VOYAGER 新一代高速度電子束曝光系統(tǒng)
直觀好用的Windows? 7操作環(huán)境
自動(dòng)聚焦和消象散設(shè)置
一鍵式預(yù)置高分辨或高產(chǎn)出模式
功能全面的NanoSuite軟件，包括強(qiáng)大的鄰近效應(yīng)修正和GDSII CAD圖形編輯
寫場(chǎng)大至500 μm，實(shí)時(shí)進(jìn)行動(dòng)態(tài)修正
新研制的靜電偏轉(zhuǎn)器
50 MHz圖形發(fā)生器
曝光效率高至1cm2/h（占空比50%）
VOYAGER是根據(jù)用戶的寶貴的需求和反饋來(lái)進(jìn)行研制的。
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寬松的環(huán)境指標(biāo)：迷你小環(huán)境，允許大的溫度波動(dòng)和噪聲容忍度
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基于先進(jìn)和靈活的現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列設(shè)計(jì)，圖形發(fā)生器可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)
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集成的變焦鏡頭可實(shí)現(xiàn)束電流范圍寬，且可連續(xù)調(diào)節(jié)
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高分辨成像和量度，用于曝光結(jié)果的檢測(cè)和確認(rèn)
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強(qiáng)大而靈活的對(duì)準(zhǔn)能力，任何形狀和位置的標(biāo)記都可識(shí)別
智能化的設(shè)計(jì)意味著蘊(yùn)含很多聰明的點(diǎn)子，曝光結(jié)果更理想。
創(chuàng)新
VOYAGER電子束直寫系統(tǒng)在系統(tǒng)構(gòu)建和曝光應(yīng)用上都體現(xiàn)出了創(chuàng)新
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先進(jìn)的電子槍設(shè)計(jì)，含三個(gè)透鏡，用于快速及方便的對(duì)準(zhǔn)
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InLens二次電子探測(cè)器，圖像清晰且真實(shí)
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緊湊開關(guān)模式電源
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無(wú)拼接曝光模式（連續(xù)移動(dòng)工作臺(tái)+移動(dòng)電子束），對(duì)應(yīng)長(zhǎng)路徑或周期性圖形
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專業(yè)的三維曝光模式，如菲涅耳透鏡模擬和大面積灰度位圖曝光
經(jīng)濟(jì)
VOYAGER從大局到小細(xì)節(jié)都圍繞著全面實(shí)現(xiàn)提高功效和性價(jià)比的設(shè)計(jì)理念
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迷你小環(huán)境節(jié)省了設(shè)備整個(gè)使用時(shí)間內(nèi)的房間環(huán)境費(fèi)用
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占地小，節(jié)約了實(shí)驗(yàn)室面積
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光刻機(jī)內(nèi)還含有高分辨成像功能和樣品導(dǎo)航選址能力
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只換燈絲部分而不用更換電子槍整體，更換費(fèi)用降低
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其他為設(shè)備所有者節(jié)約費(fèi)用的優(yōu)化
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多功能磁控濺射儀(濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā))
NPGS美國(guó)電子束曝光系統(tǒng)(納米圖形發(fā)生系統(tǒng))（南京覃思）
電子束曝光系統(tǒng)（electron beam lithography, EBL）是一種利用電子束在工件面上掃描直接產(chǎn)生圖形的裝置。由于SEM、STEM及FIB的工作方式與電子束曝光機(jī)十分相近，美國(guó)JC Nabity Lithography Systems公司成功研發(fā)了基于改造商品SEM、STEM或FIB的電子束曝光裝置（Nanometer Pattern Generation System納米圖形發(fā)生系統(tǒng)，簡(jiǎn)稱NPGS，又稱電子束微影系統(tǒng)）。電子束曝光技術(shù)具有可直接刻畫精細(xì)圖案的優(yōu)點(diǎn)，且高能電子束的波長(zhǎng)短（< 1 nm），可避免繞射效應(yīng)的困擾，是實(shí)驗(yàn)室制作微小納米電子元件理想選擇。相對(duì)于購(gòu)買昂貴的用電子束曝光機(jī)臺(tái)，以既有的SEM等為基礎(chǔ)，外加電子束控制系統(tǒng)，透過(guò)電腦介面控制電子顯微鏡中電子束之矢量掃描，以進(jìn)行直接刻畫圖案，在造價(jià)方面可大幅節(jié)省，且兼具原SEM 的觀測(cè)功能，在功能與價(jià)格方面均具有優(yōu)勢(shì)。由于其具有高分辨率以及低成本等特點(diǎn)，在北美研究機(jī)構(gòu)中，JC Nabity的NPGS是非常熱銷的配套于掃描電鏡的電子束微影曝光系統(tǒng)，而且它的應(yīng)用在各地越來(lái)越廣泛。NPGS的技術(shù)目標(biāo)是提供一個(gè)功能強(qiáng)大的多樣化簡(jiǎn)易操作系統(tǒng)，結(jié)合使用市面上已有的掃描電鏡、掃描透射電鏡或聚焦離子束裝置，用來(lái)實(shí)現(xiàn)藝術(shù)的電子束或離子束平版印刷技術(shù)。NPGS能成功滿足這個(gè)目的，得到了當(dāng)眾多用戶的強(qiáng)烈推薦和一致肯定。一. 技術(shù)描述：為滿足納米電子束曝光的要求，JC Nabity的NPGS系統(tǒng)設(shè)計(jì)了一個(gè)納米圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路，并采用PC機(jī)控制。PC機(jī)通過(guò)圖形發(fā)生器和數(shù)模轉(zhuǎn)換電路去驅(qū)動(dòng)SEM等儀器的掃描線圈，從而使電子束偏轉(zhuǎn)并控制束閘的通斷。通過(guò)NPGS可以對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行圖像采集以及掃描場(chǎng)的校正。配合精密定位的工件臺(tái)，還可以實(shí)現(xiàn)曝光場(chǎng)的拼接和套刻。利用配套軟件也可以新建或?qū)攵喾N通用格式的曝光圖形。（一） 電子源（Electron Source）曝照所需電子束是由既有的SEM、STEM或FIB產(chǎn)生的電子束（離子束）提供。（二） 電子束掃描控制（Beam Scanning Control）電子射出后，受數(shù)千乃至數(shù)萬(wàn)伏特之加速電壓驅(qū)動(dòng)沿顯微鏡中軸向下移動(dòng)，并受中軸周圍磁透鏡（magnetic lens）作用形成聚焦電子束而對(duì)樣本表面進(jìn)行掃描與圖案刻畫。掃描方式可分為循序掃描（raster scan）與矢量掃描（vector scan）。循序掃描是控制電子束在既定的掃描范圍內(nèi)進(jìn)行逐點(diǎn)逐行的掃描，掃描的點(diǎn)距與行距由程式控制，而當(dāng)掃描到有微影圖案的區(qū)域時(shí)，電子束開啟進(jìn)行曝光，而當(dāng)掃描到無(wú)圖案區(qū)域時(shí)，電子束被阻斷；矢量掃描則是直接將電子束移動(dòng)到掃描范圍內(nèi)有圖案的區(qū)域后開啟電子束進(jìn)行曝光，所需時(shí)間較少。掃描過(guò)程中，電子束的開啟與阻斷是由電子束阻斷器（beam blanker）所控制。電子束阻斷器通常安裝在磁透鏡組上方，其功效為產(chǎn)生一大偏轉(zhuǎn)磁場(chǎng)使電子束完全偏離中軸而無(wú)法到達(dá)樣本。（三） 阻劑（光阻）阻劑（resist）是轉(zhuǎn)移電子束曝照?qǐng)D案的媒介。阻劑通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。高能電子束的照射會(huì)改變阻劑材料的特性，再經(jīng)過(guò)顯影（development）后，曝照（負(fù)阻劑）或未曝照（正阻劑）的區(qū)域?qū)?huì)留在基材表面，顯出所設(shè)計(jì)的微影圖案，而后續(xù)的制程將可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到阻劑以下的基材中。PMMA（poly-methyl methacrylate）是電子束微影中很常用的正阻劑，是由單體甲基丙烯酸甲酯（methyl methacrylate, MMA）經(jīng)聚合反應(yīng)而成。用在電子阻劑的PMMA 通常分子量在數(shù)萬(wàn)至數(shù)十萬(wàn)之間，受電子束照射的區(qū)域PMMA 分子量將變成數(shù)百至數(shù)千，在顯影時(shí)低分子量與高分子量PMMA 溶解度的對(duì)比非常大。負(fù)阻劑方面，多半由聚合物的單體構(gòu)成。在電子束曝照的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生聚合反應(yīng)形成長(zhǎng)鏈或交叉鏈結(jié)（crosslinking）聚合物，所產(chǎn)生的聚合物較不易被顯影液溶解因而在顯影后會(huì)留在基板表面形成微影圖案。目常用的負(fù)阻劑為化學(xué)倍增式阻劑（chemically amplified resist），經(jīng)電子束曝照后產(chǎn)生氫離子催化鏈結(jié)反應(yīng)，具有高解析度、高感度，且抗蝕刻性高。（四） 基本工序電子束微影曝光技術(shù)的基本工序與光微影曝光技術(shù)相似，從上阻、曝照到顯影，各步驟的參數(shù)（如溫度、時(shí)間等等）均有賴于使用者視需要進(jìn)行校對(duì)與調(diào)整。二. 主要技術(shù)指標(biāo)：型號(hào)：NPGS細(xì)線寬（μm）：根據(jù)SEM小束斑（μm）：根據(jù)SEM掃描場(chǎng)：可調(diào)加速電壓：根據(jù)SEM，一般為0-40kV速度：5MHz（可選6MHz）A. 硬件：微影控制介面卡：NPGS PCI-516A High Speed Lithography Board，high resolution （0.25%）控制電腦：Pentium IV 3.0GHz/ 512Mb RAM/ 80G HD/ Windows XP皮可安培計(jì)：KEITHLEY 6485 PicoammeterB. 軟件：微影控制軟件 NPGS V9.1 for Windows2000 或 XP 圖案設(shè)計(jì)軟件 DesignCAD LT 2000 for Windows三. 應(yīng)用簡(jiǎn)述NPGS電鏡改裝系統(tǒng)能夠制備出具有高深寬比的微細(xì)結(jié)構(gòu)納米線條，從而為微電子域如高精度掩模制作、微機(jī)電器件制造、新型IC研發(fā)等相關(guān)的微/納加工技術(shù)提供了新的方法。NPGS系統(tǒng)作為制作納米尺度的微小結(jié)構(gòu)與電子元件的技術(shù)平臺(tái)，以此為基礎(chǔ)可與各種制程技術(shù)與應(yīng)用結(jié)合。應(yīng)用范圍和域取決于客戶的現(xiàn)有資源，例如： NPGS電子束曝光系統(tǒng)可與等離子應(yīng)用技術(shù)做很有效的整合，進(jìn)行各項(xiàng)等離子制程應(yīng)用的開發(fā)研究，簡(jiǎn)述如下：（一） 半導(dǎo)體元件制程等離子制程已廣泛應(yīng)用于當(dāng)半導(dǎo)體元件制程，可視為電子束微影曝光技術(shù)的下游工程。例如：（1） 等離子刻蝕（plasma etching）（2） 等離子氣相薄膜沉積（plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD）（3） 濺鍍（sputtering）（二） 微機(jī)電元件制程（Semiconductor Processing）微機(jī)電元件在制程上與傳統(tǒng)半導(dǎo)體元件制作有其差異性。就等離子相關(guān)制程而言，深刻蝕（deep etching）是主要的應(yīng)用，其目標(biāo)往往是完成深寬比達(dá)到102 等的深溝刻蝕或晶圓穿透刻蝕。而為達(dá)成高深寬比，深刻蝕采用二種氣體等離子交替的過(guò)程？涛g完成后可輕易以氧等離子去除側(cè)壁覆蓋之高分子。在微機(jī)電元件制作上，深刻蝕可與電子束微影曝光技術(shù)密切結(jié)合。電子束微影曝光技術(shù)在圖案設(shè)計(jì)上之自由度十分符合復(fù)雜多變化的微機(jī)電元件構(gòu)圖。一旦完成圖案定義，將轉(zhuǎn)由深刻蝕技術(shù)將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓基板。
電子束實(shí)驗(yàn)儀
美國(guó)Temescal公司電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
| 設(shè)備型號(hào) | FC/BJD-2000 | FC/BCD-2800 | FC-3800 | FC-4400 |
| 2inch 晶圓 | 42 | N/A | N/A | N/A |
| 3inch 晶圓 | 17 | 47 | N/A | N/A |
| 100mm晶圓 | 13 | 25 | 53 | 55 |
| 150mm晶圓 | 5 | 12 | 25 | 30 |
| 200mm晶圓 | N/A | 6 | 14 | 15 |
聯(lián)系人：張先生 139-11514522 （12531012#qq.com）
廣東東莞電子束焊接電子線路板焊接重要組成部分
我廠專業(yè)生產(chǎn)電子線路板焊接；擁有100多名的售后服務(wù)隊(duì)伍，完善的售后保證，保證每個(gè)客戶問(wèn)題及時(shí)反饋和處理；本廠常年保存充足的電子線路板焊接產(chǎn)品備件，滿足用戶隨時(shí)的維護(hù)和維修需求！ ∥覐S生產(chǎn)的各種產(chǎn)品具有鑄造，加工、組裝，一次性完成的能力，保證每臺(tái)出廠產(chǎn)品的質(zhì)量，擁有大型機(jī)加車間、機(jī)加設(shè)備及配套的相關(guān)技術(shù)工人，可根據(jù)用戶的需要，為用戶設(shè)計(jì)各種電子線路板焊接專用設(shè)備，可以滿足，建筑，鐵道，水電，交通，礦山等單位不同工程實(shí)際情況；除此外，我廠擁有一支具備專業(yè)能力的隊(duì)伍，可以對(duì)外承攬技術(shù)咨詢服務(wù)！ 1.我們將在北京、石家莊、邢臺(tái)、廣東、成都等地提供送貨上門服務(wù). 2.電子線路板焊接根據(jù)配置不同價(jià)格不同，此價(jià)格為參考價(jià)格，具體價(jià)格以合同為準(zhǔn). 3.電子線路板焊接發(fā)貨周期為正常周期，根據(jù)產(chǎn)品不同型號(hào)不同貨期也有所不同，具體發(fā)貨時(shí)間以合同為準(zhǔn).廣東東莞電子束焊接電子線路板焊接重要組成部分電子束焊接西瑪 膠柄電烙鐵芯子/C0016A-220-30[導(dǎo)讀]世達(dá) 快速升溫雙功率電烙鐵/03263 詳細(xì)參數(shù)產(chǎn)品描述：1、傳統(tǒng)電烙鐵只有一種功率，但此款特有兩種功率，只需按鈕，功率既能由20W提升至130W，一支電烙鐵能同時(shí)焊接不同大小元件。2、配用陶瓷發(fā)熱元件，絕熱層手柄不會(huì)燙手，設(shè)計(jì)輕巧，使用時(shí)手感舒適。產(chǎn)品參數(shù)：1、電源電壓：220V/50HZ2、絕緣電阻：100兆歐3、電氣強(qiáng)度：3750V 一分鐘不擊穿4、消耗功率：20W/130W注意事項(xiàng)：1、請(qǐng)保持烙鐵頭頭部始終掛錫。2、請(qǐng)勿敲打烙鐵頭。3、請(qǐng)勿采用較強(qiáng)酸性助焊劑。4、嚴(yán)禁在電烙鐵通電使用時(shí)，拆卸電熱部分零件。5、非專業(yè)維修人員，請(qǐng)勿自行拆卸。 
 西瑪 吸錫泵/C0014 庫(kù)號(hào)：RL187840 | 產(chǎn)品描述：西瑪 吸錫泵/C00141.鋁合金一體成型。吸力強(qiáng)勁，快速有效去除焊錫迅速分離連接件；2.優(yōu)質(zhì)的PTFE三吸嘴，耐高溫，耐溶劑性能優(yōu)良；3.經(jīng)常清潔泵內(nèi)，以保證正常使用。 ???? |
 西瑪 電烙鐵芯/C0017A-30 庫(kù)號(hào)：RL187841 | 產(chǎn)品描述：西瑪 電烙鐵芯/C0017A-30C0017 電烙鐵配件 |
 世達(dá) 快速升溫雙功率電烙鐵/03263 庫(kù)號(hào)：RL187842 | 產(chǎn)品描述：1、傳統(tǒng)電烙鐵只有一種功率，但此款特有兩種功率，只需按鈕，功率既能由20W提升至130W，一支電烙鐵能同時(shí)焊接不同大小元件。2、配用陶瓷發(fā)熱元件，絕熱層手柄不會(huì)燙手，設(shè)計(jì)輕巧，使用時(shí)手感舒適。產(chǎn)品參數(shù)：1、電源電壓：220V/50HZ2、絕緣電阻：100兆歐3、電氣強(qiáng)度：3750V 一分鐘不擊穿4、消耗功率：20W/130W注意事項(xiàng)：1、請(qǐng)保持烙鐵頭頭部始終掛錫。2、請(qǐng)勿敲打烙鐵頭。3、請(qǐng)勿采用較強(qiáng)酸性助焊劑。4、嚴(yán)禁在電烙鐵通電使用時(shí)，拆卸電熱部分零件。5、非專業(yè)維修人員，請(qǐng)勿自行拆 |
 西瑪 環(huán)保型電烙鐵/C0017-30 庫(kù)號(hào)：RL187843 | 產(chǎn)品描述：西瑪 環(huán)保型電烙鐵/C0017-30GS TUV認(rèn)證產(chǎn)品，保證品質(zhì)。三插插頭，無(wú)鉛產(chǎn)品，環(huán)保設(shè)計(jì)。注意事項(xiàng)：1.在使用不含松香焊錫時(shí)，焊接處要涂上松香劑；2.要等焊錫凝固后方可移動(dòng)焊接處；3.通電后的烙鐵溫度非常高，處理不當(dāng)會(huì)造成燙傷或引起火災(zāi)，請(qǐng)小心處理；4.烙鐵頭經(jīng)特殊處理，請(qǐng)勿用鋼銼去磨；5.不用時(shí)請(qǐng)及時(shí)拔掉插頭。??????????? |
 西瑪 膠柄電烙鐵/C0016-220-30 庫(kù)號(hào)：RL187844 | 產(chǎn)品描述：西瑪 膠柄電烙鐵/C0016-220-30GS TUV認(rèn)證產(chǎn)品，保證品質(zhì)。兩插插頭，110V與220V兩種選擇。注意事項(xiàng)：1.在使用不含松香焊錫時(shí)，焊接處要涂上松香劑；2.要等焊錫凝固后方可移動(dòng)焊接處；3.通電后的烙鐵溫度非常高，處理不當(dāng)會(huì)造成燙傷或引起火災(zāi)，請(qǐng)小心處理；4.烙鐵頭經(jīng)特殊處理，請(qǐng)勿用鋼銼去磨；5.不用時(shí)請(qǐng)及時(shí)拔掉插頭。 |
 西瑪 電烙鐵頭子(彎頭)/C0017B-30-W 庫(kù)號(hào)：RL187845 | 產(chǎn)品描述：西瑪 電烙鐵頭子(彎頭)/C0017B-30-WC0017 電烙鐵配件? |
 西瑪 吸錫泵/C0014 庫(kù)號(hào)：RL187846 | 產(chǎn)品描述：西瑪 吸錫泵/C00141.鋁合金一體成型。吸力強(qiáng)勁，快速有效去除焊錫迅速分離連接件；2.優(yōu)質(zhì)的PTFE三吸嘴，耐高溫，耐溶劑性能優(yōu)良；3.經(jīng)常清潔泵內(nèi)，以保證正常使用。 ???? |
 西瑪 電烙鐵芯/C0017A-30 庫(kù)號(hào)：RL187847 | 產(chǎn)品描述：西瑪 電烙鐵芯/C0017A-30C0017 電烙鐵配件 |
 西瑪 吸錫泵/C0014 庫(kù)號(hào)：RL187848 | 產(chǎn)品描述：西瑪 吸錫泵/C00141.鋁合金一體成型。吸力強(qiáng)勁，快速有效去除焊錫迅速分離連接件；2.優(yōu)質(zhì)的PTFE三吸嘴，耐高溫，耐溶劑性能優(yōu)良；3.經(jīng)常清潔泵內(nèi)，以保證正常使用。 ???? |
 西瑪 吸錫泵/C0014 庫(kù)號(hào)：RL187849 | 產(chǎn)品描述：西瑪 吸錫泵/C00141.鋁合金一體成型。吸力強(qiáng)勁，快速有效去除焊錫迅速分離連接件；2.優(yōu)質(zhì)的PTFE三吸嘴，耐高溫，耐溶劑性能優(yōu)良；3.經(jīng)常清潔泵內(nèi)，以保證正常使用。 ???? |
 西瑪 電烙鐵頭子(直頭)/C0017B-30-Z 庫(kù)號(hào)：RL187850 | 產(chǎn)品描述：西瑪 電烙鐵頭子(直頭)/C0017B-30-ZC0017 電烙鐵配件 |
 鷹牌 膠柄電烙鐵 庫(kù)號(hào)：RL187851 | 產(chǎn)品描述:鷹牌 膠柄電烙鐵1.電烙鐵是用來(lái)焊接電器元件的，為方便使用，通常用“焊錫絲”作為焊劑，焊錫絲內(nèi)一般都含有助焊的松香。 焊錫絲使用約60%的錫和40%的鉛合成，熔點(diǎn)較低；2.電烙鐵的選用:電烙鐵的種類及規(guī)格有很多種，而且被焊工件的大小又有所不同，因而合理地選用電烙鐵的功率及種類，對(duì)提高焊接質(zhì)量和效率有直接的關(guān)系；1)焊接集成電路、晶體管及受熱易損元器件時(shí)，應(yīng)選用 20W 內(nèi)熱式或 25W 的外熱式電烙鐵；2)焊接導(dǎo)線及同軸電纜時(shí)，應(yīng)先用 45W~75W 外熱式電烙鐵，或 50W |
 西瑪 膠柄電烙鐵芯子/C0016A-220-30 庫(kù)號(hào)：RL187852 | 產(chǎn)品描述：西瑪 膠柄電烙鐵芯子/C0016A-220-30C0016 膠柄電烙鐵配件。? |
 世達(dá)工具 外熱式長(zhǎng)壽烙鐵頭(特尖頭)/03241 庫(kù)號(hào)：RL187853 | 產(chǎn)品描述：世達(dá)工具 外熱式長(zhǎng)壽烙鐵頭(特尖頭)/032411、世達(dá)長(zhǎng)壽命外熱式烙鐵頭采用高級(jí)優(yōu)質(zhì)銅材經(jīng)精密加工而成。表面特別處理的合金層具有卓越的抗高溫氧化性能及耐磨性能。防腐蝕表面處理確保優(yōu)良的抗腐蝕性。2、烙鐵頭頭部已進(jìn)行上錫處理，使您在焊接作業(yè)中更方便快捷。3、本烙鐵頭適用于世達(dá)外熱式長(zhǎng)壽電烙鐵。 貨號(hào)： 5BA1030C 制造商型號(hào)： 03241 貨號(hào)： 5BA1031C |
 世達(dá) 快速升溫雙功率電烙鐵/03263 庫(kù)號(hào)：RL187854 | 產(chǎn)品描述：1、傳統(tǒng)電烙鐵只有一種功率，但此款特有兩種功率，只需按鈕，功率既能由20W提升至130W，一支電烙鐵能同時(shí)焊接不同大小元件。2、配用陶瓷發(fā)熱元件，絕熱層手柄不會(huì)燙手，設(shè)計(jì)輕巧，使用時(shí)手感舒適。產(chǎn)品參數(shù)：1、電源電壓：220V/50HZ2、絕緣電阻：100兆歐3、電氣強(qiáng)度：3750V 一分鐘不擊穿4、消耗功率：20W/130W注意事項(xiàng)：1、請(qǐng)保持烙鐵頭頭部始終掛錫。2、請(qǐng)勿敲打烙鐵頭。3、請(qǐng)勿采用較強(qiáng)酸性助焊劑。4、嚴(yán)禁在電烙鐵通電使用時(shí)，拆卸電熱部分零件。5、非專業(yè)維修人員，請(qǐng)勿自行拆 |
產(chǎn)品描述：世達(dá)工具 外熱式長(zhǎng)壽電烙鐵/03210
1、采用高阻抗天然云母發(fā)熱芯，經(jīng)久耐用
2、配合不同焊嘴．適用于微型及大面積電子焊接大熱 容量，快速傳熱．回?zé)嵫杆伲ぷ餍矢?/p>
3、簡(jiǎn)易更換發(fā)熱芯裝置．方便快捷．省時(shí)省力．泄漏 電流低于0.25mA,安全可靠
4、輕便小巧手柄散熱快．長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)倍感舒適
5、請(qǐng)選用世達(dá)外熱式長(zhǎng)壽電烙鐵頭及外熱式天然云母 發(fā)熱芯作為配件
產(chǎn)品參數(shù)：
1、電源電壓：AC 220V 50HZ
2、發(fā)熱無(wú)件：天然云母發(fā)熱元件
3、絕緣阻抗：大于100MΩ以上
4、泄漏電流：025mA以下
注意事項(xiàng)：
1、初次使用時(shí)，焊嘴必須先搪錫
2、請(qǐng)使用弱酸性助焊劑
3、焊嘴請(qǐng)勿敲擊或用銼刀打磨
4、焊頭發(fā)黑氧化，應(yīng)用清潔海綿清潔焊嘴。搪錫后使用。
5、通電作業(yè)時(shí)，嚴(yán)禁拆卸電熱部分元器件
6、使用時(shí)，應(yīng)配備具有自然散熱結(jié)構(gòu)的烙鐵座
7、放置遠(yuǎn)離兒童處作業(yè)，以免燙傷
8、焊接敏感元件時(shí)，必須將本產(chǎn)品接地
| 貨號(hào)： | 5BA1017C | 制造商型號(hào)： | 03210 | |
| 貨號(hào)： | 5BA1018C | 制造商型號(hào)： | 03220 | |
| 貨號(hào)： | 5BA1019C | 制造商型號(hào)： | 03230 | |
| 貨號(hào)： | 5BA1020C | 制造商型號(hào)： | 03240 |
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真空電子束焊機(jī)真空泵
供應(yīng)真空電子束焊機(jī)真空泵，電子束在配置大路通DLT.V0300真空泵的真空環(huán)境里焊接因具有不用焊條、不易氧化、工藝重復(fù)性好及熱變形量小的優(yōu)點(diǎn)而廣泛應(yīng)用于航空航天、原子能、國(guó)防及軍工、汽車和電氣電工儀表等眾多行業(yè)。電子束焊接要求真空度很高，一般是需要配置多臺(tái)真空泵才能達(dá)到要求，大路通DLT.V0300真空泵是一款結(jié)構(gòu)緊湊,堅(jiān)固耐用,安全環(huán)保的真空泵,轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，真空泵高，所以多作為真空電子束焊機(jī)的前級(jí)泵配置。本公司技術(shù)人員集多年的行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),借鑒多款歐美產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn),結(jié)合中國(guó)用戶的使用維護(hù)習(xí)慣而獨(dú)立開發(fā)的產(chǎn)品.選用優(yōu)質(zhì)配套件,采用先進(jìn)的加工裝配工藝,確保產(chǎn)品的高品質(zhì)及可靠性.DLT.V0300真空泵能長(zhǎng)期不間斷運(yùn)行.DLT.V0300真空泵參數(shù)抽氣速率: 300立方米/小時(shí)極限壓力: 0.1mbar電 源：380V 電機(jī)功率: 7.5KW重量: 約210KG可按應(yīng)用要求配置多種附件, 體積緊湊，運(yùn)行寧?kù)o，尤其適合各類機(jī)械設(shè)備配套.產(chǎn)品特點(diǎn)：1.設(shè)計(jì)精密.結(jié)構(gòu)堅(jiān)固.重量輕.易于安裝及維護(hù).1.低噪音,低震動(dòng),工作環(huán)境不會(huì)受影響 2.內(nèi)置高效油霧過(guò)濾器,所排出的氣體不含油霧 3.采用風(fēng)冷卻,但較大型的真空泵配有冷卻風(fēng)管,利用風(fēng)扇將風(fēng)管內(nèi)的潤(rùn)滑油冷卻,提高冷卻效果 4.內(nèi)置止回閥及氣鎮(zhèn)閥，可避免停機(jī)后泵逆轉(zhuǎn)而造成油逆流及避免高真空環(huán)境下，空氣所含水氣經(jīng)壓縮凝結(jié)成水點(diǎn)，造成潤(rùn)滑油乳化變質(zhì)5.抽風(fēng)量強(qiáng)勁,極限真空可達(dá)到0.1mbar（10Pa）6.運(yùn)轉(zhuǎn)聲音小.大路通真空泵已普遍應(yīng)用于各類儀器真空包裝，橡膠和塑料工業(yè)上的真空吸塑成形，印刷工業(yè)上的紙張輸送，各類鑄件的真空浸漬防漏，機(jī)械加工上的真空夾具，電子半導(dǎo)體工業(yè)上的元器件真空裝夾定位，化工上的真空干燥，過(guò)濾，大型機(jī)械零件在空真狀態(tài)下的動(dòng)平衡試驗(yàn)以及醫(yī)院手術(shù)室的真空吸引等在本型泵所能達(dá)到的真空范圍的各種真空處理。適用機(jī)械:硫化機(jī)/加硫機(jī)/吸塑機(jī)/層壓機(jī)/橡膠硫化機(jī)/精雕機(jī)/自動(dòng)化機(jī)械手/吸附加工/真空貼膜機(jī)/食品包裝機(jī)/線路板/薄膜開關(guān)/模具抽真空/真空機(jī)床吸盤/雕銑機(jī)/高光機(jī)/CD紋機(jī)/數(shù)控批花機(jī)/含浸機(jī)/浸漆機(jī)/破波機(jī)/脫泡機(jī)/灌膠機(jī)/點(diǎn)膠機(jī)/注型機(jī)/電子束焊機(jī)
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
| 技術(shù)參數(shù)
1.電子束源&電源 •單個(gè)或者可自由切換換電子束源： －－蒸發(fā)室數(shù)量 1 ~ 12(標(biāo)配: 4, 6) －－坩堝容量：7 ~ 40 cc (最大可達(dá)200 cc) －－－－標(biāo)準(zhǔn)：25 cc (4 or 6 Pocket), 40 cc (4 Pocket) －－－－最大：200 cc (156cc for UHV) 可用于長(zhǎng)時(shí)間的沉積 •偏轉(zhuǎn)角度：180º, 270º •輸出功率：6, 10, 15, 20 kW •支持兩個(gè)或者三個(gè)電子束源在一個(gè)系統(tǒng)上 •可連續(xù)或者同時(shí)沉積兩種或三種材料 •高速率沉積 2.薄膜沉積控制： •IC-5 ( or XTC, XTM) 和計(jì)算機(jī)控制 －－沉積過(guò)程參數(shù)可控 －－石英晶體振蕩傳感器 －－光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)用于光學(xué)多層薄膜沉積：測(cè)量波長(zhǎng)范圍350-2000 nm，分辨率1 nm •薄膜厚度檢測(cè)和處理過(guò)程可通過(guò)計(jì)算機(jī)程序控制 •薄膜厚度檢測(cè)和沉積速率可通過(guò)計(jì)算機(jī)程序控制 －－支持大面積沉積 －－支持在線電子束蒸發(fā)沉積 －－基底尺寸：20~100英寸 －－薄膜均勻性 <±1.0 to 5.0 % 3.真空腔體： •圓柱形腔體 －－直徑：φ500 ~ 1,500 mm －－高度：800 ~ 1500 mm •方形腔體 －－根據(jù)客戶的需求定制 4.真空泵和測(cè)量裝置： •低真空：干泵和convectron真空規(guī) •高真空：渦輪分子泵，低溫泵和離子規(guī) •超高真空：雙級(jí)渦輪分子泵，離子泵和離子規(guī) 5.控制系統(tǒng)PLC和 觸摸屏計(jì)算機(jī)： •硬件: PLC, 觸摸屏計(jì)算機(jī) －－包括模擬和數(shù)字輸入/輸出卡 －－顯示器: LCD •自動(dòng)和手動(dòng)程序控制 －－程序控制：加載，編輯和保存 －－程序激活控制： －－－－泵抽真空，蒸發(fā)沉積，加熱， 旋轉(zhuǎn)等 －－－－膜厚度檢測(cè)和控制多層薄膜沉積 －－－－系統(tǒng)狀態(tài)，數(shù)據(jù)加載等 －－－－問(wèn)題解答和聯(lián)動(dòng)狀態(tài)
| ||
| 主要特點(diǎn)
擴(kuò)展功能： •質(zhì)量流量控制器：反應(yīng)和等離子體輔助惰性氣體控制 •離子源和控制器：等離子體輔助沉積 •射頻電源：基底預(yù)先處理 •溫度控制器：基底加熱 •熱蒸發(fā)器：1 or 2 boat •蒸鍍?cè)碿ell：1 or 2 for doping •冷卻器：系統(tǒng)冷卻
| ||
全球?qū)I(yè)的沉積設(shè)備制造商，為各個(gè)領(lǐng)域的客戶提供完善的薄膜沉積解決方案：電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)、超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)、分子束外延MBE、有機(jī)分子束沉積OMBD、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)PECVD/ICP Etcher、電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、離子泵等； 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)： 1.膜電子束蒸發(fā)系統(tǒng)E -Beam Evaporation System 2.高真空電子束蒸發(fā)系統(tǒng)High Vacuum E -Beam Evaporation System 3.超高真空電子束蒸發(fā)系統(tǒng)Ultra-high Vacuum (UHV) E -Beam Evaporation System 4.離子輔助蒸發(fā)系統(tǒng)Ion Beam Assisted Evaporation System 5.離子電鍍系統(tǒng)Ion Plating System 6.Cluster Tool E -Beam Evaporation System 7.在線電子束蒸發(fā)系統(tǒng)In-line E -Beam Evaporation System | ||
黃驊電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)|全自動(dòng)高真空鍍膜儀Q150GB|廠家優(yōu)質(zhì)批發(fā)
| 型號(hào):JX163574高精度鍍膜儀208HR | 型號(hào):JX163578電子束蒸發(fā)鍍膜EBES | 型號(hào):JX163565電鏡專用高真空鍍膜儀208HR |
208HR高分辨離子濺射儀為場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用中遇到的各種樣品噴鍍難題提供真正的解決方案。
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡觀察時(shí)，樣品需鍍上極其薄、無(wú)細(xì)晶且均勻的膜層以消除電荷積累，并提高低密度材料的對(duì)比度。為了將細(xì)晶的尺寸減小到小程度，208HR提供了一系列的鍍膜材料，并對(duì)膜厚和濺射條件提供無(wú)可媲美的控制。
208HR分子渦輪泵高真空系統(tǒng)提供寬范圍的操作壓力，可以對(duì)膜層的均勻性和一致性進(jìn)行控制，并減小充電效應(yīng)。高/低樣品室的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使靶材和樣品之間的距離調(diào)節(jié)變得極為方便。
MTM-20高分辨膜厚控制儀分辨率小于0.1nm，其作用是對(duì)所鍍薄膜的厚度進(jìn)行控制，它尤其適合場(chǎng)發(fā)射電鏡對(duì)膜厚（0.5－3nm）的要求。
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡鍍膜推薦的靶材是：
Pt/Pd：非導(dǎo)電樣品鍍膜的通用鍍膜材料
Cr：優(yōu)良的半導(dǎo)體樣品的鍍膜材料
Ir：優(yōu)良的真正無(wú)細(xì)晶的鍍膜材料
208HR系統(tǒng)為得到高分辨鍍膜效果提供了多種配置選擇，可配備標(biāo)準(zhǔn)的旋片泵或提供干凈真空的無(wú)油渦旋式真空泵，標(biāo)配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶。
一、主要特性
· 可選擇多種鍍膜材料
· 的膜厚控制
· 樣品臺(tái)控制靈活：可對(duì)樣品臺(tái)進(jìn)行獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動(dòng)、傾斜控制，保證形貌差異大的樣品也能得到的鍍膜效果。
· 多個(gè)樣品座：提供4個(gè)樣品座，每個(gè)樣品座直徑32mm，可裝載多達(dá)6個(gè)小樣品座。
· 樣品室?guī)缀慰勺儯?/span> 樣品室?guī)缀斡糜谡{(diào)節(jié)鍍膜的速率（1.0nm/s ～ 0.002nm/s）
· 寬范圍的操作壓力：獨(dú)立的功率和壓力調(diào)節(jié)，氬氣的壓力大小范圍為0.2 - 0.005 mbar。
· 緊湊、現(xiàn)代的桌上型設(shè)計(jì)
· 操作容易
矽碁電子束蒸發(fā)系統(tǒng)簡(jiǎn)介
矽碁電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是專為實(shí)驗(yàn)室科學(xué)研究開發(fā)設(shè)計(jì)，系統(tǒng)靈活，高度可定制化，可實(shí)現(xiàn)共蒸鍍等功能。
系統(tǒng)基本規(guī)格
腔體真空度可達(dá)＜10-7Torr
基板旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)
全自動(dòng)鍍膜，工業(yè)級(jí)操作軟件
可實(shí)現(xiàn)共蒸鍍制程
電腦即時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)運(yùn)作狀況（真空度，基板溫度，鍍率，膜厚...）
可選項(xiàng)
可選用turbo/cryo/diffusion泵浦
坩堝選擇（1//2/4/6）
傳送機(jī)構(gòu)（Load-Lock System）
手套箱連接
鍍膜基板冷卻
鍍膜基板加熱（800℃）
可結(jié)合其他制程設(shè)備以達(dá)到雙腔、Cluster（枚葉式）或In-line（連續(xù)式）制程需求
應(yīng)用范圍
LIFT-OFF制程應(yīng)用
光電組件（發(fā)光/鐳射二極管）
通訊組件
半導(dǎo)體組件
分子泵超高分辨鍍膜，放大倍率可到30-60萬(wàn)倍也不會(huì)看到鍍膜顆粒，適用于現(xiàn)階段超高分辨場(chǎng)發(fā)射或雙束電鏡使用如FEI Nova,Megglen,Verios,Helios等; Hitachi SU8000,SU8200,S4800,9000等; 7600F 7800F等; ZEISS Merlin,Ultra,Auriga;
專利磁控冷態(tài)噴鍍
專利冷態(tài)鍍膜設(shè)計(jì)使用真正的“平衡磁控管”沒(méi)有等離子體電流在樣品，在得到高分辨非晶鍍膜層同時(shí)避免樣品受到熱損傷，對(duì)熱損傷或輻照損傷敏感樣品尤為適合
廣泛的鍍層靶材選擇
特殊雙極磁控管頭設(shè)計(jì)和有效的氣體離子處理使得208HR擁有廣泛多種鍍層靶材選擇
全自動(dòng)化設(shè)計(jì)
自動(dòng)的換氣與泄氣功能，濺射電流和電壓通過(guò)磁控頭的傳感線監(jiān)控，蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制保證了均勻一致的膜厚，和的導(dǎo)電噴鍍效果。
超高精度膜厚監(jiān)控設(shè)計(jì)
使用可選MTM-20全自動(dòng)高分辨膜厚監(jiān)控儀可優(yōu)化設(shè)計(jì)鍍膜條件達(dá)到0.1nm膜厚可控效果
多用途樣品托設(shè)計(jì)
獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)，水平和傾斜 3軸移動(dòng)設(shè)計(jì)優(yōu)化了多樣品以及不規(guī)則樣品的均勻一直鍍膜
?可變的樣品室?guī)缀卧O(shè)計(jì)
為了優(yōu)化鍍層結(jié)構(gòu)樣品室?guī)缀卧O(shè)計(jì)可用于調(diào)整噴鍍速度從1.0納米每秒到0.002納米每秒
廣泛的操作氣體壓力
獨(dú)立的電壓，電流以及壓力回路控制系統(tǒng)允許可操作氬氣壓力從0.2-0.005mbar真空度
緊湊型時(shí)尚桌面式設(shè)計(jì)
節(jié)能，緊湊設(shè)計(jì)消除了對(duì)于樓層空間要求，水要求和專業(yè)電氣連接要求
鍍膜不同多樣樣品
超高分辨208HR鍍膜系統(tǒng)現(xiàn)在針對(duì)噴鍍不同電鏡樣品提供了理想的解決方案。為了減小噴鍍晶粒尺寸影響，208HR提供一套全系列的鍍膜靶材材料和前所未有的膜厚鍍層控制條件。為了更小優(yōu)化充電效果，208HR的特殊樣品臺(tái)設(shè)計(jì)和大范圍的操作壓力提供了高精度的鍍膜一致性和統(tǒng)一性。 高低樣品室的配置也提供了更為方便的工作距離調(diào)整。
欄目頁(yè)面:http://www.runlian365.com/product/2286.html鍍膜機(jī)來(lái)源網(wǎng)址:http://www.runlian365.com/chanpin/xx-163565.html電鏡專用高真空鍍膜儀208HREB-4電子束實(shí)驗(yàn)儀
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