高速低氮燃燒器（燒嘴）為硫化堿窯爐設(shè)計使用，可以實現(xiàn)低氮氧化物排放。高速低氮燃燒器（燒嘴）燃燒性能可以達到：火焰剛直、明亮，不會出現(xiàn)火焰偏燒等現(xiàn)象。

hmds真空烤箱，全自動hmds預(yù)處理系統(tǒng)通過對烤箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

hmds烤箱機臺，hmds預(yù)處理烘箱箱體外殼采用高級不銹鋼制作，內(nèi)膽為316l醫(yī)用專用不銹鋼材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

硅片光刻預(yù)處理系統(tǒng)，芯片hmds烘箱用于芯片、晶圓、硅片等半導(dǎo)體在光刻前對wafer進行預(yù)處理,在高溫高真空的狀態(tài)下均勻噴灑霧狀“oap”藥液并在氮氣保護下烘干以增強wafer的光刻性能。通過對烤箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。