* 雙向氣流傳感* 實(shí)際氣體質(zhì)量流量傳感* 流速0~30sccm 到0~1000sccm* 需另加發(fā)熱器控制及傳感橋路供電電路
● 多個(gè)集中安裝/O 形密封圈● 陶瓷流量管(無引氣管),0-1000sccm● 塑料流量管(無引氣管),0-6SLPM● 高共模壓力(150psi)● 工作溫度可至125˚C● 零點(diǎn)和滿量程高穩(wěn)定性
● 各種流量接口可選● 文丘里管設(shè)計(jì)● 遠(yuǎn)程安裝● 激光校整CO2,N2 氬氣的標(biāo)定
● 的微加工技術(shù)● 低氣流速度敏感-0.1sccm● 檢測(cè)流量200 升/ 分鐘● 快速響應(yīng),低電流損耗,高反應(yīng)重復(fù)性● 激光刻蝕提供了器件的一致性● 低壓力精確測(cè)量(0.001-4”水柱)