 | 0~20ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G21 | 乙醇檢測探頭 | CxHy | 0~100ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G22 | 炳烯烴檢測探頭 | CH2CHCN | 0~100ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G23 | 醋酸乙酯檢測儀探頭 | CH3COOC2H3 | 0~100ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G24 | 二氧化氯檢測探頭 | CLO2 | 0~10ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G25 | 砷烷檢測探頭 | AsH3 | 0~100ppm | ≤±5%F.S |
WQ-G26 | 硅烷檢測探頭 | SiH4 | 0~10ppm | ≤±5%F.S |